一种超材料反射膜及其制作方法技术

本发明专利技术公开了一种超材料反射膜及其制作方法。通过包括周期性分布的“圆对称结构和/或球对称结构”的共振单元的超材料层，使入射电磁波垂直入射到超材料时，能够对不同偏振态电磁波有一致的反射效果，从而解决了现有技术中反射膜偏振敏感的技术问题。

A Metamaterial Reflective Film and Its Fabrication Method

【技术实现步骤摘要】
一种超材料反射膜及其制作方法
本专利技术涉及光学
，尤其涉及一种超材料反射膜及其制作方法。
技术介绍
随着社会的发展以及人们生活水平的提高，光电子器件正逐渐向小型化、多功能、集成化的方向发展。目前，紫外反射镜在紫外光刻、天文观测、等离子体诊断等领域得到了广泛的应用。目前，传统的反射膜存在偏振敏感的问题，极大地制约了其的应用
技术实现思路
本专利技术通过提供一种超材料反射膜及其制作方法，解决了现有技术中反射膜偏振敏感的技术问题。本专利技术提供了一种超材料反射膜，包括：衬底及超材料层；所述超材料层包括多个共振单元，所述多个共振单元周期性分布在所述衬底上；每个所述共振单元均为圆对称结构和/或球对称结构。进一步地，相邻的所述共振单元在所述衬底上的间距是相等的。进一步地，所述每个共振单元的形状为圆环形和/或圆柱形。进一步地，所述超材料层的构成成分是等离子物质。进一步地，所述超材料层的构成成分是金属和/或具有等离子性质的半导体。进一步地，所述衬底的材料是本征半导体材料或介质材料。本专利技术还提供了一种超材料反射膜的制作方法，所述方法包括：在所述衬底上涂覆光刻胶；将预先设置的掩模板放置在所述光刻本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种超材料反射膜，其特征在于，包括：衬底及超材料层；所述超材料层包括多个共振单元，所述多个共振单元周期性分布在所述衬底上；每个所述共振单元均为圆对称结构和/或球对称结构。

【技术特征摘要】
1.一种超材料反射膜，其特征在于，包括：衬底及超材料层；所述超材料层包括多个共振单元，所述多个共振单元周期性分布在所述衬底上；每个所述共振单元均为圆对称结构和/或球对称结构。2.如权利要求1所述的超材料反射膜，其特征在于，相邻的所述共振单元在所述衬底上的间距是相等的。3.如权利要求1所述的超材料反射膜，其特征在于，所述每个共振单元的形状为圆环形和/或圆柱形。4.如权利要求1所述的超材料反射膜，其特征在于，所述超材料层的构成成分是等离子物质。5.如权利要求4所述的超材料反射膜，其特征在于，所述超材料层的构成成分是金属和/或具有等离子性质的半导体。6.如权利要求1-5中任一项所述的超材料反射膜，其特征在于，所述衬底的材料是本征半导体材料或介质材料。7.一种超材料反射膜的制作方法，其特征在于，所述方法包括：在所述衬底上涂覆...

【专利技术属性】
技术研发人员：闵力，谢雅芳，李广威，彭星，王燕，王湘迪，谢文婷，
申请(专利权)人：湖南理工学院，
类型：发明
国别省市：湖南,43