压印设备及利用压印设备的压印方法技术

本发明专利技术涉及用于防止衬底与柔性膜之间的剥离的压印设备以及利用其的压印方法，其中，压印设备包括辊对辊单元、衬底、台、台阶补偿单元、冲压施压单元和固定单元，其中，辊对辊单元用于卷绕或重绕柔性膜，衬底布置成与辊对辊单元相对，台包括对衬底进行支承的主台，台阶补偿单元布置在台上，冲压施压单元布置成与台相对并且对柔性膜和衬底进行施压，并且固定单元布置成与台阶补偿单元相对，其中，柔性膜位于固定单元与台阶补偿单元之间。

Impression Equipment and Impression Method Using Impression Equipment

【技术实现步骤摘要】
压印设备及利用压印设备的压印方法
本专利技术涉及压印设备及利用其的压印方法。
技术介绍
精细图案化技术包括光刻(photolithography)、激光干涉光刻(Laserinterferencelithography)、扫描探针光刻(ScanningProbeLithography，SPL)、电子束光刻(E-beamlithography)、纳米压印(Nanoimprint)等技术。利用光的光刻中存在光的衍射极限，并且扫描探针光刻(ScanningProbeLithography，SPL)和电子束光刻会消耗长时间以在大面积上通过点扫描(pointscanning)方式制造图案。相反，纳米压印作为最有希望实现高吞吐量(high-throughput)和高精度(high-resolution)的技术而备受瞩目。然而，由于纳米压印是基于物理接触的工艺，且在接触面变宽的情况下因衬底和冲压件均非完整的平面而可能具有表面上的弯曲或缺陷，因此难以使衬底与冲压件保持完美的平行。这将作为不均匀的残留膜(residuallayer)对后续的工艺产生影响，并且由于冲压件与衬底通常具有彼此不同的热膨胀系数(thermalexpansioncoefficient)，导致冲压件和衬底的尺寸分别因压印工艺中所产生的热而发生变化，而这在大面积的情况下会导致衬底与冲压件的剥离。
技术实现思路
解决的技术问题本专利技术是为解决如上所述的问题而提出，其目的在于提供能够改善在压印工艺中产生的图案缺陷的压印设备以及利用其的压印方法。解决方法为了实现如上所述目的，根据本专利技术的压印设备包括辊对辊单元、衬底、台、台阶补偿单元、冲压施压单元和固定单元，其中，辊对辊单元用于卷绕或重绕柔性膜，衬底布置成与辊对辊单元相对，台包括对衬底进行支承的主台，台阶补偿单元布置在台上，冲压施压单元布置成与台相对并且对柔性膜和衬底进行施压，并且固定单元布置成与台阶补偿单元相对，其中，柔性膜位于固定单元与台阶补偿单元之间台阶补偿单元的厚度可与衬底的厚度相同。台阶补偿单元可布置在主台上。辊对辊单元可包括卷绕有柔性膜的柔性膜供给辊部、以及卷绕有柔性膜并且布置成与柔性膜供给辊部相对的柔性膜回收辊部，并且台阶补偿单元可包括布置在衬底与柔性膜供给辊部之间的第一台阶补偿单元、以及布置在衬底与柔性膜回收辊部之间的第二台阶补偿单元。固定单元可布置成分别与第一台阶补偿单元和第二台阶补偿单元相对。第一台阶补偿单元可与衬底的一侧面和衬底的与一侧面相对的另一侧面中的至少一个接触。压印设备还可包括布置在主台的侧面处的驱动台，并且台阶补偿单元可布置在驱动台上。驱动台能够相对于主台进行相对移动。主台的宽度可与衬底的宽度相同。主台的宽度可大于衬底的宽度。台阶补偿单元的宽度可大于驱动台的宽度。台阶补偿单元可与主台的至少一部分和驱动台的至少一部分重叠。台阶补偿单元可包括高分子化合物(Polymer)、金属(Metal)和玻璃(Glass)中的任一种。台阶补偿单元可以是粘性垫(StickyPad)、粘合片(GeckoSheet)、真空夹持件(VaccumChuck)、多孔夹持件(PorousChuck)和静电夹持件(ElectroStaticChuck)中的任一种。衬底可包括形成为凹凸状的图案。为了实现如上所述目的，根据本专利技术的利用压印设备的压印方法包括以下步骤：将涂覆有树脂的衬底布置到台上；通过固定单元使柔性膜与布置成与衬底相邻的台阶补偿单元接触；使冲压施压单元从衬底的与台阶补偿单元相邻的一端部朝着与一端部相对的另一端部移动，从而使柔性膜与涂覆有树脂的所述衬底接触；以及通过布置在台的上方的紫外灯朝向彼此接触的柔性膜和涂覆有树脂的衬底照射紫外线。台阶补偿单元可包括布置在主台的一端部上的第一台阶补偿单元、以及布置在主台的与一端部相对的另一端部上的第二台阶补偿单元。通过固定单元使柔性膜与布置成衬底相邻的台阶补偿单元接触的步骤可包括以下步骤：通过固定单元使柔性膜与第一台阶补偿单元接触。通过布置在台的上方的紫外灯朝向彼此接触的柔性膜和涂覆有树脂的所述衬底照射紫外线的步骤可包括以下步骤：通过固定单元使柔性膜与第二台阶补偿单元接触。在通过固定单元使柔性膜与布置成与衬底相邻的台阶补偿单元接触的步骤之前，还可包括以下步骤：移动台阶补偿单元使得台阶补偿单元与衬底的侧面接触。有益效果根据本专利技术一实施方式的压印设备以及利用其的压印方法能够改善压印工艺中所产生的图案缺陷。附图说明图1为根据本专利技术一实施方式的压印设备的示意图。图2为根据本专利技术一实施方式的压印设备的放大示意图。图3a至图3c为用于说明利用根据本专利技术一实施方式的压印设备的压印方法的视图。图4为根据本专利技术另一实施方式的压印设备的放大示意图。图5a至图5c为用于说明利用根据本专利技术另一实施方式的压印设备的压印方法的视图。图6a和图6b为根据本专利技术又一实施方式的压印设备的放大示意图。图7a和图7b为根据本专利技术又一实施方式的压印设备的放大示意图。具体实施方式参照在下文中结合附图详细描述的实施方式，本专利技术的优点和特征以及实现它们的方法将变得明确。然而，本专利技术并不限于下文中所公开的实施方式，而是可实现为彼此不同的各种形态。本实施方式仅仅是为了使本专利技术的公开完整并且将专利技术的范围完整地告知给本专利技术所属
的普通技术人员而被提供的。本专利技术仅由权利要求书的范围来限定。因此，在一些实施方式中，为了避免模糊地解释本专利技术，将不具体说明众所周知的工艺步骤、众所周知的器件结构和众所周知的技术。在整个说明书中，相同的附图标记指示相同的构成要素。在附图中，为了明确地表现多个层和区域，厚度被放大示出。在整个说明书中，对相似的部分指定了相同的附图标记。当层、膜、区域、板等部分被称为位于其它部分“上”时，不仅包括“直接”位于其它部分“上”的情况，而且也包括其中间存在另外的其它部分的情况。相反，当某一部分被称为“直接”位于其它部分“上”时，则意味着中间不存在其它部分。此外，当层、膜、区域、板等部分被称为位于其它部分“下”时，不仅包括“直接”位于其它部分“下”的情况，而且也包括其中间存在另外的其它部分的情况。相反，当某一部分被称为“直接”位于其它部分“下”时，则意味着中间不存在其它部分。“下方(below)”、“之下(beneath)”、“下部(lower)”、“上方(above)”、“上部(upper)”等空间相对用语如图中所示可用于容易地阐述一个器件或构成要素与其它器件或构成要素的相关关系。空间相对用语应理解为包括图中所示的方向以及器件在使用时或操作时的彼此不同的方向的用语。例如，在图中所示的器件被翻转的情况下，被记载为位于其它器件“下方(below)”或“之下(beneath)”的器件可放置在其它器件“上方(above)”。因此，作为示例性用语的“下方”可包括上方向和下方向两者。器件也可定向在其它方向上，因此空间相对用语可根据定向进行解释。虽然第一、第二、第三等用语可在本说明书中用于说明各种构成要素，但是这些构成要素并不由上述用语限定。上述用语用于将一个构成要素与其它构成要素区分开的目的。例如，在不背离本专利技术的权利范围的情况下，第一构成要素可被命名为第二构成要素或第三构成要素等，且类似地，第二构成要素或本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.压印设备，包括：辊对辊单元，所述辊对辊单元用于卷绕或重绕柔性膜；衬底，所述衬底布置成与所述辊对辊单元相对；台，所述台包括对所述衬底进行支承的主台；台阶补偿单元，所述台阶补偿单元布置在所述台上；冲压施压单元，所述冲压施压单元布置成与所述台相对并且对所述柔性膜和所述衬底进行施压；以及固定单元，所述固定单元布置成与所述台阶补偿单元相对，其中，所述柔性膜位于所述固定单元与所述台阶补偿单元之间。

