静电喷涂装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种静电喷涂装置，包括：喷嘴，用于喷出喷涂物料；固定架，朝向喷嘴，用于固定待喷涂工件；直流电源，其负极与喷嘴相连，其正极与固定架相连，用于生成喷涂所需的电场；位置控制装置，分别与喷嘴以及固定架相接，用于使喷嘴至待喷涂工件所在平面的垂直连线方向与重力方向具有第一夹角，以利用重力对从喷嘴喷出的喷涂物料的直径和/或质量进行筛选，从而调整待喷涂工件表面喷涂薄膜的状态。本发明专利技术的静电喷涂装置，以利用重力对从喷嘴喷出的喷涂物料的直径和/或质量进行筛选，经过筛选的喷涂物料直径和/或质量均一度较高，在喷涂至待喷涂工件表面后形成的薄膜表面粗糙度均匀，以提高静电喷涂表面粗糙度的均一性。

Electrostatic Spraying Device

【技术实现步骤摘要】
静电喷涂装置
本专利技术涉及静电喷涂领域，特别是涉及一种静电喷涂装置。
技术介绍
静电喷涂技术是一种定向高效的喷涂制膜技术，主要是通过在喷嘴和待喷涂工件之间加一高压静电场，当运载气体或液体推进器将喷涂物料从储料仓送到喷嘴时，由于喷嘴与直流电源的负极相连，在喷嘴附近产生了密集的电荷，使得经由喷嘴喷出的喷涂物料液滴或粉末带上了电荷。当带电荷的液滴或粉末进入了电场强度很高的静电场后，在推动力、静电力以及重力的作用下，喷涂料会飞向待制膜工件，并在具有正电的待喷涂工件表面吸附涂装。之后经加热固化等后处理，转化为耐久的膜层。传统静电喷涂过程，由于缺乏对喷涂物料直径或质量的筛选手段，使得直径或质量不均的喷涂物料在待喷涂工件表面所形成的薄膜表面粗糙度不均匀，无法满足例如半导体薄膜器件等对薄膜平整度要求很高的工艺需求。
技术实现思路
本专利技术的一个目的是要提供一种提高静电喷涂薄膜表面粗糙度均一性的静电喷涂装置。本专利技术的另一个目的是要提供一种静电喷涂薄膜表面粗糙度可调的静电喷涂装置。特别地，本专利技术提供了一种静电喷涂装置，包括：喷嘴，用于喷出喷涂物料；固定架，用于固定待喷涂工件，并且固定架配置为朝向本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种静电喷涂装置，包括：喷嘴，用于喷出喷涂物料；固定架，用于固定待喷涂工件，并且所述固定架配置为朝向所述喷嘴，以使得至少一部分从所述喷嘴喷出的喷涂物料可以飞行至所述待喷涂工件；直流电源，其负极与所述喷嘴相连，其正极与所述固定架相连，用于生成喷涂所需的电场；位置控制装置，分别与所述喷嘴以及所述固定架相接，用于使所述喷嘴至所述待喷涂工件所在平面的垂直连线方向与重力方向具有第一夹角，以利用重力对喷涂至所述待喷涂工件表面的喷涂物料的直径和/或质量进行筛选，从而调整所述待喷涂工件表面喷涂薄膜的状态，所述第一夹角的范围为大于0°小于等于180°。

【技术特征摘要】
1.一种静电喷涂装置，包括：喷嘴，用于喷出喷涂物料；固定架，用于固定待喷涂工件，并且所述固定架配置为朝向所述喷嘴，以使得至少一部分从所述喷嘴喷出的喷涂物料可以飞行至所述待喷涂工件；直流电源，其负极与所述喷嘴相连，其正极与所述固定架相连，用于生成喷涂所需的电场；位置控制装置，分别与所述喷嘴以及所述固定架相接，用于使所述喷嘴至所述待喷涂工件所在平面的垂直连线方向与重力方向具有第一夹角，以利用重力对喷涂至所述待喷涂工件表面的喷涂物料的直径和/或质量进行筛选，从而调整所述待喷涂工件表面喷涂薄膜的状态，所述第一夹角的范围为大于0°小于等于180°。2.根据权利要求1所述的静电喷涂装置，其中，所述第一夹角的范围为90°至180°。3.根据权利要求1所述的静电喷涂装置，其中，所述喷嘴的喷料方向与重力方向具有第二夹角；所述第二夹角等于所述第一夹角，或者所述第二夹角大于所述第一夹角且所述第二夹角与所述第一夹角的差值小于90°。4.根据权利要求1所述的静电喷涂装置，其中所述位置控制装置包括：第一控位装置，与所述喷嘴相连，用于控制所述喷嘴的空间姿态；第二控位装置，与所述固定架相连，用于控制所述待喷涂工件的空间姿态，以使其朝向所述喷嘴。5.根据权利要求4所述的静电喷涂装置，其中，所述第二控位装置还配置为绕其自身旋转轴...

【专利技术属性】
技术研发人员：于晴，孟庆波，李冬梅，吴会觉，罗艳红，石将建，
申请(专利权)人：中国科学院物理研究所，
类型：发明
国别省市：北京,11