一种烘烤设备制造技术

本发明专利技术公开了一种烘烤设备，包括加热腔室、承载板以及除污器，其中所述承载板设置于所述加热腔室的底板上，且所述除污器可移动地设置于所述加热腔室内与所述底板相对的顶板上，所述除污器在所述顶板上进行移动以达到除去污渍的目的。本发明专利技术通过在烘烤设备的加热腔室内壁设置可移动地除污器，及时除去加热腔室内壁残留的溶剂，有效的防止了因溶剂的掉落而污染基板，保证了产品的品质。

A Kind of Baking Equipment

【技术实现步骤摘要】
一种烘烤设备
本专利技术涉及显示面板制程领域，尤其涉及一种烘烤设备。
技术介绍
目前在TFT-LCD制程中，光阻涂布后的预烘烤和显影后的后烘烤是黄光制程中非常重要的制程，该制程常用的烘烤炉有承载板式烘烤，其优点是均匀性高，在生产过程中，含有光阻的玻璃基板在烘烤炉窗口打开后，先进入加热腔室烘烤，结束后，玻璃基板离开加热腔室，窗口关闭；最后玻璃基板进入冷却单元进行冷却，但是，每次基板进出加热腔室时，光阻溶剂挥发会与腔壁接触，积累到一定程度后，上腔壁上的污染物会掉落到承载板或者玻璃上，污染基板，影响产品品质。
技术实现思路
本专利技术提供一种烘烤设备，通过在加热腔室内壁设置可移动地除污器，能有效除去加热腔室内壁上残留的溶剂，从而解决因溶剂掉落至承载板或玻璃上而污染基板，进而影响产品品质的技术问题。为解决上述问题，本专利技术提供的技术方案如下：本专利技术提供一种烘烤设备，包括：加热腔室，所述加热腔室具有相对设置的底板以及顶板；承载板，设置于所述加热腔室内并位于所述底板上；除污器，设置于所述加热腔室内，且所述除污器可移动地设置于所述顶板上。根据本专利技术一优选实施例，所述加热腔室还具有与所述底板以及所述顶板相连接的侧壁，且所述侧壁上设置有进出口以及与所述进出口相匹配的门体。根据本专利技术一优选实施例，所述除污器平行于所述侧壁设置，且所述除污器的移动方向与所述侧壁垂直。根据本专利技术一优选实施例，所述除污器垂直于所述侧壁设置，且所述除污器的移动方向与所述侧壁平行。根据本专利技术一优选实施例，所述除污器的长度等于所述顶板与所述除污器相平行一边的边长。根据本专利技术一优选实施例，所述除污器包括壳体以及除污件，其中：所述壳体可移动地设置于所述顶板上；所述除污件可拆卸地设置于所述壳体上，且所述除污件与所述顶板相接触。根据本专利技术一优选实施例，所述壳体上设置有凹槽，且所述除污件设置于所述凹槽内并与所述顶板相接触。根据本专利技术一优选实施例，所述壳体的材质包括但不限于不锈钢或铝合金。根据本专利技术一优选实施例，所述除污件的材质包括但不限于海绵。根据本专利技术一优选实施例，所述承载板为云母加热板，以向所述加热腔室提供热能。本专利技术的有益效果为：本专利技术通过在烘烤设备的加热腔室内壁设置可移动地除污器，及时除去加热腔室内壁残留的溶剂，有效的防止了因溶剂的掉落而污染基板，保证了产品的品质。附图说明为了更清楚地说明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本专利技术实施例提供的烘烤设备的结构示意图。图2为本专利技术实施例提供的烘烤设备中除污器的结构示意图。图3为本专利技术实施例提供的烘烤设备中除污器的一种移动示意图。图4为本专利技术实施例提供的烘烤设备中除污器的又一种移动示意图。具体实施方式以下各实施例的说明是参考附加的图示，用以例示本专利技术可用以实施的特定实施例。本专利技术所提到的方向用语，例如[上]、[下]、[前]、[后]、[左]、[右]、[内]、[外]、[侧面]等，仅是参考附加图式的方向。因此，使用的方向用语是用以说明及理解本专利技术，而非用以限制本专利技术。在图中，结构相似的单元是用以相同标号表示。本专利技术针对现有的烘烤炉，因加热腔室内壁上残留的溶剂掉落至承载板或者玻璃上，而导致基板受污染的技术问题，本实施例能够解决该问题。本专利技术提供一种烘烤设备，以解决上述问题。如图1所示，本实施例提供一种烘烤设备，所述烘烤设备包括加热腔室102、底板107、顶板108、承载板103以及除污器101。其中所述加热腔室102具有底板107以及顶板108，且所述底板107与所述顶板108为相对设置。另外，所述承载板103设置于所述加热腔室102内，且所述承载板103设置于所述底板107上。所述除污器101设置于所述加热腔室102内，且所述除污器可移动地设置于所述顶板108上。