翻转滑动式腔门结构、等离子真空腔体及等离子处理设备制造技术

技术编号:21993468 阅读:37 留言:0更新日期:2019-08-31 03:47
本发明专利技术公开了一种翻转滑动式腔门结构、等离子真空腔体及等离子处理设备,腔门结构包括滑轨、滑动安装在滑轨上的安装架以及转动连接在安装架内部的腔门,腔门两侧均设有料架托盘,腔门中部穿装有竖向旋转轴,竖向旋转轴安装在安装架内部,竖向旋转轴由位于安装架顶部的驱动机构A驱动,腔门在驱动机构A的作用下绕着竖向旋转轴在安装架内部旋转,安装架由位于其外部的驱动机构B驱动滑动;等离子真空腔体及等离子处理设备都采用了所述翻转滑动式腔门结构。本发明专利技术通过设置旋转真空腔门即可调换其两侧料架托盘的位置,进而实现快速更换进出材料的目的。

Flipping sliding gate structure, plasma vacuum chamber and plasma treatment equipment

【技术实现步骤摘要】
翻转滑动式腔门结构、等离子真空腔体及等离子处理设备
本专利技术涉及真空
,尤其涉及一种翻转滑动式腔门结构及等离子真空腔体及等离子处理设备。
技术介绍
真空腔体在很多处理设备中都是必不可少的一部分,在现有的真空腔体中,大多数真空腔门一侧铰接在腔体本体的侧壁上,在更换进出材料时,打开真空腔门,一般是先将真空腔室内的材料取出后,再将待处理的材料放入真空腔室内,整个生产过程的效率低下,不能满足日益需求的生产要求。
技术实现思路
为了解决上述问题,本专利技术的目的是提供一种翻转滑动式腔门结构以及利用该翻转滑动式腔门结构的等离子真空腔体及等离子处理设备,该翻转滑动式腔门结构中的腔门设计成可翻转结构,在其两侧均设置料架托盘,通过在水平方向翻转腔门即可调换料架托盘的位置,进而实现快速更换进出材料的目的。第一方面,本专利技术提供的翻转滑动式腔门结构,包括滑轨、滑动安装在滑轨上的安装架以及转动连接在安装架内部的腔门,腔门两侧均设有料架托盘,腔门中部穿装有竖向旋转轴,竖向旋转轴安装在安装架内部,竖向旋转轴由位于安装架顶部的驱动机构A驱动,腔门在驱动机构A的作用下绕着竖向旋转轴在安装架内部旋转,安装架由位于其外部的驱动机构B驱动滑动。本专利技术提供的翻转滑动式腔门结构,驱动机构B可以驱动安装架沿着滑轨滑动,靠近或远离腔体本体的进出口,当腔体本体内的物料处理完毕后,使腔门结构滑离腔体本体进出口,驱动机构A驱动竖向旋转轴旋转,进而带动腔门旋转,当腔门旋转180°后,腔门两侧料架托盘的的位置进行了调换,从而快速实现更换进出材料的目的。作为本专利技术的一个优选实施方式,进一步地,为了保证安装架滑动过程中的稳定性,安装架为矩形框架结构,其至少一侧设有肋板,肋板底部设有与安装架底部水平固定连接的水平支撑板,水平支撑板底部设置滑块,滑块滑动安装在滑轨上。作为本专利技术的一个优选实施方式,进一步地,安装架内部空间在水平方向的长度及导轨的长度均不小于腔门的宽度及两个料架托盘最外侧间的距离,从而保证腔门可以顺利地在安装架内翻转,并且保证安装架在滑动过程中的稳定性。作为本专利技术的一个优选实施方式,进一步地,驱动机构A为旋转电机,水平安装在安装架顶部,竖向旋转轴通过旋转轴承穿装在安装架顶部,竖向旋转轴上端穿出安装架顶部与旋转电机的输出轴通过锥形齿轮连接,和/或,驱动机构B安装在腔体本体顶部或底部,驱动机构B为气缸,其气缸轴与安装架顶端或底端连接,便于推动安装架滑动。更进一步地,安装架顶部设有固定架,固定架为开口朝下的U型结构,其上开设有供竖向旋转轴上端穿出的通孔,驱动机构A安装在固定架上方。再进一步地,固定架上方设有罩盖,用于覆盖锥形齿轮,罩盖一侧开设用于穿装驱动机构A输出轴的通孔,罩盖可以有效防止外部杂物对锥形齿轮造成干扰而引起的故障。作为本专利技术的一个优选实施方式,进一步地,腔门两侧均固定有支架,料架托盘底部转动连接在支架端部,通过旋转料架托盘,即可快速将其内部的物料倒出,提高生产效率;料架托盘包括间隔设置的多层托盘平台以及固定连接托盘的背板,多层托盘平台可以提高料架托盘整体的装载量,并且使物料充分与真空腔室内的离子等物质接触。作为本专利技术的一个优选实施方式,进一步地,腔门上开设有观察孔,便于操作者通过腔门观察腔体内的情况。