【技术特征摘要】
2018.02.28 KR 10-2018-00244661.压印设备，包括：辊对辊单元，所述辊对辊单元用于卷绕或重绕柔性膜；衬底，所述衬底布置成与所述辊对辊单元相对；台，所述台包括对所述衬底进行支承的主台；台阶补偿单元，所述台阶补偿单元布置在所述台上；冲压施压单元，所述冲压施压单元布置成与所述台相对并且对所述柔性膜和所述衬底进行施压；以及固定单元，所述固定单元布置成与所述台阶补偿单元相对，其中，所述柔性膜位于所述固定单元与所述台阶补偿单元之间。2.如权利要求1所述的压印设备，其中，所述台阶补偿单元的厚度与所述衬底的厚度相同。3.如权利要求1所述的压印设备，其中，所述台阶补偿单元布置在所述主台上。4.如权利要求1所述的压印设备，其中，所述辊对辊单元包括：柔性膜供给辊部，所述柔性膜供给辊部上卷绕有所述柔性膜；以及柔性膜回收辊部，所述柔性膜回收辊部上卷绕有所述柔性膜，并且所述柔性膜回收辊部布置成与所述柔性膜供给辊部相对，以及其中，所述台阶补偿单元包括：第一台阶补偿单元，所述第一台阶补偿单元布置在所述衬底与所述柔性膜供给辊部之间；以及第二台阶补偿单元，所述第二台阶补偿单元布置在所述衬底与所述柔性膜回收辊部之间。5.如权利要求4所述的压印设备，其中，所述固定单元布置成分别与所述第一台阶补偿单元和所述第二台阶补偿单元相对。6.如权利要求4所述的压印设备，其中，所述第一台阶补偿单元与所述衬底的一侧面和所述衬底的与一侧面相对的另一侧面中的至少一个接触。7.如权利要求1所述的压印设备，还包括：驱动台，所述驱动台布置在所述主台的侧面处，其中，所述台阶补偿单元布置在所述驱动台上。8.如权利要求7所述的压印设备，其中，所述驱动台能够相对于所述主台进行相对移动。9.如权利要求7所述的压印设备，其中，所述主台的宽度与所述衬底的宽度相同。10.如权利要求7所述的压印设备，其中，所述主台的宽度大于所述衬底的宽度。11....

【专利技术属性】
技术研发人员：韩政洹，金圭范，金珉秀，裵大錄，李康源，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国,KR