【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种气体静压导轨，尤其是涉及一种凹面气体静压导轨。
技术介绍
气体静压导轨，以其摩擦力小、运动平稳、精度高和几乎无热变形等优点， 广泛应用于超精密机床、精密测量仪器。随着世界进入了纳米时代，气体静压 导轨更加突显出它的巨大优势，且对其精度要求也不断提高。但近年来研究发 现，由于作为气体静压导轨承载介质的气体具有可压縮性，容易引起微小的自 激振动，导致在与润滑气膜相垂直的法线方向存在振动现象，幅值通常可达30-50nm。在气膜法线方向进行高精密测量时，测量信号被气膜振动信号淹没。 同理，很多采用气体润滑技术的精密加工设备，也遇到了这样的问题。气体静压导轨产生振动的原因很复杂，影响其振动的主要因素有节流孔 孔径、节流孔结构形式、供气压力、气膜厚度等。为减小气膜振动，各国专家 学者进行了很多研究，常用的方法是复合节流法(即在工作面表面开设均压 槽)。但此种方法，在抑制气膜自激振动上仍有一定限度，无法使气膜振幅减小 至纳米级精度或更低。
技术实现思路
克服上述技术中存在的不足之处，本专利技术的目的在于提供气膜振幅小，定 位精度高的一种凹面气体静压导轨。为达到上述目的，本专利技术采用的技术方案是气体静压导轨的一侧的工作面为平面或凹面，平面或凹面上设有一个或一 个以上等径节流孔，与其相配合的气体静压导轨的另一侧的工作面为平面或凹 面。所述的凹面为光滑的凹球面、凹圆锥面或凹拱形面。 所述的气体静压导轨的一个凹面上开有均压槽。 所述的节流孔直径小于1毫米。 本专利技术具有的有益效果是本专利技术使得导轨气膜振幅降低至传统气体静压导轨气膜振幅的80%以下。 适用于精密气体...
【技术保护点】
一种凹面气体静压导轨，其特征在于：气体静压导轨的一侧的工作面为平面或凹面，平面或凹面上设有一个或一个以上等径节流孔，与其相配合的气体静压导轨的另一侧的工作面为平面或凹面。
【技术特征摘要】
1.一种凹面气体静压导轨，其特征在于气体静压导轨的一侧的工作面为平面或凹面，平面或凹面上设有一个或一个以上等径节流孔，与其相配合的气体静压导轨的另一侧的工作面为平面或凹面。2. 根据权利要求1所述的一种凹面气体静压导轨，其特征在于所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：李东升，叶树亮，尹招琴，王茜，
申请(专利权)人：中国计量学院，
类型：发明
国别省市：86[中国|杭州]
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