真空泵及平衡调整方法技术

本发明专利技术提供一种真空泵及平衡调整方法，能够减少用于调整失衡的削减量或安装失衡调整用的螺钉时的附加质量。涡轮分子泵是利用多个螺栓将泵转子(4a)固定在旋转轴即轴(4b)上的结构，在多个螺栓中，使用沿轴芯形成有贯通孔(510)的空心的螺栓(51)以及沿轴芯未形成孔的实心的螺栓(50)。因此，通过将固定有旋转体(4)的多个螺栓(50)的一部分更换成空心的螺栓(51)，可以进行失衡调整。

Vacuum Pump and Balance Adjustment Method

【技术实现步骤摘要】
真空泵及平衡调整方法
本专利技术涉及一种真空泵及平衡调整方法。
技术介绍
在涡轮分子泵等真空泵中，是使包括泵转子(pumprotor)的旋转体以每分钟转数(RevolutionPerMinute，r.p.m.)为数万的高速旋转而进行排气。如果旋转体存在失衡，就会产生振动而无法进行安静的运转，所以通常是一边使组装后的旋转体高速旋转，一边测定不均衡，以对失衡进行修正。作为失衡修正方法，已经知道如专利文献1所述那样削去旋转体的一部分的方法、或如专利文献2所述那样将平衡修正用螺钉附加于旋转体上的方法。[现有技术文献][专利文献][专利文献1]日本专利特开2003-021092号公报[专利文献2]日本专利特开2003-148389号公报
技术实现思路
[专利技术所要解决的问题]但是，当失衡量大时，会产生所去除的体积(即削减量)增大的问题，并且，当将平衡修正用螺钉附加于旋转体上时，会产生螺丝攻(tap)周边的应力的载荷增大的问题。[解决问题的技术手段]本专利技术的优选形态的真空泵包括利用多个螺栓将泵转子固定在旋转轴上的结构的旋转体、或利用多个螺栓将转子零件固定在泵转子上的结构的旋转体，在所述多个螺栓中，使用沿轴芯形成有第一孔的第一空心螺栓、沿轴芯形成有孔径或孔深与所述第一孔不同的第二孔的第二空心螺栓、及未形成沿轴芯的孔的实心螺栓中的至少两种螺栓。在更优选的形态中，所述转子零件是平衡调整用构件。在更优选的形态中，所述多个螺栓是通过贯通所述平衡调整用构件及所述泵转子，将所述平衡调整用构件及所述泵转子与固定所述泵转子的旋转轴共同紧固而固定。在更优选的形态中，所述转子零件是通过所述第一空心螺栓、所述第二空心螺栓及所述实心螺栓中的至少两种螺栓而固定在所述泵转子上，所述泵转子通过多个泵转子固定用螺栓而固定在所述旋转轴上，所述多个泵转子固定用螺栓与将所述转子零件固定在所述泵转子上的所述多个螺栓不同，在所述多个泵转子固定用螺栓中，使用沿轴芯形成有第三孔的第三空心螺栓、沿轴芯形成有孔径或孔深与所述第三孔不同的第四孔的第四空心螺栓、及未形成沿轴芯的孔的实心螺栓中的至少两种螺栓。在更优选的形态中，在所述第一孔及第二孔中的至少一者中，形成有安装平衡调整用螺钉的内螺纹。在本专利技术的优选形态的平衡调整方法中，利用多个所述实心螺栓或所述第一空心螺栓将所述泵转子固定在所述旋转轴上，或将所述转子零件固定在所述泵转子上，测量所述旋转体的失衡量，基于所测量的所述失衡量，将多个所述实心螺栓或所述第一空心螺栓的一部分更换成所述第二空心螺栓。在本专利技术的优选形态的平衡调整方法中，利用多个所述实心螺栓或所述第一空心螺栓将所述平衡调整用构件固定在所述泵转子上，测量所述旋转体的第一失衡量，基于所测量的所述第一失衡量，将多个所述实心螺栓或所述第一空心螺栓的一部分更换成所述第二空心螺栓，测量螺栓更换后的所述旋转体的第二失衡量，基于所测量的所述第二失衡量削除所述平衡调整用构件的一部分。在本专利技术的优选形态的平衡调整方法中，利用多个所述实心螺栓或所述第一空心螺栓将所述转子零件固定在所述泵转子上，测量所述旋转体的第一失衡量，基于所测量的所述第一失衡量，将多个所述实心螺栓或所述第一空心螺栓的一部分更换成所述第二空心螺栓，测量螺栓更换后的所述旋转体的第二失衡量，基于所测量的所述第二失衡量，将所述平衡调整用螺钉安装于所述第二空心螺栓的任一个所述内螺纹。[专利技术的效果]根据本专利技术，能够减少用于调整失衡的削减量或附加失衡调整用的螺钉时的附加质量。附图说明图1是表示本专利技术的真空泵的第一实施方式的图。图2是泵转子与轴的紧固部的放大图。图3是图2的A向视图。图4是表示失衡调整操作的顺序的一例的流程图。图5(a)及图5(b)是表示失衡微调方法的具体例的图。图6是表示第二实施方式的图。图7是表示第三实施方式的图。图8是表示第三实施方式的变形例的图。[符号的说明]1：涡轮分子泵4：旋转体4a：泵转子4b：轴50～55：螺栓60：平衡圈400、550：螺孔510、530：贯通孔512：内螺纹具体实施方式以下，参照附图，对用于实施本专利技术的方式进行说明。-第一实施方式-图1是表示本专利技术的真空泵的第一实施方式的图，是涡轮分子泵1的截面图。涡轮分子泵1包括涡轮泵段以及螺纹槽泵段，涡轮泵段包含旋转叶片40及固定叶片30，螺纹槽泵段包含圆筒部41及定子31。在螺纹槽泵段中，在定子31或圆筒部41上形成有螺纹槽。旋转叶片40及圆筒部41形成于泵转子4a上。泵转子4a通过多个螺栓50、螺栓51而紧固在旋转轴即轴4b上。如后所述，螺栓50与螺栓51的结构不同。通过利用螺栓50、螺栓51将泵转子4a与轴4b紧固为一体，而形成旋转体4。相对于配置在泵轴方向上的多段旋转叶片40，交替地配置有多段固定叶片30。各固定叶片30是经由隔圈(spacerring)33在泵轴方向上层叠着。轴4b由设置于底座3上的磁轴承34、磁轴承35、磁轴承36非接触支撑。虽然省略了详细的图示，但是各磁轴承34～磁轴承36包括电磁铁及位移传感器。通过位移传感器来检测轴4b的悬浮位置。再者，在本实施方式中是以磁轴承式的涡轮分子泵为例进行说明，但是本专利技术可以不限于磁轴承式而应用。使泵转子4a与轴4b螺固的旋转体4是通过马达10而旋转驱动。当磁轴承未运行时，轴4b由不常用的机械轴承(mechanicalbearing)37a、机械轴承37b支撑。当通过马达10而使旋转体4高速旋转时，泵吸气口侧的气体通过涡轮泵段(旋转叶片40、固定叶片30)及螺纹槽泵段(圆筒部41、定子31)而依次排气，并从排气埠38排出。图2是表示泵转子4a与轴4b的紧固部的结构的图。并且，图3是图2的A向视图。在轴4b的紧固面上，形成有定位用的凸部43。凸部43与形成于泵转子4a的紧固面上的定位用的凹部44嵌合。螺栓50、螺栓51通过贯通形成于泵转子4a上的贯通孔42并与形成于轴4b的紧固面上的螺孔45螺合，而将泵转子4a固定在轴4b上。螺栓50是一般的实心的螺栓，但是在螺栓51上沿轴芯形成有贯通孔510。螺栓51的质量比螺栓50轻相当于形成贯通孔510的程度。另一方面，螺栓50、螺栓51的外形尺寸(螺栓的长度、螺栓的直径、螺栓的螺纹直径等)为共同。因此，在各个螺孔45中，无论螺栓50、螺栓51都能够螺合。再者，以符号511表示的部分是形成于螺栓头(bolthead)上的六角孔。如图3所示，用于将泵转子4a紧固于轴4b上的螺栓50、螺栓51共使用了八根。在图3中，螺栓50使用了四根，螺栓51使用了四根。在本实施方式中，还使用将泵转子4a固定在轴4b上的螺栓50、螺栓51作为旋转体4的失衡修正用的零件。为了所述目的，使用质量不同的螺栓50、螺栓51。(失衡调整操作)图4是表示失衡调整操作的顺序的一例的流程图。在步骤S10中，使用实心的螺栓(标准的螺栓)50将泵转子4a固定在轴4b上。在步骤S20中，通过平衡器(balancer)来测量旋转体4的失衡量。在步骤S30中，判定在步骤S20中所测量的失衡量是否在规定值(合格基准值)以内。当判定为规定值以内时，结束失衡调整操作。在这种情况下，将泵转子4a固定在轴4b上的螺栓全部称为实心的螺栓50。另一方面，当在步骤S30中判定为失衡量超过规定值时进入本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空泵，包括利用多个螺栓将泵转子固定在旋转轴上的结构的旋转体、或利用多个螺栓将转子零件固定在泵转子上的结构的旋转体，所述真空泵的特征在于，在所述多个螺栓中，使用第一空心螺栓、第二空心螺栓及实心螺栓中的至少两种螺栓，所述第一空心螺栓沿轴芯形成有第一孔，所述第二空心螺栓沿轴芯形成有孔径或孔深与所述第一孔不同的第二孔，所述实心螺栓未形成沿轴芯的孔。

