微波干燥装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种微波干燥装置，包含：微波发射单元；微波照射单元，其与该微波发射单元连接，包括：导波管，其中，该导波管具有管壁且具有由该管壁所围绕的照射空间，且该导波管的管壁上具有两个狭缝；隔离单元，其设置于该微波发射单元及该微波照射单元之间；以及排气单元，其与该导波管连接。由此，本发明专利技术的微波干燥装置可有效地提升对于工作件的干燥效率，可应用于显示面板产业、触控面板产业及太阳能模块产业。

Microwave dryer

【技术实现步骤摘要】
微波干燥装置
本专利技术涉及一种微波干燥装置，更特别地涉及一种包含导波管的微波干燥装置。
技术介绍
目前，于光电产业玻璃基板干燥制程中，常见干燥装置包括风刀与热风机。其中，多组风刀分别面对玻璃基板上、下表面设置，热风机则将加热后的干燥空气或氮气吹向基板，将基板残留水分吹干。此方法除容易产生水痕外，风刀位置调校耗时，空气的扰动也不利于基板上落尘的控制。或者，由烘箱加热方式，将基板表面水分烘干。此方法需要较长的生产线安装烘箱和后段的冷却机构，且耗电量较高。微波是频率大约介于300MHz至300GHz之间的电磁波。由微波对于水分子的加热选择性，可加热并干燥工作件上的水分。然而，传统的微波加热装置大多仅能以批量(batch)的方式来干燥工作件，无法实现连续式的生产线，造成工作效率不佳。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种微波干燥装置，以改善传统的干燥装置工作效率不佳的问题。为达上述目的及其他目的，本专利技术提出一种微波干燥装置，包含：微波发射单元；微波照射单元，其与该微波发射单元连接，包括：导波管，其中，该导波管具有管壁且具有由该管壁所围绕的照射空间，且该导波管的管壁上具有两个狭缝；隔离单元，其设置于该微波发射单元及该微波照射单元之间；以及排气单元，其与该导波管连接。于本专利技术的一实施例中，所述狭缝的宽度是1～5mm(最大不超过5mm)。于本专利技术的一实施例中，所述波管具有矩形的横截面。于本专利技术的一实施例中，该微波干燥装置进一步包含：微波监测单元，其设置于该照射空间中或设置于该微波发射单元与该隔离单元之间。于本专利技术的一实施例中，该微波干燥装置进一步包含：微波吸收单元，其与该微波照射单元连接；以及热能回收单元，其与该微波吸收单元连接。于本专利技术的一实施例中，该微波照射单元包括：多个导波管，其由至少一连接件彼此串联，其中，所述导波管分别具有管壁且分别具有由该管壁所围绕的照射空间，以及所述导波管的管壁上分别具有两个狭缝。于本专利技术一实施例中，该多个导波管与该至少一连接件一体成形。于本专利技术一实施例中，该微波照射单元包括：多个导波管，其由分配件彼此并联，该分配件具有至少一分支部分，于每一分支部分设置一功率分配单元，其中，所述导波管分别具有管壁且分别具有由该管壁所围绕的照射空间，以及所述导波管的管壁上分别具有两个狭缝。于本专利技术一实施例中，该多个导波管与该分配件一体成形。由此，本专利技术提供了一种微波干燥装置，其可以连续的方式，利用微波对微波吸收体(例如：玻璃基板上的水)进行加热，由此干燥工作件，以符合制造者的需求。此外，工作件上的水分因微波快速加热而蒸发，不需经过工作件本身来传导热能，生产线长度可被尽可能地缩短，减少系统所占的空间与制造成本。此外，本专利技术所提供的微波干燥装置可回收制程产生的热能，有效地提升能源的利用。附图说明图1是本专利技术实施例1的微波干燥装置的示意图。图2是本专利技术实施例1的微波干燥装置的工作状态的侧视图。图3是本专利技术实施例2的微波干燥装置的示意图。图4是本专利技术实施例3的微波干燥装置的工作状态的上视图。图5是本专利技术实施例3的微波干燥装置的工作状态的侧视图。图6是本专利技术实施例4的微波干燥装置的工作状态的上视图。图7是本专利技术实施例4的微波干燥装置的工作状态的侧视图。具体实施方式为充分了解本专利技术的目的、特征及功效，兹由下述具体的实施例，并配合附图，对本专利技术做详细说明，说明如后：实施例1图1是本专利技术实施例1的微波干燥装置的示意图。如图1所示，实施例1的微波干燥装置10，包含：微波发射单元11，用于发射微波；微波照射单元12，其与该微波发射单元11连接，包括：导波管121，用于引导该微波发射单元11所发射的微波，其中，该导波管121具有管壁122且具有由该管壁122所围绕的照射空间123，且该导波管的管壁上具有两个狭缝124；隔离单元13，其设置于该微波发射单元11及该微波照射单元12之间；以及排气单元15，其与该导波管121连接。请进一步参照图2，其为本专利技术实施例1的微波干燥装置的工作状态的侧视图。