实施应用时，所述烘烤设备在烘烤过程中会产生油烟或者溶剂烟气，凝结在所述加热腔室102的所述顶板108上，当这些溶剂滴落在所述承载板103上或者所述承载板103上的承载物上时，将会污染产品，影响良率，而本实施例中所提供的除污器101可以及时的在所述顶板108上进行刮扫动作，以将溶剂清理掉，以保证所述承载板103以及所述承载物不被污染。进一步地，在本实施例中，所述加热腔室102还具有侧壁109，且所述侧壁109为同时连接于所述底板107以及所述顶板108设置的，所述侧壁109上设置有进出口以及与所述进出口相匹配的门体111。且所述进出口用于取放所述承载物。优选的，所述门体111与所述加热腔室102的连接边可以与所述底板107以及所述顶板108平行。优选的，所述门体111与所述加热腔室102的连接边可以与所述底板107以及所述顶板108垂直。在本实施例中，如图3所示，所述除污器101可以平行于所述侧壁109设置，则所述除污器101可沿垂直于所述进出口所在平面的方向进行移动，即所述除污器101的移动方向与所述侧壁109相垂直。即所述除污器101可以设置于所述顶板108靠近所述侧壁109一侧，当需要进行除污时，所述除污器101可从所述顶板108靠近所述侧壁109一侧沿图中箭头方向刮扫至另一侧，最后回至靠近所述侧壁109一侧，对所述顶板108进行除污，防止所述顶板108上的溶剂滴落至所述承载板103上或者所述承载板103上的承载物上，保证了产品的良率。另外，在本实施例中，所述除污器101也可以设置于所述顶板108远离所述侧壁109的一侧，需要注意的是，当所述除污器101设置于所述顶板108靠近所述侧壁109一侧时，便于对所述除污器101进行维修或保养。在另一优选实施例中，如图4所示，所述除污器101可以垂直于所述侧壁109设置，且所述除污器101可沿平行于所述进出口所在平面的方向进行移动，即所述除污器101的移动方向与所述侧壁平行。即所述除污器101可以设置于所述顶板108的右侧，当需要进行除污时，所述除污器101可从所述顶板108的右侧沿图中箭头的方向刮扫至所述顶板108的左侧，最后回至所述顶板108的右侧，对所述顶板108进行除污，防止所述顶板108上的溶剂滴落至所述承载板103上或者所述承载板103上的承载物上，保证了产品的良率。需要注意的是，所述除污器101也可以设置于所述顶板108的左侧，在此不做限定。在本实施例中，所述除污器101的长度等于所述顶板108与所述除污器101相平行一边的边长，则所述除污器101的刮扫面积可以达到最大，同时清洁效率高。另外，所述除污器的101长度也可以小于所述顶板108与所述除污器101相平行一边的边长，在此不做限定。在本实施例中，如图1和图2所示，所述除污器101包括壳体106以及除污件105。其中，所述壳体106可移动地设置于所述顶板108上，所述除污件105可拆卸地设置于所述壳体106上，且所述除污件106与所述顶板108相接触。优选的，所述除污件105为可拆卸设置，以便于定期更换新的除污件，保证所述除污件105的除污效果。且在本实施例中，所述壳体106上设置有一个凹槽104，所述除污件105设置于所述凹槽104内，所述除污件本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种烘烤设备，其特征在于，包括：加热腔室，所述加热腔室具有相对设置的底板以及顶板；承载板，设置于所述加热腔室内并位于所述底板上；除污器，设置于所述加热腔室内，且所述除污器可移动地设置于所述顶板上。

【技术特征摘要】
1.一种烘烤设备，其特征在于，包括：加热腔室，所述加热腔室具有相对设置的底板以及顶板；承载板，设置于所述加热腔室内并位于所述底板上；除污器，设置于所述加热腔室内，且所述除污器可移动地设置于所述顶板上。2.根据权利要求1所述的烘烤设备，其特征在于，所述加热腔室还具有与所述底板以及所述顶板相连接的侧壁，且所述侧壁上设置有进出口以及与所述进出口相匹配的门体。3.根据权利要求2所述的烘烤设备，其特征在于，所述除污器平行于所述侧壁设置，且所述除污器的移动方向与所述侧壁垂直。4.根据权利要求2所述的烘烤设备，其特征在于，所述除污器垂直于所述侧壁设置，且所述除污器的移动方向与所述侧壁平行。5.根据权利要求1所述的烘烤设备，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：涂乐志，
申请(专利权)人：深圳市华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44