第二方面,本专利技术提供一种真空腔体,其包括腔体本体和腔门结构,腔门结构为第一方面任一所述的翻转滑动式腔门结构,腔体本体的进出口边缘设有密封圈,腔门结构的滑轨与腔体本体的进出口所在平面垂直,安装架固定在进出口外侧,并与进出口所在平面平行,腔门的形状与进出口相匹配,料架托盘的尺寸小于进出口的尺寸,腔门结构在驱动机构B作用下使腔门与进出口紧密贴合,腔体本体内壁与腔门形成真空腔室。本专利技术提供的真空腔体,可以实现未处理物料与已处理物料的快速更换,滑轨、安装架等位置和方向的设置保证了腔门移动方向的确定性,保证腔门与进出口的完好配合,进出口边缘设置的密封圈可以保证腔门滑动到进出口后与进出口保持密封,从而保持真空腔体的真空环境。第三方面,本专利技术提供一种等离子真空腔体,其在第二方面提供的真空腔体的基础上,在腔体本体内部设置相对分布并与外部电源连接的正极和负极,或者,腔体本体与外部的等离子体发生器连接。使真空腔体内生成等离子体,对物料进行等离子处理。第四方面,本专利技术提供一种等离子处理设备,其包括等离子真空腔体及位于其腔门结构之前的进料装置,等离子真空腔体为第三方面提供的等离子真空腔体,进料装置中的物料输送装置A与真空腔体的料架托盘相对应,真空腔体下方设有物料输送装置C,便于将真空腔体处理后的物料输出。作为本专利技术的一个优选实施方式,进一步地,进料装置与真空腔体之间还设有加热装置,加热装置的进口、出口分别与进料装置的出口、料架托盘相对应。材料经加热预处理“活化”后,再进入真空腔体中进行等离子处理,从而使材料整体的稳定性、牢固性及拉伸性能都有所提高。作为本专利技术的一个优选实施方式,进一步地,料架托盘包括2-10层托盘平台,加热装置内部设有与托盘平台对应的2-10层物料输送装置B,每层物料输送装置B上方均设有加热管;进料装置内部设有与物料输送装置B对应的2-10层物料输送装置A。作为本专利技术的一个优选实施方式,进一步地,物料输送装置C在腔体本体进出口方向倾斜向下设置,滑轨下方设有接料装置,接料装置的出口位于物料输送装置C上方。作为本专利技术的一个优选实施方式,进一步地,接料装置为由U型板活动拼接而成的可伸缩结构,其开口斜向上,由驱动机构D驱动。附图说明图1为翻转滑动式腔门结构的结构示意图;图2为翻转滑动式腔门结构的侧视图;图3为翻转滑动式腔门结构中一侧料架托盘翻转时的结构示意图;图4为真空腔体的结构示意图;图5为真空腔体中一侧料架托盘翻转时的结构示意图;图6为等离子处理设备的结构示意图;图7为等离子处理设备中一侧料架托盘翻转时的结构示意图。图中,1、腔体本体;11、进出口;12、密封圈;2、腔门结构;21、滑轨;22、安装架;221、肋板;222、水平支撑板;223、滑块;224、固定架;225、罩盖;231、竖向旋转轴;232、旋转轴承;24、腔门;241、观察孔;25、驱动机构A;26、驱动机构B;27、支架;28、驱动机构C;3、料架托盘;31、托盘平台;32、背板;4、进料装置;41、物料输送装置A;42、;5、加热装置;51、物料输送装置B;52、加热管;6、物料输送装置C;7、接料装置;8、驱动机构D。具体实施方式下面结合附图对本专利技术做进一步的说明。实施例1本专利技术提供一种翻转滑动式腔门结构2,如图1-3所述,包括滑轨21、滑动安装在滑轨21上的安装架22以及转动连接在安装架22内部的腔门24,腔门24两侧均设有料架托盘3,腔门24中部穿装有竖向旋转轴231,竖向旋转轴231安装在安装架22内部,竖向旋转轴231由位于安装架22顶部的驱动机构A25驱动,腔门24在驱动机构A的作用下绕着竖向旋转轴231在安装架22内部旋转,安装架22由位于其外部的驱动机构B26驱动滑动。优选地,竖向旋转轴231的两端穿出腔门24,通过旋转轴承232安装在安装架22的顶端和底端,保证腔门旋转的稳定性。一个安装架内可以安装一个或多个腔门,当安装一个腔门时,竖向旋转轴231安装在安装架的中本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种翻转滑动式腔门结构,其特征在于,包括滑轨(21)、滑动安装在滑轨上的安装架(22)以及转动连接在安装架内部的腔门(24),腔门两侧均设有料架托盘(3),腔门(24)中部穿装有竖向旋转轴(231),竖向旋转轴安装在安装架内部,竖向旋转轴由位于安装架顶部的驱动机构A(25)驱动,腔门在驱动机构A的作用下绕着竖向旋转轴在安装架内部旋转,安装架由位于其外部的驱动机构B(26)驱动滑动。

