光电振荡器制造技术

提供了一种包括光学芯片和微波芯片的光电振荡器。所述光学芯片是基于集成光学材料基底制作不同光电子器件实现的，光电子器件包括：激光器组件；模式选择器件，与激光器组件相耦接，并被配置为接收来自所述激光器组件的激光，并对所述激光进行选模；光延时单元，与所述模式选择器件相耦接；和探测器，与所述光延时单元相耦接。所述微波芯片基于半导体材料基底上制作微波元件来形成的微波集成电路，微波元件包括：微波处理电路，配置为接收探测器的微波信号，并对微波信号进行信号处理；耦合器，与微波处理电路相耦接，并被配置为将经处理的微波信号的一部分提供给相移器，并输出另一部分；和相移器，被配置为将经相移的微波信号馈送回激光器组件。

Photoelectric oscillator

【技术实现步骤摘要】
光电振荡器
本专利技术涉及集成微波光子学
，尤其涉及一种低相噪、可调谐、混合集成的光电振荡器。
技术介绍
微波光子技术被认为是解决目前信息网路所面临的速率和容量瓶颈问题的关键技术之一，其既有电子技术灵活的优点，也有光子技术宽带、可重构和抗干扰的优点。低相位噪声的微波信号被广泛地应用在雷达系统等军事领域，所以高纯度的微波信号产生一直是微波光子学研究的重点。基于光电振荡器可以产生极高纯度的相位噪声，军用级光电振荡器相位噪声可以低至-140dBc/Hz@10kHz。因此，光电振荡器的研究今年来受到了各国科研机构的广泛重视。传统的光电振荡器主要使用激光器、长光纤、调制器、探测器、滤波器等分立器件组成，尽管能产生高质量的微波信号，但是其体积、重量大，容易受到震动和温度等外界环境的干扰，很难在战场等复杂环境持续稳定地工作。不仅如此，由于其采用多个分立器件，成本较高，同时对整个系统的供电和能耗有着不小的要求，从而导致传统的光电振荡器系统体积大、重量重，成本高和稳定性难以保证等不足之处。因此，需要一种体积小、重量轻、稳定性高且可调谐的光电振荡器，其能够产生低相噪的微波输出。
技术实现思路
针对现有本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光电振荡器，包括：光学芯片，其中所述光学芯片是基于集成光学材料基底制作不同光电子器件实现的，所述光电子器件包括：激光器组件，所述激光器组件配置为发射激光；模式选择器件，与所述激光器组件相耦接，并被配置为接收来自所述激光器组件的激光，并对所述激光进行选模；光延时单元，与所述模式选择器件相耦接，并被配置为从所述模式选择器件接收经选模的光以进行能量存储；和探测器，与所述光延时单元相耦接，并被配置为接收来自光延时单元的储能光，并根据接收到的储能光生成微波信号，以及微波芯片，其中所述微波芯片是基于半导体材料基底上制作微波元件来形成的，所述微波元件包括：微波处理电路，配置为接收来自探测器的微波信号...

【技术特征摘要】
1.一种光电振荡器，包括：光学芯片，其中所述光学芯片是基于集成光学材料基底制作不同光电子器件实现的，所述光电子器件包括：激光器组件，所述激光器组件配置为发射激光；模式选择器件，与所述激光器组件相耦接，并被配置为接收来自所述激光器组件的激光，并对所述激光进行选模；光延时单元，与所述模式选择器件相耦接，并被配置为从所述模式选择器件接收经选模的光以进行能量存储；和探测器，与所述光延时单元相耦接，并被配置为接收来自光延时单元的储能光，并根据接收到的储能光生成微波信号，以及微波芯片，其中所述微波芯片是基于半导体材料基底上制作微波元件来形成的，所述微波元件包括：微波处理电路，配置为接收来自探测器的微波信号，并被配置为对所述微波信号进行信号处理；耦合器，与微波处理电路相耦接，并被配置为接收来自微波处理电路的经处理的微波信号，将所述经处理的微波信号的一部分提供给相移器，并输出所述经处理的微波信号的另一部分；以及相移器，与所述耦合器相耦接，并被配置为从耦合器接收所述经处理的微波信号的一部分，对接收到的所述部分进行相移，并将经相移的微波信号馈送回激光器组件，以调节激光器组件发射的激光。2.根据权利要求1所述的光电振荡器，其中所述光延时单元是波导螺旋线，所述波导螺旋线的长度长于2m。3.根据权利要求11所述的光电振荡器，其中所述波导螺旋线的长度为3m。4.根据权利要求1所述的光电振荡器，其中所述激光器组件实现为配有微波接口的激光器，所述微波接口被配置为从所述耦合器接收经相移的微波信号，并根据所述经相移的微波信号来调节所述激光器的输出。5...

【专利技术属性】
技术研发人员：李明，刘大鹏，石暖暖，郝腾飞，祝宁华，
申请(专利权)人：中国科学院半导体研究所，
类型：发明
国别省市：北京,11