【技术实现步骤摘要】
一种基于五轴运动平台的X射线检测装置
本专利技术涉及X射线检测装置领域，具体为一种基于五轴运动平台的X射线检测装置。
技术介绍
X射线检测装置主要面向集成电路封装可靠性检测，检查电路及其封装以检查缺陷的存在以便确定缺陷的原因。在较高放大率情况下成像时，将X射线源缩减为尽可能小的光点，才能使图像的边缘清晰度较高，提高X射线识别能力。然而，在光点非常小时，X射线检测装置的稳定性严重影响较高放大率下的边缘清晰度。集成电路技术的发展，对用于X射线检测装置提出了三点要求：1)运动平台高稳定性，以提高细节分辨力；2)多轴运动，可允许探测器在若干平面内进行相对转动，实现物体的倾斜扫描检测功能；被测物体可绕三个轴线运动，从而改变放大率，而且物体保持在探测器的视野内；3)便于维修。2005年，美国NordsonDage公司提出了一种X射线操纵器(US7497617B2)，其技术特征在于：载物台在可沿X、Y和Z向运动，探测器沿弓形框架运动，弓形两端由轴承以可枢转方式安装，并设有配重。缺点是：三轴运动机构一侧固定，稳定性差；弓形框架的稳定性依赖配重大小；弓形框架上圆弧滑块的线缆一端固定...
【技术保护点】
1.一种基于五轴运动平台的X射线检测装置，其特征在于：包括铅房(1)、五轴运动平台(2)、安装组件(4)、X射线源总成(5)、探测器(6)、运动控制室(7)和射线源控制室(8)；所述五轴运动平台(2)设置在铅房(1)内部，所述五轴运动平台(2)包括刚性框架(21)、三轴直线运动机构(22)、两轴回转运动机构(23)和支撑组件(24)，所述刚性框架(21)为镂空的方体框架结构，所述三轴直线运动机构(22)通过所述支撑组件(24)固定在刚性框架(21)的内部底端，所述两轴回转运动机构(23)固定在所述刚性框架(21)的内部顶端；所述X射线源总成(5)固定在三轴直线运动机构(22...
【技术特征摘要】
1.一种基于五轴运动平台的X射线检测装置，其特征在于：包括铅房(1)、五轴运动平台(2)、安装组件(4)、X射线源总成(5)、探测器(6)、运动控制室(7)和射线源控制室(8)；所述五轴运动平台(2)设置在铅房(1)内部，所述五轴运动平台(2)包括刚性框架(21)、三轴直线运动机构(22)、两轴回转运动机构(23)和支撑组件(24)，所述刚性框架(21)为镂空的方体框架结构，所述三轴直线运动机构(22)通过所述支撑组件(24)固定在刚性框架(21)的内部底端，所述两轴回转运动机构(23)固定在所述刚性框架(21)的内部顶端；所述X射线源总成(5)固定在三轴直线运动机构(22)上，所述探测器(6)固定在两轴回转运动机构(23)上；所述运动控制室(7)、射线源控制室(8)分别设置在所述铅房(1)内部底面两端；所述刚性框架(21)的框体底部两端通过所述安装组件(4)固定在运动控制室(7)、射线源控制室(8)上；所述运动控制室(7)用于对三轴直线运动机构(22)、两轴回转运动机构(23)和支撑组件(24)的运动进行控制；所述射线源控制室(8)用于对X射线源总成(5)的射线源的发射进行控制。2.根据权利要求1所述的一种基于五轴运动平台的X射线检测装置，其特征在于：所述安装组件(4)包括支撑座(41)和顶丝(42)，且所述安装组件(4)设置有两组；两个所述支撑座(41)分别通过两个所述顶丝(42)固定在所述刚性框架(21)的框体底部与所述运动控制室(7)、所述射线源控制室(8)之间。3.根据权利要求1所述的一种基于五轴运动平台的X射线检测装置，其特征在于：所述三轴直线运动机构(22)包括第一支撑框架(221)、Y轴滑轨(222)、第二丝杠(223)、第二支撑框架(224)、X轴滑轨(225)、第三丝杠(226)、活动板(227)、第一连接杆(228)、第一滑动块(229)、第二连接杆(2210)和第二滑动块(2211)；所述第一支撑框架(221)为矩形框架结构，所述第一支撑框架(221)的框体底部两侧通过所述支撑组件(24)固定在刚性框架(21)的内部底端；所述Y轴滑轨(222)设置在所述第一支撑框架(221)Y轴方向框体的上表面；所述第二丝杠(223)安装在所述第一支撑框架(221)Y轴方向框体的侧面；所述第二支撑框架(224)为矩形框架结构，所述第二支撑框架(224)与第二丝杠(223)的活塞杆通过第一连接杆(228)固定，所述第一滑动块(229)固定在所述第二支撑框架(224)Y轴方向框体的底部并与所述Y轴滑轨(222)在其长度方向上滑动配合；所述X轴滑轨(225)设置在第二支撑框架(224)X轴方向框体的上表面；所述第三丝杠(226)安装在所述第二支撑框架(224)X轴方向框体的侧面；所述活动板(227)与所述第三丝杠(226)的活塞杆通过第二连接杆(2210)固定；所述第二滑动块(2211)固定在所述活动板(227)底部并与所述X轴滑轨(225)在其长度方向上滑动配合。4.根据权利要求3所述的一种基于五轴运动平台的X射线检测装置，其特征在于：所述支撑组件(24)包括竖直支撑板(241)、滑轨安装板(242)、Z轴滑轨(243)、第一丝杠(244)、滑动支撑架(245)、辅助竖直支撑板(246)、辅助滑轨(247)和辅助滑动支撑架(248)；所述竖直支撑板(241)为“倒梯形”的框架结构，所述竖直支撑板(241)的上框体的两端分别固定在所述刚性框架(21)的X轴方向框体底部并保证所述竖直支撑板(241)的位置靠近刚性框架(21)底部中间；所述X射线源总成(5)安装在所述竖直支撑板(241)内侧，且所述X射线源总成(5)发射的射线贯穿活动板(277)并定位在所述两轴回转运动装置(23)底部中心位置；所述滑轨安装板(242)沿着Z轴方向固定在所述竖直支撑板(241)中部，所述滑轨安装板(242)上设置有Z轴滑轨(243)；所述第一丝杠(244)安装在所述滑轨安装板(242)下端；所述滑动支撑架(245)的底部固定在所述第一丝杠(244)的活塞杆上，且所述滑动支撑架(245)的侧面与所述Z轴滑轨(243)在其长度方向上滑动配合；所述滑动支撑架(245)的顶端与所述第一支撑框架(221)底部的一侧固定，所述第一支撑框架(221)底部的另一侧与所述辅助滑动支撑架(248)的顶端固定；所述辅助竖直支撑板(246)为“倒三角形”的框体结构，辅助竖直支撑板(246)的上框体的两端所述辅助竖直支撑板(246)的中部设置有辅助滑轨(247)，所述分别固定在所述刚性框架(21)的X轴方向框体底部的另一侧；所述辅助滑轨(247)沿Z轴方向设置在所述辅助竖直支撑板(246)的中部，所述辅助滑动支撑架(248)的侧面与所述辅助滑轨(24...
【专利技术属性】
技术研发人员：张腊梅，何张强，李旺，刘华荣，张根烜，时宇航，徐非骏，周杨，王鹏，陈帝江，胡祥涛，盛文军，
申请(专利权)人：中国电子科技集团公司第三十八研究所，
类型：发明
国别省市：安徽,34
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