【技术特征摘要】
1.一种翻转滑动式腔门结构,其特征在于,包括滑轨(21)、滑动安装在滑轨上的安装架(22)以及转动连接在安装架内部的腔门(24),腔门两侧均设有料架托盘(3),腔门(24)中部穿装有竖向旋转轴(231),竖向旋转轴安装在安装架内部,竖向旋转轴由位于安装架顶部的驱动机构A(25)驱动,腔门在驱动机构A的作用下绕着竖向旋转轴在安装架内部旋转,安装架由位于其外部的驱动机构B(26)驱动滑动。2.根据权利要求1所述的翻转滑动式腔门结构,其特征在于,安装架为矩形框架结构,其内部空间在水平方向的长度及导轨的长度均不小于腔门的宽度及两个料架托盘最外侧间的距离。3.根据权利要求1所述的翻转滑动式腔门结构,其特征在于,驱动机构A为旋转电机,水平安装在安装架顶部,竖向旋转轴通过旋转轴承(232)穿装在安装架中部,竖向旋转轴上端穿出安装架顶部与旋转电机的输出轴通过锥形齿轮连接;和/或,驱动机构B安装在腔体本体顶部或底部,驱动机构B为气缸,其气缸轴与安装架顶端或底端连接。4.根据权利要求1所述的翻转滑动式腔门结构,其特征在于,腔门两侧均固定有支架(27),料架托盘转动连接在支架端部,料架托盘的底部设有驱动机构C(28);料架托盘包括2-10层的托盘平台(31)以及固定连接托盘平台的背板(32);和/或,腔门上开设有观察孔(241)。5.一种等离子真空腔体,其特征在于,包括腔体本体(1)和腔门结构(2);腔体本体内部设有相对分布并与外部电源连接的正极和负极,或者,腔体本体与外部的等...

【专利技术属性】
技术研发人员:蔡刚强王琛璐
申请(专利权)人:苏州卫鹏机电科技有限公司
类型:发明
国别省市:江苏,32

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