如图2所示，于工作状态中，工作件50通过该导波管121的管壁122上的两个狭缝124进出该照射空间123，以于该照射空间123中由微波干燥该工作件50。参照图2，本实施例中由多个滚轮51来引导该工作件50进出该照射空间123。但本专利技术并不限于此，也可使用任何现有的传输机构来引导该工作件，例如：也可由穿越狭缝的输送带来引导该工作件进出该照射空间。实施例1中，该导波管121的横截面为矩形。但本专利技术并不限于此，也可为圆形、多边形或其他形状。实施例1中，该导波管121邻近该微波发射单元11的一端开放，以接收由该微波发射单元11所发射的微波；而远离该微波发射单元11的另一端封闭，以避免微波自末端泄漏。微波照射空间内形成以驻波形式为主的工作状态。实施例1的微波干燥装置中，该隔离单元的设置可防止该微波发射单元受到反射的微波的损害，由此延长该微波发射单元的使用寿命。实施例1的微波干燥装置中，该排气单元可用于排除该导波管内部的水蒸气，由此可避免干燥该工作件时所产生的水蒸气在导波管内部过度累积，可进一步提升该微波干燥装置的干燥效率。由图1及图2可见，本专利技术的微波干燥装置10直接于导波管121中的照射空间123干燥工作件50，可有效地减少该微波干燥装置10所占的空间。此外，两个狭缝124的设置，可使工作件50顺利进出该照射空间123，同时，也可有效地避免微波泄漏至该导波管121之外。由此，本专利技术的微波干燥装置，可应用于连续式的生产线(例如：卷对卷(RolltoRoll)制程)中，可有效地提升生产线的工作效率。举例来说，可将本专利技术的微波干燥装置应用于显示面板产业、触控面板产业及太阳能模块产业的连续式的生产线中，由该微波干燥装置干燥该生产线中待干燥的玻璃基材。在本专利技术的一实施方式中，该微波发射单元可包含：电源供应器；微波源；以及微波传输所需元件。在本专利技术的一实施方式中，该隔离单元可包含：隔离器。在本专利技术的一实施方式中，该隔离单元可包含：环形器；以及终端负载。本专利技术的微波干燥装置中，该微波发射单元所发射的微波的频率及波长并未特别限制，本专利技术所属
中的本领域技术人员可根据该导波管及狭缝的尺寸进行适当的调整。考量下列因素，优选地，当导波管的横截面为矩形时，该导波管的尺寸与该微波发射单元所发射的微波的频率及波长之间可具有下列关系：优选地，该导波管的尺寸，其必须大于某个最小横截面，相对应的微波信号的波长才能发挥正常作用。相较于导波管的截面积，若该信号的波长太长(频率太低)，则电磁场将无法有效地传播。优选地，导波管工作的最低频率范围为其横截面尺寸足以纳入微波信号的一个最大波长。当导波管的横截面为矩形，且该导波管的长度、宽度及高度分别为x、a及b时，特定模式的较低截止频率(或较大截止波长)可由以下公式确定(长度x对截止频率没有影响)：其中，a＝导波管的宽度(公尺)b＝导波管的高度(公尺)m＝a方向半波长的变化数n＝b方向半波长的变化数μ＝真空中的电容率(8.854187817×10-12法拉/公尺)ε＝真空中的磁导率(4π×10-7N·A-2)常用的标准型矩形导波管的内部横截面在大多数情况下具有2：1的宽高比(市售的导波管WR-90不完全如此，还有其他许多例外本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种微波干燥装置，其特征在于，包含：微波发射单元；微波照射单元，其与该微波发射单元连接，包括：导波管，其中，该导波管具有管壁且具有由该管壁所围绕的照射空间，且该导波管的管壁上具有两个狭缝；隔离单元，其设置于该微波发射单元及该微波照射单元之间；以及排气单元，其与该导波管连接。

【技术特征摘要】
1.一种微波干燥装置，其特征在于，包含：微波发射单元；微波照射单元，其与该微波发射单元连接，包括：导波管，其中，该导波管具有管壁且具有由该管壁所围绕的照射空间，且该导波管的管壁上具有两个狭缝；隔离单元，其设置于该微波发射单元及该微波照射单元之间；以及排气单元，其与该导波管连接。2.如权利要求1所述的微波干燥装置，其特征在于，所述狭缝的宽度是1～5mm。3.如权利要求1所述的微波干燥装置，其特征在于，该导波管具有矩形的横截面。4.如权利要求1所述的微波干燥装置，其特征在于，进一步包含：微波监测单元，其设置于该照射空间中或设置于该微波发射单元与该隔离单元之间。5.如权利要求1所述的微波干燥装置，其特征在于，进一步包含：微波吸收单元，其与该微波照射单元连接；以及热能回收单元，其与该微波吸收...

【专利技术属性】
技术研发人员：丁鸿泰，陈来成，龙显盛，
申请(专利权)人：睿明科技股份有限公司，艾图雅科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾,71