配备利用垂直面蒸发源的高清晰AMOLED元件的集群量产设备制造技术

本发明专利技术涉及安装有可量产高清晰AMOLED薄膜的垂直面蒸发源蒸镀机的集群量产设备，是通过在高真空蒸镀箱内利用垂直蒸发源在垂直金属面蒸发源蒸镀有机薄膜后，移送至配备垂直基片和垂直阴影掩模的箱体，并将有机薄膜再蒸发而在基片蒸镀细微图案薄膜的配备AMOLED元件的集群量产设备。本发明专利技术可有效克服基片上蒸镀细微图案时因有机气体扩散而导致的细微图案蒸镀困难现象，同时防止大面积基片及掩模产生下垂现象并利用基片与掩模之间的细微空间来大大减少阴影现象，并通过无间断连续作业而缩减空转时间并提高有机物使用效率，同时可持续维持高真空环境而大大缩短生产时间，再加上无需面蒸发源蒸镀方向转换设备及工序而具有大幅缩减整体生产成本和时间的同时提升成品生产比例的效果。

Cluster Production Equipment with High Definition AMOLED Components Using Vertical Plane Evaporation Source

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】配备利用垂直面蒸发源的高清晰AMOLED元件的集群量产设备
本专利技术涉及安装有可量产高清晰AMOLED薄膜的垂直面蒸发源蒸镀机的集群量产设备，更具体地说是在高真空蒸镀箱内利用垂直蒸发源在垂直金属面蒸发源蒸镀有机薄膜后，移送至配备垂直基片和垂直阴影掩模的箱体，并将有机薄膜再蒸发而在基片蒸镀细微图案薄膜的配备AMOLED元件的集群量产设备。
技术介绍
现有的LCD元件均为另需LED等Backlightunit的结构，因此制成薄膜型或卷曲形态方面仍具有一定限制。另外，LCD元件对获许电场的液晶分子应对速度较慢，从而导致反应速度慢且视频驱动较慢，此外还有另需滤色镜等结构复杂、生产工序多等缺点。作为代替原有LCD元件的新一代显示器件而备受瞩目的AMOLED(ActiveMatrixOrganicLightingEmittedDiode)，是供应电源即可通过有机物质发光的自发光元件，反应速度极快并支持细微图案结构。另外，AMOLED元件无需滤色镜与Backlightunit，生产工序也十分简单，同时支持超薄结构而适合生产超薄显示屏。由于这一特性，AMOLED元件目前正广泛应用于智能手机和大型TV，而且在折叠型和卷曲型显示屏方面的利用率也较高，目前是韩国、中国、日本等国家竞相开发研究与生产的对象。AMOLED显示屏的普遍制作方法为在玻璃基片或PI基片上构成TFT后，将电极与多层有机物质高真空蒸镀后再蒸镀负极电极层，最后封装完成。其中最为核心的有机薄膜在高真空箱蒸发有机物粉末后，被蒸发的有机物分子将贯通细微的阴影掩模或金属掩模，最后在基片上蒸镀并形成细微的图案薄膜。为了完成如上的高真空热蒸发蒸镀，高真空箱内必须具备有机物粉末蒸发源、基片设置装置以及精确排列细微阴影掩模和TFT基片的排列装置等。另外，金属掩模(FMM:Finemetalmask)由含镍的铁合金因瓦合金(invar)制成，制作工艺为蚀刻或镭射，为开发高清晰掩模则需要均匀形成极微小图案的技术。不仅如此，还需要排列TFT基片与细微掩模所需的后台技术和次微米级精密度调控技术。另外，还需要开发可在大面积基片上均匀蒸镀有机薄膜的同时，在对温度极度敏感的有机分子不受损的前提下进行精密控温的高真空热蒸镀技术。不仅如此，因生产用蒸镀机连接几十个高真空箱而使用，还需具备维持高真空环境的零部件和箱体设计、生产技术以及防险技术和自动化技术。尤其是，智能手机用AMOLED元件的清晰度约达600ppi，而利用量子点(QuantumDot)物质无法实现高清晰，因此诸多国家正在提高AMOLED清晰度方面展开着激烈角逐，由此可以判断AMOLED元件的全盛时代将长期维持。另外，VR市场也具有短程视距方面的需求，从而加深了高清晰显示器件开发的需求度。例如，AMOLED的清晰度达2250ppi才能迎来VR时代的全盛期，而目前还不存在可生产清晰度达2250ppi的AMOLED生产设备开发技术，这说明对可量产超高清晰AMOLED元件的生产设备及工程技术的需求十分迫切。图1是生产清晰度为600ppi的AMOLED元件的现有AMOLED薄膜生产蒸镀技术的举例说明。如图1所示，高真空箱(未图示)上部设有基片(10)，基片下方为整齐排列的掩模(12)，再下方为相隔一定间距放置的线蒸发源(14)，通过向前后方向扫描而向上蒸发有机物，并通过喷散角度使被蒸发的有机气体分子束(13)在基片上形成细微图案(11)。此时，由线蒸发源喷出的有机物分子在喷散角度影响下产生阴影现象并导致形成阴影距离(SD)较大(例：3～8μm)的图案，即在形成超细微图案方面存在一定局限。另外，现有的AMOLED薄膜生产蒸镀机因基片大型化所导致的下垂现象或掩模下垂现象而无法执行细微排列，从而在制作超高清晰元件方面存在局限，并最终导致了成品生产比例下降等问题点。另外，就集群量产设备来看，现有生产设备需一一调节各工序箱体所需面蒸发源的蒸发面方向，而且还要追加旋转面蒸发源的繁琐工序，因机械设备及生产时间扩增而导致生产成本上升及成品生产比例下降。(现有技术文献)(专利文献1)公开专利公报第10-2014-0038844号
技术实现思路
技术课题本专利技术针对解决上述问题点而开发，本专利技术的第一目的在于提供安装有可量产克服基片上蒸镀细微图案时因点蒸发源或线蒸发源的有机气体扩散而导致的细微图案蒸镀困难现象，同时防止大面积基片及掩模产生下垂现象并利用基片与掩模之间的细微空间来大大减少阴影现象的高清晰AMOLED薄膜的垂直面蒸发源蒸镀机的集群量产设备。同时，本专利技术的第二目的在于提供安装有可量产在基片上蒸镀细微图案时通过无间断连续作业而缩减空转时间，从而提高有机物使用效率、持续维持高真空环境并减少生产时间的高清晰AMOLED薄膜的垂直面蒸发源蒸镀机的集群量产设备。同时，本专利技术的第三目的在于提供利用无需面蒸发源蒸镀方向转换设备及工序而实现整体生产成本和时间大大减少的同时提升成品生产比例的垂直面蒸发源的高清晰AMOLED元件集群量产设备。课题的解决手段为了解决上述问题，本专利技术中提示的利用垂直面蒸发源的高清晰AMOLED元件集群量产设备包括：基片传送箱(61)；具备垂直面蒸发源(20)和垂直有机物粉末蒸发源(30)的面蒸镀箱(62)；面资源FMM蒸镀箱(63)；冷却箱(64)；掩模保管箱(65)；基片卸载箱(66)；以及具备连接各箱体的机器人箱(60)的六角形模块(100)，并以在基片(10)蒸镀细微图案薄膜为特点。另外，本专利技术中提示的利用垂直面蒸发源的高清晰AMOLED元件集群量产设备中，上述面蒸镀箱(62)，以具备双垂直面蒸镀箱，同时各箱体内至少有2个垂直有机物粉末蒸发源(30)通过左右或上下往复运动而进行扫描及旋转且至少向2个以上垂直面蒸发源(20)轮流蒸镀有机薄膜(22)为特点。另外，本专利技术中提示的利用垂直面蒸发源的高清晰AMOLED元件集群量产设备中，上述面蒸镀箱(62)，以上述垂直有机物粉末蒸发源(30)通过左右或上下运动进行扫描及旋转而在上述垂直面蒸发源(20)的金属面板(S)上蒸镀有机薄膜(22)为特点。另外，本专利技术中提示的利用垂直面蒸发源的高清晰AMOLED元件集群量产设备中，上述面蒸镀箱(62)，以上述垂直面蒸发源(20)与垂直有机物粉末蒸发源(30)垂直相对并且由上述垂直有机物粉末蒸发源(30)喷射的有机气体垂直飞行而在上述垂直面蒸发源(20)的金属面板(S)上蒸镀为有机薄膜为特点。另外，本专利技术中提示的利用垂直面蒸发源的高清晰AMOLED元件集群量产设备中，上述垂直有机物粉末蒸发源(30)，以包括蒸发源坩埚(34)；形成于上述蒸发源坩埚(34)侧面上下或左右的多个蒸发喷嘴(31)；连接于上述蒸发源坩埚(34)下侧并盛有有机物粉末(P)的有机物储存坩埚(35)；置于上述有机物储存坩埚(35)顶部的有机物储存盖(36)；及环绕上述蒸发源坩埚(34)、有机物储存坩埚(35)和有机物储存盖(35)外侧的加热线(32)为特点。另外，本专利技术中提示的利用垂直面蒸发源的高清晰AMOLED元件集群量产设备中，上述蒸发源坩埚(34)、有机物储存坩埚(35)及有机物储存盖(36)以通过第1连接法兰(37)及第2连接法兰(38)相连接并可分解组装为特点。