【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】扫描天线和扫描天线的制造方法
本专利技术涉及扫描天线，特别是涉及天线单位(有时也称为“元件天线”。)具有液晶电容的扫描天线(有时也称为“液晶阵列天线”。)及其制造方法。
技术介绍
移动体通信或卫星广播用天线需要能改变波束的方向(被称为“波束扫描”或者“波束定向(beamsteering)”。)的功能。作为具有这种功能的天线(以下称为“扫描天线(scannedantenna)”。)，已知具备天线单位的相控阵列天线。但是，现有的相控阵列天线的价格高，这成为向消费品普及的障碍。特别是，当天线单位的数量增加时，成本会显著上升。因此，已提出利用了液晶材料(包括向列液晶、高分子分散液晶)的大的介电各向异性(双折射率)的扫描天线(专利文献1～5和非专利文献1)。液晶材料的介电常数具有频率分散性，因此在本说明书中将微波的频带中的介电常数(有时也称为“相对于微波的介电常数”。)特别标记为“介电常数M(εM)”。在专利文献3和非专利文献1中，记载了通过利用液晶显示装置(以下称为“LCD”。)的技术能得到价格低的扫描天线。现有技术文献专利文献专利文献1：特开2007-116573号公报...
【技术保护点】
1.一种扫描天线，其中排列有多个天线单位，其特征在于，具有：TFT基板，其具有：第1电介质基板；支撑于上述第1电介质基板的多个TFT；多个栅极总线；多个源极总线；以及多个贴片电极；缝隙基板，其具有：第2电介质基板；以及支撑于上述第2电介质基板的第1主面的缝隙电极；液晶层，其设置在上述TFT基板与上述缝隙基板之间；以及反射导电板，其以隔着电介质层与上述第2电介质基板的与上述第1主面相反的一侧的第2主面相对的方式配置，上述缝隙电极具有与上述多个贴片电极对应地配置的多个缝隙，上述多个贴片电极各自连接到对应的TFT的漏极，上述缝隙电极具有：Cu层；以及形成在上述Cu层的上述第2电介...
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2017.01.13 JP 2017-0042541.一种扫描天线，其中排列有多个天线单位，其特征在于，具有：TFT基板，其具有：第1电介质基板；支撑于上述第1电介质基板的多个TFT；多个栅极总线；多个源极总线；以及多个贴片电极；缝隙基板，其具有：第2电介质基板；以及支撑于上述第2电介质基板的第1主面的缝隙电极；液晶层，其设置在上述TFT基板与上述缝隙基板之间；以及反射导电板，其以隔着电介质层与上述第2电介质基板的与上述第1主面相反的一侧的第2主面相对的方式配置，上述缝隙电极具有与上述多个贴片电极对应地配置的多个缝隙，上述多个贴片电极各自连接到对应的TFT的漏极，上述缝隙电极具有：Cu层；以及形成在上述Cu层的上述第2电介质基板侧的下侧金属层和/或形成在上述Cu层的上述液晶层侧的上侧金属层，上述下侧金属层和/或上述上侧金属层使上述Cu层具有的拉伸应力减小约一半以上。2.根据权利要求1所述的扫描天线，上述Cu层具有约2μm以上约6μm以下的厚度，上述下侧金属层和上述上侧金属层分别是下侧Ti层和上侧Ti层，上述下侧Ti层和上述上侧Ti层中的至少一方的厚度、或上述下侧Ti层和上述上侧Ti层的总计厚度为上述Cu层的厚度的约三分之一以上。3.根据权利要求2所述的扫描天线，上述下侧Ti层的厚度为约50nm以下。4.根据权利要求2或3所述的扫描天线，上述上侧Ti层具有上述Cu层的厚度的约三分之一以上的厚度，并且具有将从上述多个缝隙各自的边缘起为至少300μm的区域进行开口的开口部。5.根据权利要求4所述的扫描天线，具有配置在上述上侧Ti层的上述开口部内的多个柱状间隔物。6.根据权利要求4或5所述的扫描天线，具有配置在上述上侧Ti层的上述开口部的周边的多个柱状间隔物。7.根据权利要求5或6所述的扫描天线，上述开口部具有关于对应的缝隙的中心成点对称的形状。8.根据权利要求5至7中的任意一项所述的扫描天线，上述多个柱状间隔物关于经过对应的缝隙的中心且与长度方向平行的轴配置为线对称。9.一种扫描天线，其中排列有多个天线单位，其特征在于，具有：TFT基板，其具有：第1电介质基板；支撑于上述第1电介质基...
【专利技术属性】
技术研发人员：大类贵俊，大竹忠，中村涉，箕浦洁，纪藤贤一，
申请(专利权)人：夏普株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP
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