分光分析装置制造方法及图纸

即使在设置场所中受到由共振造成的影响的情况下，仍进行测定对象的流体的分析。分光分析装置具有：激光光源部，其朝向在插入至测定对象流体的流路的探针内设置的反射体，照射出波长变化的激光；受光部，其对由所述反射体反射出的所述激光进行受光；以及控制部，其进行使用了所述受光部的受光结果的所述测定对象流体的分析和所述激光光源部的控制，所述控制部对所述激光光源部的激光输出进行控制，以使得遍及一定波长范围对从所述激光光源部照射的所述激光的波长进行扫描所需的时间即扫描时间，小于或等于在所述反射体反射出的所述激光向所述受光部照射的照射时间。

Spectrometric analyzer

【技术实现步骤摘要】
分光分析装置
本专利技术涉及一种分光分析装置。
技术介绍
以往，作为对测定对象成分的浓度进行测定的装置，已知TDLAS(TunableDiodeLaserAbsorptionSpectroscopy：波长可变二极管激光吸收分光)式激光气体分析计(例如，参照专利文献1)。TDLAS式激光气体分析计，例如安装在烟道的炉壁，对烟道内的测定对象成分的浓度进行测定。更具体地说，TDLAS式激光气体分析计具有：激光光源，其插入至烟道内的工艺气体的流路，照射出激光；受光部，其对激光进行受光；以及探针，其具有使照射至工艺气体中的激光反射而进行往复的反射体。TDLAS式激光气体分析计使从激光光源照射的激光在反射体进行反射，由受光部对在工艺气体中穿过的激光的强度进行测定，基于测定出的强度而将测定对象的成分浓度直接测定。CO、CO2、H2O、CnHm、NH3、O2等许多气体分子，具有通过分子从红外向近红外域的振动或者旋转能量迁移而产生的光吸收谱。吸收谱是成分分子固有，吸光度与成分浓度和光路长度成正比(Lambert-Beer的定律)，因此能够通过对吸收谱强度进行测定而测定对象成分的浓度。在TDLAS式激光本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种分光分析装置，其具有：激光光源部，其朝向在插入至测定对象流体的流路的探针内设置的反射体，照射出波长变化的激光；受光部，其对由所述反射体反射出的所述激光进行受光；以及控制部，其进行使用了所述受光部的受光结果的所述测定对象流体的分析、和所述激光光源部的控制，所述控制部对所述激光光源部的激光输出进行控制，以使得遍及一定波长范围对从所述激光光源部照射的所述激光的波长进行扫描所需的时间即扫描时间，小于或等于在所述反射体反射出的所述激光向所述受光部照射的照射时间。

【技术特征摘要】
2018.02.16 JP 2018-0263491.一种分光分析装置，其具有：激光光源部，其朝向在插入至测定对象流体的流路的探针内设置的反射体，照射出波长变化的激光；受光部，其对由所述反射体反射出的所述激光进行受光；以及控制部，其进行使用了所述受光部的受光结果的所述测定对象流体的分析、和所述激光光源部的控制，所述控制部对所述激光光源部的激光输出进行控制，以使得遍及一定波长范围对从所述激光光源部照射的所述激光的波长进行扫描所需的时间即扫描时间，小于或等于在所述反射体反射出的所述激光向所述受光部照射的照射时间。2.根据权利要求1所述的分光分析装置，其中，所述扫描时间是遍及将取得测定对象流体的吸收谱的吸收峰值的波长夹入的波长范围而对从所述激光光源部照射的激光的发光波长进行扫描所需的时间。3.根据权利要求1或2所述的分光分析装置，其中，所述控制部根据所述受光部的受光结果，对所述扫描时间进行设定，以使得至少得到1个完整的扫描信号。4.根据权利要求1或2所述的分光分析装置，其中，具有加速度传感器，该加速度传感器对所述探针的振动的加速度进行检测，使用所述加速度传感器的检测结果，对由所述反射体反射出的所述激光向所述受光部照射的照射时间进行计算，对所述激光光源部的激光输出进行控制，以使得关于从所述激光光源部照射的所述激光的波长，所述扫描时间小于或等于所述照射时间的一半。5.根据权利要求1或2所述的分光分析装置，其中，所述控制部使所述激光光源部进行多次扫描，使所述受光部对与所述多次扫描相对应的多个扫描信号进行受光，所述控制部从包含所述多个扫描信号在内的受光部的受光结果，将不适于分析的扫描信号去除。6.根据权利要求5所述的分光分析装置，其中，所述控制部将去除了不适于分析的扫描信号后的所述多个扫描信号进行累计并求出平均，取得累计平均扫描信号，基于取得的累计平均扫描信号，进行所述测定对象流体的分析。7.根据权利要求4所述的分光分析装置，其中，所述控制部使用所述加速度传感器的检测结果，对所述探针的振动振幅进行计算，基于计算出的所述振动振幅...

【专利技术属性】
技术研发人员：间健太郎，松尾纯一，菊谷信子，杉山裕弥，
申请(专利权)人：横河电机株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP