本发明专利技术提供一种能够准确地判别在基板处理装置中基板是否被正常处理的数据处理方法。数据处理方法包括：期间设定步骤(S102)，对由基板处理装置(20)得到的时序数据(7)求取上升期间、稳定期间及下降期间；以及评价值计算步骤(S103)，求取上升期间的评价值、稳定期间的评价值及下降期间的评价值作为时序数据(7)的评价值。在期间设定步骤中，求取从控制信号变化起至时序数据(7)收敛至包括目标水平的第一范围内的期间作为上升期间，求取从控制信号变化起至时序数据(7)收敛至包括初始水平的第二范围内的期间作为下降期间，求取上升期间与下降期间之间的期间作为稳定期间。
Data Processing Method, Data Processing Device and Recording Media
【技术实现步骤摘要】
数据处理方法、数据处理装置及记录介质
本专利技术涉及数字数据处理，尤其涉及由基板处理装置测定的数据的处理方法、处理装置以及记录介质。
技术介绍
作为检测设备或装置的异常的方法，已知一种利用传感器等测定用于表示设备或装置的动作状态的物理量(例如，长度、角度、时间、速度、力、压力、电压、电流、温度、流量等)，并对将测定结果按时序顺序排列得到的时序数据进行分析的方法。在设备或装置在相同条件下进行相同动作的情况下，若不存在异常，则时序数据同样地变化。因此，能够将同样变化的多个时序数据相互比较来检测异常的时序数据，并且分析该异常的时序数据来确定异常的发生位置或原因。半导体基板(以下称为基板)的制造工序中，利用多个基板处理装置执行一系列处理。基板处理装置包括用于对基板进行一系列处理中的特定处理的多个处理单元。各处理单元根据预先设定的流程(称为规程)对基板进行处理。此时基于各处理单元的测定结果，得到时序数据。通过对得到的时序数据进行分析，能够确定发生异常的处理单元或异常的原因。关于本专利技术，日本特开2012-150721号公报中记载了一种异常诊断方法，包括：判定时序数据是否符合多个判定条件，并生成由判定结果的组合组成的判定数据的步骤；以及将考虑了在每个异常原因下发生的变动倾向的模型数据与判定数据进行比较并推测异常原因的步骤。
技术实现思路
然而，根据对由基板处理装置得到的时序数据进行分析的以往方法，有时不能准确地判别基板处理装置中基板是否被正常处理。例如，有时判断为被正常处理的基板实际上并未正常工作，或反之，判断为在处理中发生了异常的基板实际上正常工作。因此，本专利技术的目的在于，提供一种能够准确地判别基板处理装置中基板是否被正常处理的数据处理方法。本专利技术的第1实施例是一种数据处理方法，处理由基板处理装置得到的时序数据，其特征在于，所述数据处理方法包括：期间设定步骤，对所述时序数据求取从初始水平变为目标水平的上升期间、保持所述目标水平的稳定期间、以及从所述目标水平变为所述初始水平的下降期间，以及评价值计算步骤，求取所述时序数据的评价值；在所述评价值计算步骤中，求取所述上升期间的评价值、所述稳定期间的评价值、以及所述下降期间的评价值作为所述时序数据的评价值。本专利技术的第2实施例是根据本专利技术的第1实施例，其特征在于，所述时序数据根据所述基板处理装置的控制信号而变化，在所述期间设定步骤中，求取从所述控制信号变化起至所述时序数据收敛至包括所述目标水平的第一范围内的期间作为所述上升期间，求取从所述控制信号变化起至所述时序数据收敛至包括所述初始水平的第二范围内的期间作为所述下降期间，求取所述上升期间与所述下降期间之间的期间作为所述稳定期。本专利技术的第3实施例根据本专利技术的第2实施例，其特征在于，在所述评价值计算步骤中，求取所述上升期间的长度作为所述上升期间的评价值，求取所述下降期间的长度作为所述下降期间的评价值。本专利技术的第4实施例根据本专利技术的第2实施例，其特征在于，在所述评价值计算步骤中，求取所述时序数据的过冲量作为所述上升期间的评价值。本专利技术的第5实施例根据本专利技术的第2实施例，其特征在于，在所述评价值计算步骤中，求取所述稳定期间内的时序数据的统计值作为所述稳定期间的评价值。本专利技术的第6实施例根据本专利技术的第2实施例，其特征在于，在所述评价值计算步骤中，通过将所述时序数据与基准数据进行比较来求取所述时序数据的评价值。本专利技术的第7实施例根据本专利技术的第6实施例，其特征在于，在所述评价值计算步骤中，在所述时序数据与所述基准数据之间使数据最初开始变化的时机一致之后，将所述时序数据与所述基准数据进行比较。本专利技术的第8实施例根据本专利技术的第6实施例，其特征在于，所述基准数据是其他时序数据。本专利技术的第9实施例根据本专利技术的第6实施例，其特征在于，在所述评价值计算步骤中，进行多次使所述时序数据与所述基准数据中的一种数据沿时间轴方向移动规定量并将所述时序数据与所述基准数据进行比较的处理，并且求取所得到的多个评价值中的最小值作为所述时序数据的评价值。本专利技术的第10实施例根据本专利技术的第2实施例，其特征在于，在所述时序数据具有多个目标水平的情况下，在所述期间设定步骤中，对所述时序数据还求取从旧目标水平变为新目标水平的过渡期间，在所述评价值计算步骤中，还求取所述过渡期间的评价值作为所述时序数据的评价值。本专利技术的第11实施例是一种数据处理装置，处理由基板处理装置得到的时序数据，其特征在于，所述数据处理装置具有：期间设定部，对所述时序数据求取从初始水平变为目标水平的上升期间、保持所述目标水平的稳定期间、以及从所述目标水平变为所述初始水平的下降期间，以及评价值计算部，求取所述时序数据的评价值；所述评价值计算部求取所述上升期间的评价值、所述稳定期间的评价值、以及所述下降期间的评价值作为所述时序数据的评价值。本专利技术的第12实施例根据本专利技术的第11实施例，其特征在于，所述时序数据根据所述基板处理装置的控制信号而变化，所述期间设定部求取从所述控制信号变化起至所述时序数据收敛至包括所述目标水平的第一范围内的期间作为所述上升期间，求取从所述控制信号变化起至所述时序数据收敛至包括所述初始水平的第二范围内的期间作为所述下降期间，求取所述上升期间与所述下降期间之间的期间作为所述稳定期间。本专利技术的第13实施例根据本专利技术的第12实施例，其特征在于，所述评价值计算部求取所述上升期间的长度作为所述上升期间的评价值，求取所述下降期间的长度作为所述下降期间的评价值。本专利技术的第14实施例根据本专利技术的第12实施例，其特征在于，所述评价值计算部求取所述时序数据的过冲量作为所述上升期间的评价值。本专利技术的第15实施例根据本专利技术的第12实施例，其特征在于，所述评价值计算部求取所述稳定期间内的时序数据的统计值作为所述稳定期间的评价值。本专利技术的第16实施例根据本专利技术的第12实施例，其特征在于，所述评价值计算部通过将所述时序数据与基准数据进行比较来求取所述时序数据的评价值。本专利技术的第17实施例根据本专利技术的第16实施例，其特征在于，所述评价值计算部在所述时序数据与所述基准数据之间使数据最初开始变化的时机一致之后，将所述时序数据与所述基准数据进行比较。本专利技术的第18实施例根据本专利技术的第16实施例，其特征在于，所述评价值计算部进行多次使所述时序数据与所述基准数据中的一种数据沿时间轴方向移动规定量并将所述时序数据与所述基准数据进行比较的处理，并且求取所得到的多个评价值中的最小值作为所述时序数据的评价值。本专利技术的第19实施例根据本专利技术的第12实施例，其特征在于，在所述时序数据具有多个目标水平的情况下，所述期间设定部对所述时序数据还求取从旧目标水平变为新目标水平的过渡期间，所述评价值计算部还求取所述过渡期间的评价值作为所述时序数据的评价值。本专利技术的第20实施例是一种计算机可读取的记录介质，其上存储有用于处理由基板处理装置得到的时序数据的数据处理程序，其特征在于，所述数据处理程序使计算机的CPU利用存储器执行：期间设定步骤，对所述时序数据求取从初始水平变为目标水平的上升期间、保持所述目标水平的稳定期间、以及从所述目标水平变为所述初始水平的下降期间，以及评价值计算步骤，求取所述时序数据的评价值；在所述评价值计算步骤中，求取所述上升期本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种数据处理方法，处理由基板处理装置得到的时序数据，其特征在于，所述数据处理方法包括：期间设定步骤，对所述时序数据求取从初始水平变为目标水平的上升期间、保持所述目标水平的稳定期间、以及从所述目标水平变为所述初始水平的下降期间，以及评价值计算步骤，求取所述时序数据的评价值；在所述评价值计算步骤中，求取所述上升期间的评价值、所述稳定期间的评价值、以及所述下降期间的评价值作为所述时序数据的评价值。
【技术特征摘要】
2018.02.08 JP 2018-0207961.一种数据处理方法，处理由基板处理装置得到的时序数据，其特征在于，所述数据处理方法包括：期间设定步骤，对所述时序数据求取从初始水平变为目标水平的上升期间、保持所述目标水平的稳定期间、以及从所述目标水平变为所述初始水平的下降期间，以及评价值计算步骤，求取所述时序数据的评价值；在所述评价值计算步骤中，求取所述上升期间的评价值、所述稳定期间的评价值、以及所述下降期间的评价值作为所述时序数据的评价值。2.根据权利要求1所述的数据处理方法，其特征在于，所述时序数据根据所述基板处理装置的控制信号而变化，在所述期间设定步骤中，求取从所述控制信号变化起至所述时序数据收敛至包括所述目标水平的第一范围内的期间作为所述上升期间，求取从所述控制信号变化起至所述时序数据收敛至包括所述初始水平的第二范围内的期间作为所述下降期间，求取所述上升期间与所述下降期间之间的期间作为所述稳定期间。3.根据权利要求2所述的数据处理方法，其特征在于，在所述评价值计算步骤中，求取所述上升期间的长度作为所述上升期间的评价值，求取所述下降期间的长度作为所述下降期间的评价值。4.根据权利要求2所述的数据处理方法，其特征在于，在所述评价值计算步骤中，求取所述时序数据的过冲量作为所述上升期间的评价值。5.根据权利要求2所述的数据处理方法，其特征在于，在所述评价值计算步骤中，求取所述稳定期间内的时序数据的统计值作为所述稳定期间的评价值。6.根据权利要求2所述的数据处理方法，其特征在于，在所述评价值计算步骤中，通过将所述时序数据与基准数据进行比较来求取所述时序数据的评价值。7.根据权利要求6所述的数据处理方法，其特征在于，在所述评价值计算步骤中，在所述时序数据与所述基准数据之间使数据最初开始变化的时机一致之后，将所述时序数据与所述基准数据进行比较。8.根据权利要求6所述的数据处理方法，其特征在于，所述基准数据是其他时序数据。9.根据权利要求6所述的数据处理方法，其特征在于，在所述评价值计算步骤中，进行多次使所述时序数据与所述基准数据中的一种数据沿时间轴方向移动规定量并将所述时序数据与所述基准数据进行比较的处理，并且求取所得到的多个评价值中的最小值作为所述时序数据的评价值。10.根据权利要求2所述的数据处理方法，其特征在于，在所述时序数据具有多个目标水平的情况下，在所述期间设定步骤中，对所述时序数据还求取从旧目标水平变为新目标水平的过渡期间，在所述评价值计算步骤中，还求取所述过渡期间的评价值作为所述时序数据的评价值。11.一种数据处理装置，处理由基板处理装置得到的时序数据，其特征在于，所述数据处理装置具有：期间设定部，对所述时序数...
【专利技术属性】
技术研发人员：犹原英司，山本麻友美，
申请(专利权)人：株式会社斯库林集团，
类型：发明
国别省市：日本,JP
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