一种采用动压轴承的双面研磨抛光机制造技术

本实用新型专利技术提供一种采用动压轴承的双面研磨抛光机，包括上导轨、下导轨；所述上导轨与下导轨的接触面设有减磨导轨贴；所述下导轨内设置导轨润滑油循环通道，使所述减磨导轨贴浸在润滑油中，形成动压轴承结构。所述减磨导轨贴周向均匀粘贴于所述下导轨的表面。本实用新型专利技术在上导轨与下导轨的接触面设置减磨导轨贴，并设置导轨润滑油循环通道，构成动压轴承结构，提高了双面研磨抛光设备抛光精度和稳定性。

A Double-sided Grinding and Polishing Machine Using Dynamic Bearing

【技术实现步骤摘要】
一种采用动压轴承的双面研磨抛光机
本技术涉及电子及半导体冷加工领域，具体涉及材料的双面精磨和抛光，是现代电子和半导体行业的主要加工设备。
技术介绍
今年来，电子及半导体行业对平面度、平行度的要求越来越高，设备工作承受的载荷越来越大，使用常规滚动轴承的双面研磨抛光设备在设备精度和稳定性上越来越难以满足使用工况要求。滚动轴承一旦损坏，维修成本高，更换难度大，耽误生产。
技术实现思路
为解决上述问题，本技术提供一种采用动压轴承的双面研磨抛光机设计，该设备在自身达到的精度及精度保持性上更具可靠性。为实现上述目的，本技术采用如下技术方案：一种采用动压轴承的双面研磨抛光机，包括上导轨、下导轨；所述上导轨与下导轨的接触面设有减磨导轨贴；所述下导轨内设置导轨润滑油循环通道，使所述减磨导轨贴浸在润滑油中，形成动压轴承结构。进一步的，所述减磨导轨贴周向均匀粘贴于所述下导轨的表面。有益效果：本技术在上导轨与下导轨的接触面设置减磨导轨贴，并设置导轨润滑油循环通道，构成动压轴承结构，提高了双面研磨抛光设备抛光精度和稳定性。附图说明图1为图2的AA视图；图2为上、下导轨结构示意图；图3为下导轨的底视图；图4为图3的BB本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种采用动压轴承的双面研磨抛光机，包括上导轨、下导轨；其特征在于，所述上导轨与下导轨的接触面设有减磨导轨贴；所述下导轨内设置导轨润滑油循环通道，使所述减磨导轨贴浸在润滑油中，形成动压轴承结构。

【技术特征摘要】
1.一种采用动压轴承的双面研磨抛光机，包括上导轨、下导轨；其特征在于，所述上导轨与下导轨的接触面设有减磨导轨贴；所述下导轨内设置导轨润滑油循环通道，使所述减...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘勇，谢德海，
申请(专利权)人：江苏仁凯光电设备有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32