【技术实现步骤摘要】
一种高峰值功率脉冲激光损伤阈值自动测试装置
本专利技术涉及光学设备
，更具体的说是涉及一种高峰值功率脉冲损伤阈值自动测试装置。
技术介绍
随着激光技术的发展，高峰值功率脉冲激光在激光打标、激光打孔、激光内雕等领域越来越成为加工行业的宠儿，其应用领域越来越宽。在激光领域，特别是高峰值功率激光领域，一个重要的因素是光学元件是否能够承受强激光辐射；在激光加工领域，材料的激光损伤阈值决定了加工激光参数的选择。因此，在激光应用中，如何在线、迅速、准确地判定高峰值脉冲激光的激光损伤阈值，一直是激光与物质相互作用领域的主要研究内容之一。对于激光损伤的测试，国际上颁布了ISO-11254-1(激光和激光设备光学表面激光导致损伤阀值的测定第1部分：1-on-1试验)和ISO11254-2(测定的光学表面的激光诱导损伤阈值第2部分：S-ON-1试验)，对激光损伤的判定进行了规范。标准中规定使用100-150倍的显微镜对激光辐照后的光学元件和光学薄膜进行观察，以判断是否发生损伤。1996年，我国行业研究者，综合了上述两个国际标准，颁布了国家标准GB/T16601-1996(光学表...
【技术保护点】
1.一种高峰值功率脉冲激光损伤阈值自动测试装置，其特征在于，包括：三维电控目标靶台(100)、激光损伤时刻监测系统(200)、损伤用激光器系统(300)和程控计算机(400)；所述损伤用激光器系统(300)包括：损伤激光聚焦系统(301)、激光扩束系统(302)、损伤用激光器(303)及其激光电源(304)以及损伤瞄准用激光器(305)及其电源，所述损伤瞄准用激光器(305)和所述损伤用激光器(303)同轴，且所述损伤瞄准用激光器(305)发出的可见光瞄准激光和所述损伤用激光器(303)发出的损伤激光依次经过所述激光扩束系统(302)和所述损伤激光聚焦系统(301)聚焦到所...
【技术特征摘要】
1.一种高峰值功率脉冲激光损伤阈值自动测试装置，其特征在于，包括：三维电控目标靶台(100)、激光损伤时刻监测系统(200)、损伤用激光器系统(300)和程控计算机(400)；所述损伤用激光器系统(300)包括：损伤激光聚焦系统(301)、激光扩束系统(302)、损伤用激光器(303)及其激光电源(304)以及损伤瞄准用激光器(305)及其电源，所述损伤瞄准用激光器(305)和所述损伤用激光器(303)同轴，且所述损伤瞄准用激光器(305)发出的可见光瞄准激光和所述损伤用激光器(303)发出的损伤激光依次经过所述激光扩束系统(302)和所述损伤激光聚焦系统(301)聚焦到所述靶材的同一点上；所述激光损伤时刻监测系统(200)包括：聚焦透镜一(201)、聚焦透镜二(202)、激光扩束镜(203)、指示光激光器(204)、双色反射镜(205)、窄带滤光片(206)、聚焦透镜三(207)、光电探测器(208)、前放及比较电路(209)、计时计算机(210)和照明光激光器(211)；所述指示光激光器(204)发出的指示光经所述激光扩束镜(203)调整到合适宽度后，再依次经过所述双色反射镜(205)、所述聚焦透镜二(202)和所述聚焦透镜一(201)聚焦到所述三维电控目标靶台(100)上的靶材激光损伤区域，且与所述损伤瞄准用激光器(305)发出的损伤激光指示光重合；所述照明光激光器(211)发出的照明激光与所述损伤瞄准用激光器(305)发出的损伤激光指示光重合，实现系统的瞄准；所述光电探测器(208)时刻接收所述照明光激光器(211)的散射波信号；从所述三维电控目标靶台(100)到所述光电探测器(208)的光路轴线之间依次设置有所述聚焦透镜一(201)、所述聚焦透镜二(202)、所述双色反射镜(205)、所述窄带滤光片(206)和所述聚焦透镜三(207)；所述计时计算器(210)触发所述程控计算机(400)；所述程控计算机(400)控制所述三维电控目标靶台(100)；且程控计算机(400)控制所述激光电源(304)，从而控制所述损伤用激光器(303)的输出能量和开关；所述光电探测器(208)、所述前放及比较电路(209)、所述计时计算机(210)和所述照明激光器(211)依次电连接；所述光...
【专利技术属性】
技术研发人员：金光勇，王頔，张巍，王耀德，蔡继兴，马遥，苑博识，魏智，李昌立，
申请(专利权)人：长春理工大学，
类型：发明
国别省市：吉林,22
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