一种测量平台用显微镜及其定位方法技术

本发明专利技术公开了一种测量平台用显微镜，包括显微镜支架；转换盘，可旋转安装于支架上，所述转换盘上环形阵列分布有不同倍率的多个镜头；定位结构，包括可相对转动的固定件和定位件，所述固定件设置于所述转换盘或显微镜支架上，所述固定件上环形阵列分布有多个凹槽，每个凹槽分别对应一个所述镜头，所述定位件上配合所述凹槽设置有弹性件，该弹性件作用于固定件并可沿固定件表面滑动，还包括传感器和动力装置。同时本发明专利技术还公开了上述显微镜的定位方法。本发明专利技术通过传感器感应控制电流大小，配合定位结构，能实现镜头自动旋转后的精准定位。

A Microscope for Measuring Platform and Its Location Method

【技术实现步骤摘要】
一种测量平台用显微镜及其定位方法
本专利技术涉及光学测量领域，特别是涉及一种测量平台用的显微镜及其定位方法。
技术介绍
测量显微镜，采用透、反射的方式对工件长度和角度作精密测量，特别适用于录象磁头、大规模集成电路线宽以及其它精密零件的测试，广泛地适用于计量室、生产作业线及科学研究等部门，工作台除作X、Y坐标的移动外，还可以作360度的旋转，亦可以进行高度方向做Z坐标的测量，是一种理想的固定场所小型精密测量仪器；测量显微镜仪器进一步可连接CCD电视摄像头，作工件的轮廓放大；亦可连接计算机进行数据处理等测量。但是目前现有的测量显微镜，其不同倍率镜头的旋转测量都是靠人工手动去旋转调试，很容易导致手部触碰到待测量工件或物品，造成工件或物品的污染或磨损，且手动旋转镜头还容易造成镜头对准精度不准，扫描测量误差较大等问题。有鉴于此，有必要提供一种能实现精准定位、可自动切换镜头的测量平台用显微镜。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种能实现精准定位、可自动切换镜头的测量平台用显微镜。为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：本申请实施例公开一种测量平台用显微镜，包括：显微镜支架；转换盘，可旋转安装于支架上，所述转换盘上环形阵列分布有不同倍率的多个镜头；定位结构，包括可相对转动的固定件和定位件，所述固定件设置于所述转换盘或显微镜支架上，所述固定件上环形阵列分布有多个凹槽，每个凹槽分别对应一个所述镜头，所述定位件上配合所述凹槽设置有弹性件，该弹性件作用于固定件并可沿固定件表面滑动。优选地，在上述一种测量平台用显微镜中，还包括与转换盘传动连接的电机。优选地，在上述一种测量平台用显微镜中，相邻的所述镜头之间分别设置有1个感应片，所述感应片阵列设置于转换盘的四周，还包括与所述感应片对应的传感器。作为本专利技术的进一步改进点，在上述一种测量平台用显微镜中，所述弹性件包括弹簧以及设置于弹簧末端的弹珠，所述弹珠与所述凹槽配合。优选地，在上述一种测量平台用显微镜中，所述固定件固定于转换盘上方且与转换盘同轴设置，所述定位件与显微镜支架相对固定。本申请实施例还公开了一种测量平台用显微镜的定位方法，包括：s1、电机作用于转换盘并带动镜头转动；s2、传感器实时感知经过的感应片，并将检测信号发送至控制单元；s3、控制单元降低电机的电流，该电流满足可使得弹性件沿固定件表面滑动，但是无法使得弹性件无法从凹槽中滑出。优选地，在上述的测量平台用显微镜的定位方法中，所述弹性件滑动至凹槽内之后，以特定的频率抖动特定的时间。优选地，在上述的测量平台用显微镜的定位方法中，其步骤还包括：输入镜头切换指令；增大电机的电流，使得弹性件从凹槽中滑出。与现有技术相比，本专利技术的优点在于：本测量平台用显微镜，可以实现镜头倍率的自动切换，并且通过传感器控制电流大小，配合动力装置及定位结构实现镜头自动旋转后的精准定位，实现了大幅面产品的便捷测量。附图说明为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1所示为本专利技术一具体实施例中一种显微镜测量平台的立体图；图2所示为本专利技术一具体实施例中一种显微镜测量平台的镜头自动切换装置结构图；图3所示为本专利技术一具体实施例中一种显微镜测量平台的镜头自动切换装置右视图；图4为本专利技术一具体实施例中一种测量平台用显微镜的内部细节图；图5所示为本专利技术一具体实施例中镜头自动切换装置中的同步传动机构结构图；图6所示为本专利技术一具体实施例中一种测量平台用显微镜的定位结构示意图。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行详细的描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。