【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】有机器件的制造方法及成膜装置
本专利技术涉及有机器件的制造方法及成膜装置。
技术介绍
作为有机器件的例子可以举出有机电致发光元件(有机EL器件)、有机太阳能电池、有机晶体管等。有机器件具有第1电极层、具有给定的功能的功能层(例如就有机EL器件而言是空穴注入层、发光层、电子注入层等)和第2电极层,它们设于基板上。在制造有机器件时,为了在第1电极层上形成层叠结构而具有成膜工序。作为成膜工序的例子,如专利文献1中记载所示,已知有利用了作为干式成膜法的一种的真空成膜法的方法。现有技术文献专利文献专利文献1:国际公开第2012/008275号
技术实现思路
专利技术所要解决的问题真空成膜法中,基板上的成膜区域以外需要用遮蔽部遮蔽。作为该遮蔽方法,例如可以考虑将作为遮蔽部的掩模与基板对准、使掩模密合于基板而遮蔽基板的一部分的方法。该情况下,由于无法一边连续运送基板一边在基板上成膜,因此有机器件的生产率降低。此外,由于使掩模直接接触基板,因此有可能在基板中产生损伤,在有机器件中无法实现所期望的性能。因而,本专利技术的目的在于,提供能够在谋求生产率的提高的同时实现所期望的性能的有机器件的制造方法及成膜装置。用于解决问题的方法本专利技术的一个方面的有机器件的制造方法具备在形成于沿一个方向延伸的挠曲性基板的主面的第1电极层上形成包含器件功能部及第2电极层的层叠结构的工序,上述器件功能部包含至少一个功能层,上述形成层叠结构的工序具有一边连续运送形成有上述第1电极层的上述挠曲性基板、一边在上述第1电极层上将第1~第N层(N为2以上的整数)成膜的工序,上述成膜的工序中,一边利用配置于第 ...
【技术保护点】
1.一种有机器件的制造方法,该制造方法具备在形成于沿一个方向延伸的挠曲性基板的主面的第1电极层上形成包含器件功能部及第2电极层的层叠结构的工序,所述器件功能部包含至少一个功能层,形成所述层叠结构的工序具有一边连续运送形成有所述第1电极层的所述挠曲性基板、一边在所述第1电极层上将第1~第N层成膜的工序,其中,N为2以上的整数,所述成膜的工序中,一边利用配置于第1~第N成膜源与所述挠曲性基板之间的第1~第N遮蔽部遮蔽所述主面的一部分区域,一边从所述第1~第N成膜源向所述第1~第N层用的成膜区域选择性地供给所述第1~第N层的材料,由此将所述第1~第N层分别依次在所述第1电极层上成膜,所述第1~第N遮蔽部在与所述挠曲性基板分离的状态下,在所述挠曲性基板的运送方向上被固定,利用所述第1~第N遮蔽部当中的至少一个遮蔽部的所述主面上的遮蔽区域与利用所述第1~第N遮蔽部当中的至少一个其他遮蔽部的遮蔽区域不同。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2017.01.23 JP 2017-0096421.一种有机器件的制造方法,该制造方法具备在形成于沿一个方向延伸的挠曲性基板的主面的第1电极层上形成包含器件功能部及第2电极层的层叠结构的工序,所述器件功能部包含至少一个功能层,形成所述层叠结构的工序具有一边连续运送形成有所述第1电极层的所述挠曲性基板、一边在所述第1电极层上将第1~第N层成膜的工序,其中,N为2以上的整数,所述成膜的工序中,一边利用配置于第1~第N成膜源与所述挠曲性基板之间的第1~第N遮蔽部遮蔽所述主面的一部分区域,一边从所述第1~第N成膜源向所述第1~第N层用的成膜区域选择性地供给所述第1~第N层的材料,由此将所述第1~第N层分别依次在所述第1电极层上成膜,所述第1~第N遮蔽部在与所述挠曲性基板分离的状态下,在所述挠曲性基板的运送方向上被固定,利用所述第1~第N遮蔽部当中的至少一个遮蔽部的所述主面上的遮蔽区域与利用所述第1~第N遮蔽部当中的至少一个其他遮蔽部的遮蔽区域不同。2.根据权利要求1所述的有机器件的制造方法,其中,所述成膜的工序中,一边将所述挠曲性基板卷绕于第1~第N成膜辊的辊表面一边将所述第1~第N层成膜。3.根据权利要求1或2所述的有机器件的制造方法,其中,所述成膜的工序中,将所述第1~第N层分别利用干式成膜法成膜。4.根据权利要求1~3中任一项所述的有机器件的制造方法,其中,利用所述第1~第N遮蔽部当中的第k遮蔽部的遮蔽区域比利用第(k-1)遮蔽部的遮蔽区域窄,其中,2≤k≤N。5.根据权利要求1~4中任一项所述的有机器件的制造方法,其中,所述第1~第N遮蔽部在所述挠曲性基板上将相对于功能体现设计区域更靠外侧的区域遮蔽,所述功能体现设计区域是欲形成所述器件功能部的功能体现区域的区域。6.根据权利要求1~5中任一项所述的有机器件的制造方法,其中,在所述挠曲性基板的所述主面的垂线方向上,所述第1~第N遮蔽部当中的第n遮蔽部的所述主面侧的面与所述主面之间的距离Dn为所述挠曲性基板的厚度的1倍~160倍,其中,1≤n≤N。7.根据权利要求1~6中任一项所述的有机器件的制造方法,其中,在所述挠曲性基板的所述主面的垂线方向上,在将所述第1~第N遮蔽部当中的第n遮蔽部的所述主面侧的表面与所述主面之间的距离Dn的最大值设为Dnmax、将最小值设为Dnmin时,Dnmax与Dnmin满足:{(Dnmax-Dnmin)/((Dnmax+Dnmin)/2)}×100≤40其中,1≤n≤N。8.根据权利要求1~7中任一项所述的有机器件的制造方法,其中,所述第1~第N遮蔽部当中的给定的遮蔽部沿所述挠曲性基板的宽度方向具有多个遮蔽板,所述多个遮蔽板彼此分离。9.根据权利要求8所述的有机器件的制...
【专利技术属性】
技术研发人员:森岛进一,岸川英司,下河原匡哉,
申请(专利权)人:住友化学株式会社,
类型:发明
国别省市:日本,JP
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