另外，本本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种利用垂直面蒸发源的高清晰AMOLED元件集群量产设备，其特征在于，其由基片传送箱(61)；具备垂直面蒸发源(20)与有机物粉末蒸发源(30)的面蒸镀箱(62)；面资源FMM蒸镀箱(63)；冷却箱(64)；掩模保管箱(65)；基片卸载箱(66)；以及具备与各箱体相连接的机器人箱(60)的六角形模块(100)构成，并在基片(10)上蒸镀细微图案薄膜。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2017.12.28 KR 10-2017-01823101.一种利用垂直面蒸发源的高清晰AMOLED元件集群量产设备，其特征在于，其由基片传送箱(61)；具备垂直面蒸发源(20)与有机物粉末蒸发源(30)的面蒸镀箱(62)；面资源FMM蒸镀箱(63)；冷却箱(64)；掩模保管箱(65)；基片卸载箱(66)；以及具备与各箱体相连接的机器人箱(60)的六角形模块(100)构成，并在基片(10)上蒸镀细微图案薄膜。2.如权利要求1所述的利用垂直面蒸发源的高清晰AMOLED元件集群量产设备，其特征在于，上述面蒸镀箱(62)，具备双垂直面蒸镀箱，同时各箱体内至少有2个垂直有机物粉末蒸发源(30)通过左右或上下运动进行扫描或按一定角度旋转后左右或上下运动进行扫描且至少向2个以上垂直面蒸发源(20)轮流蒸镀有机薄膜(22)。3.如权利要求1所述的利用垂直面蒸发源的高清晰AMOLED元件集群量产设备，其特征在于，上述面蒸镀箱(62)，上述垂直有机物粉末蒸发源(30)通过左右或上下运动进行扫描或按一定角度旋转后左右或上下运动进行扫描而在上述垂直面蒸发源(20)的金属面板(S)上蒸镀有机薄膜(22)。4.如权利要求1所述的利用垂直面蒸发源的高清晰AMOLED元件集群量产设备，其特征在于，上述面蒸镀箱(62)，上述垂直面蒸发源(20)与垂直有机物粉末蒸发源(30)垂直相对并且由上述垂直有机物粉末蒸发源(30)喷射的有机气体水平飞行而在上述垂直面蒸发源(20)的金属面板(S)上蒸镀为有机薄膜。5.如权利要求1所述的利用垂直面蒸发源的高清晰AMOLED元件集群量产设备，其特征在于，上述垂直有机物粉末蒸发源(30)，包括蒸发源坩埚(34)；形成于上述蒸发源坩埚(34)侧面上下或左右的多个蒸发喷嘴(31)；连接于上述蒸发源坩埚(34)下侧并盛有有机物粉末(P)的有机物储存坩埚(35)；置于上述有机物储存坩埚(35)顶部的有机物储存盖(36)；及环绕上述蒸发源坩埚(34)、有机物储存坩埚(35)和有机物储存盖(35)外侧的加热线(32)。6.如权利要求5所述的利用垂直面蒸发源的高清晰AMOLED元件集群量产设备，其特征在于，上述蒸发源坩埚(34)、有机物储存坩埚(35)及有机物储存盖(36)通过第1连接法兰(37)及第2连接法兰(38)相连接并支持分解组装。7.如权利要求5所述的利用垂直面蒸发源的高清晰AMOLED元件集群量产设备，其特征在于，上述蒸发喷嘴(31)安装有防止有机气体外泄的自动开关式盖帽。8.如权利要求5所述的利用垂直面蒸发源的高清晰AMOLED元件集群量产设备，其特征在于，上述蒸发喷嘴(31)形成于与上述蒸发源坩埚(34)相对应的两侧并在与上述垂直有机物粉末蒸发源(30)的两侧面相隔一定间距的两个面蒸发源(20)的金属面板上同时蒸镀有机薄膜(22)。9.如权利要求5所述的利用垂直面蒸发源的高清晰AMOLED元件集群量产设备，其特征在于，上述加热线(32)的外侧形成有覆盖除上述蒸发喷嘴(31)喷射口以外的整个蒸发源外表面的蒸发源外罩(33)。10.如权利要求1所述的利用垂直面蒸发源的高清晰AMOLED元件集群量产设备，其特征在于，上述面蒸镀箱(62)内具备多个垂直有机物粉末蒸发源(30)和多个垂直面蒸发源(20)。11.如权利要求1所述的利用垂直面蒸发源的高清晰AMOLED元件集群量产设备，其特征在于，上述面资源FMM蒸镀箱(63)，具备基片(10)、掩模(12)、蒸镀有机薄膜的面蒸发源(20)及加热上述面蒸发源(20)的发热器加热线(23)并按序排列，同时上述基片(10)的蒸镀面与面蒸发源(20)的有机薄膜(22)以垂直状...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄昌勋，金圣洙，方新雄，
申请(专利权)人：株式会社OLEDON，
类型：发明
国别省市：韩国,KR