参考图1所示，在一具体实施例中提供了一种显微镜测量平台，包括底座架1，置于底座架1上的测量平台2以及可滑动于测量平台2上的显微镜结构。底座架1的材质为花岗岩，底座架1外套有铂金外罩，底座架1与测量平台2间设有空气弹簧11，底座架1上还设有可用于方便移动的脚轮12。在该技术方案中，空气弹簧11能隔绝环境振动，确保显微镜在扫描测量的过程中，镜头与待测表面之间不会发生各方向位移。显微镜结构包括沿z轴方向设于测量平台2两侧的立柱31，沿x轴方向固定设于立柱31上的横梁32，设于横梁32上，可沿横梁32来回滑动的x轴滑台基板33以及固定于x轴滑台基板33上，可沿z轴上下移动的，用于扫描观测的、可自动切换镜头的测量平台用显微镜30。立柱31材质为花岗岩，立柱31可同时沿着测量平台2的边缘滑动。参考图2-6所示，在一具体实施例中提供了一种显微镜测量平台的镜头自动切换装置及其细节图，包括支架301，转换盘302，同步传动机构，动力装置304、传感器305以及固定架306。支架301用于显微镜在测量平台2和x轴滑台基板33上的固定，同时还用于显微镜内部光学组件的安装，支架301包括一平行于测量平台2的支架基座底面3011以及一镜头安装面3012，镜头安装面3012与支架基座底面3011呈现一钝角，便于单个镜头对下方工件的测量。转换盘302，可旋转安装于支架301的镜头安装面3012上，转换盘302上开设有多个安装孔3023，参考图6所示，安装孔3023用于可拆卸安装不同倍率的镜头，相邻镜头之间分别设置有1个感应片(图未示)，感应片阵列设置于转换盘302的四周，感应片可与传感器305配合控制镜头旋转精度，转换盘302上方设有与转换盘302一体成型的固定件3021，固定件3021与转换盘302同轴设置，固定件3021为圆柱形，中央中空，可供旋转转轴通过，固定件3021上环形阵列分布有多个凹槽30211，每个凹槽30211分别对应一个镜头。在其他实施例中，固定件还可设置于显微镜支架上。支架301内，固定件3021的侧面还设有一可与固定件相对转动的定位件3022，定位件3022上沿其轴向设置有配合凹槽30211的弹性件30221，该弹性件30221作用于固定件3021，并可沿固定件3021表面滑动。弹性件30221包括弹簧以及设置于弹簧末端的弹珠，弹珠与凹槽30211配合，在无阻力的情况下，弹珠在弹簧的作用下，略冒出定位件3022表面，弹珠的大小与固定件3021上的凹槽30211相匹配，当转换盘302转动时，弹簧被压缩，弹珠在固定件3021表面滑动，当转到所需倍率镜头时，弹珠在弹簧的压力下，回弹进凹槽30211，进行镜头的精准定位。在上述技术方案中，凹槽还可设于固定件上表面，与之相对应的，定位件也设于固定件上方，定位件中的弹性件-弹簧和弹珠向下凸伸于定位件下表面，与凹槽实现卡合。动力装置304，安装于支架301上，为转换盘302的转动提供动力，动力装置304为混合步进电机，包括电机本体3041和与电机本体传动连接的连接杆(图未示)，参考图4所示。同步传动机构，设置于转换盘302与动力装置304之间，可将来自动力装置304的动力传递至转换本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种测量平台用显微镜，其特征在于，包括：显微镜支架；转换盘，可旋转安装于支架上，所述转换盘上环形阵列分布有不同倍率的多个镜头；定位结构，包括可相对转动的固定件和定位件，所述固定件设置于所述转换盘或显微镜支架上，所述固定件上环形阵列分布有多个凹槽，每个凹槽分别对应一个所述镜头，所述定位件上配合所述凹槽设置有弹性件，该弹性件作用于固定件并可沿固定件表面滑动。

【技术特征摘要】
1.一种测量平台用显微镜，其特征在于，包括：显微镜支架；转换盘，可旋转安装于支架上，所述转换盘上环形阵列分布有不同倍率的多个镜头；定位结构，包括可相对转动的固定件和定位件，所述固定件设置于所述转换盘或显微镜支架上，所述固定件上环形阵列分布有多个凹槽，每个凹槽分别对应一个所述镜头，所述定位件上配合所述凹槽设置有弹性件，该弹性件作用于固定件并可沿固定件表面滑动。2.根据权利要求1所述的一种测量平台用显微镜，其特征在于，还包括与转换盘传动连接的电机。3.根据权利要求2所述的一种测量平台用显微镜，其特征在于，相邻的所述镜头之间分别设置有1个感应片，所述感应片阵列设置于转换盘的四周，还包括与所述感应片对应的传感器。4.根据权利要求1所述的一种测量平台用显微镜，其特征在于，所述弹性件包括弹簧以...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡进，胡彧，陈铭勇，仲崇明，
申请(专利权)人：苏州亿拓光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32