【技术实现步骤摘要】
一种刻蚀废液混酸的处理方法
本专利技术涉及混酸回收处理，特别是一种刻蚀废液混酸处理方法。
技术介绍
玻璃刻蚀废液、硅片刻蚀废液包括氢氟酸、硝酸、硫酸、氟硅酸的水溶液，刻蚀过程会产生大量的刻蚀废液，其呈酸性。目前对于刻蚀废液，主要利用碱如氢氧化钙或者碳酸钙等进行中和处理，但是这种方法不仅浪费废液中的酸资源，而且会产生大量的废水，进一步造成环境负担。
技术实现思路
本专利技术的目的在于克服现有技术的缺点，提供一种刻蚀废液混酸处理方法，可以以金属盐的形势回收废液中有价值的氢氟酸、硝酸、硫酸以及氟硅酸。本专利技术的目的通过以下技术方案来实现：一种刻蚀废液混酸处理方法，刻蚀废液混酸包含：氟离子、硫酸根离子、氟硅酸根离子以及硝酸根离子，方法包括第一方案以及第二方案，第一方案包括：将刻蚀废液混酸与石灰反应使氟离子、硫酸根离子以及氟硅酸根离子制得钙盐，硝酸根离子与钠盐反应制得硝酸钠并结晶脱除；第二方案包括：将刻蚀废液混酸与石灰反应使氟离子、硫酸根离子、氟硅酸根离子以及硝酸根离子均制得钙盐。进一步地，第一方案包括：S1、将刻蚀废液混酸与石灰反应制得CaF2、CaSiF6以及CaSO4三...
【技术保护点】
1.一种刻蚀废液混酸处理方法，所述刻蚀废液混酸包含：氟离子、硫酸根离子、氟硅酸根离子以及硝酸根离子，其特征在于，所述方法包括第一方案以及第二方案，所述第一方案包括：将所述刻蚀废液混酸与石灰反应使氟离子、硫酸根离子以及氟硅酸根离子制得钙盐，硝酸根离子与钠盐反应制得硝酸钠并结晶脱除；所述第二方案包括：将所述刻蚀废液混酸与石灰反应使氟离子、硫酸根离子、氟硅酸根离子以及硝酸根离子均制得钙盐。
【技术特征摘要】
1.一种刻蚀废液混酸处理方法，所述刻蚀废液混酸包含：氟离子、硫酸根离子、氟硅酸根离子以及硝酸根离子，其特征在于，所述方法包括第一方案以及第二方案，所述第一方案包括：将所述刻蚀废液混酸与石灰反应使氟离子、硫酸根离子以及氟硅酸根离子制得钙盐，硝酸根离子与钠盐反应制得硝酸钠并结晶脱除；所述第二方案包括：将所述刻蚀废液混酸与石灰反应使氟离子、硫酸根离子、氟硅酸根离子以及硝酸根离子均制得钙盐。2.根据权利要求1所述的一种刻蚀废液混酸处理方法，其特征在于，所述第一方案包括：S1、将所述刻蚀废液混酸与石灰反应制得CaF2、CaSiF6以及CaSO4三个沉淀物，还有第一废液，将所述第一废液的pH控制为7-10；S2、将化学试剂A与所述第一废液反应制得第二废液，进行固液分离得到第一沉淀和第一滤液，所述化学试剂A的加入量为上一步石灰重量的50%；S3、将所述第一滤液与化学试剂B反应然后进行固液分离得到第二沉淀和第二滤液，所述化学试剂B的加入量为上一步化学试剂A重量的50%-100%；S4、使用硝酸调节所述第二滤液的pH值至6-8，然后进行蒸发结晶得到含水率25%的硝酸钠固体，最终干燥制得含水率低于5%硝酸钠。3.根据权...
【专利技术属性】
技术研发人员：蒲江，
申请(专利权)人：四川高绿平环境科技有限公司，
类型：发明
国别省市：四川,51
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