【技术特征摘要】
2018.02.14 JP 2018-0239101.一种真空泵，包括利用多个螺栓将泵转子固定在旋转轴上的结构的旋转体、或利用多个螺栓将转子零件固定在泵转子上的结构的旋转体，所述真空泵的特征在于，在所述多个螺栓中，使用第一空心螺栓、第二空心螺栓及实心螺栓中的至少两种螺栓，所述第一空心螺栓沿轴芯形成有第一孔，所述第二空心螺栓沿轴芯形成有孔径或孔深与所述第一孔不同的第二孔，所述实心螺栓未形成沿轴芯的孔。2.根据权利要求1所述的真空泵，其特征在于，所述转子零件是平衡调整用构件。3.根据权利要求2所述的真空泵，其特征在于，所述多个螺栓是贯通所述平衡调整用构件及所述泵转子，通过将所述平衡调整用构件及所述泵转子与固定所述泵转子的旋转轴共同紧固而固定。4.根据权利要求2所述的真空泵，其特征在于，所述转子零件通过所述第一空心螺栓、所述第二空心螺栓及所述实心螺栓中的至少两种螺栓而固定在所述泵转子上，所述泵转子通过多个泵转子固定用螺栓而固定在所述旋转轴上，所述多个泵转子固定用螺栓与将所述转子零件固定在所述泵转子上的所述多个螺栓不同，在所述多个泵转子固定用螺栓中，使用第三空心螺栓、第四空心螺栓及实心螺栓之中的至少两种螺栓，所述第三空心螺栓沿轴芯形成有第三孔，所述第四空心螺栓沿轴芯形成有孔径或孔深与所述第三孔不同的第四孔，所述实心螺栓未形成沿轴芯的孔。5.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：木村裕章，
申请(专利权)人：株式会社岛津制作所，
类型：发明
国别省市：日本,JP