参数管理装置制造方法及图纸

一种参数管理装置，其管理包含成为产业用装置的控制基础的多个参数的参数群。参数管理装置包含：登记单元，其登记上述参数群；参数编辑单元，其变更上述参数的值；变更履历存储单元，其存储上述参数的变更履历信息；取得单元，其取得存储于上述变更履历存储单元的上述参数的变更履历信息；显示单元，其显示通过上述取得单元取得的多个上述参数的变更履历信息；选择输入单元，其被操作者操作而用于针对通过上述显示单元显示了变更履历信息的各个参数选择是否反映变更；确定输入单元，其被操作者操作而用于确定上述操作者经由上述选择输入单元选择的值；以及更新登记单元，其将包含通过上述确定输入单元进行了确定操作的值的参数群登记于上述登记单元。

Parameter management device

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】参数管理装置
本专利技术涉及管理产业用装置的控制基础的参数(parameter)群的参数管理装置、以及用于使计算机作为参数管理装置来作动的计算机程序(computerprogram)。
技术介绍
产业用装置的一例是用于制造半导体组件(semiconductordevice)的半导体制造装置。半导体制造装置构成为能够可变设定用于规定各种处理条件的多个参数的值。通过半导体制造装置的使用者、维护作业员等设定各个参数的值。半导体制造装置所备置的计算机按照所设定的参数来控制装置的各部，由此执行必要的处理。专利文献1公开了一种容易再利用产业用装置的装置参数的参数管理装置。操作者能够对输入装置进行操作来变更装置参数群。当开始变更装置参数群时，当前的装置参数群退避至存储部的退避区域。当检测出装置参数群的变更完成时，已退避至退避区域的装置参数群被追加至参数履历中，且参数履历被更新。在未检测出装置参数群的变更完成时，已退避至退避区域的装置参数群回写至原来的区域作为当前的装置参数。此外，专利文献1的参数管理装置具备当前的装置参数群与过去的装置参数群的比较功能。即，比较当前的装置参数群与从参数履历中取得的过去的装置参数群，将比较结果输出至显示器(display)。此时，参数值不同的部分被强调显示，由此，操作者可以轻易地辨识装置参数群的异同的详细内容。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2008-77175号公报
技术实现思路
专利技术要解决的课题在为了获得最佳的处理条件而调整装置的阶段，需要变更多个参数的值并进行试行错误的作业。这样的作业在导入新的装置、变更装置的构成、变更处理内容、装置的维护时等被执行。操作者有装置的使用者的情况，此外也有从装置的制造厂商派遣来的维护操作者的情况。试行性地变更的多个参数的值根据状况而处理方法有所不同。即，有批量适用为较佳的情况、仅适用一部分为较佳的情况、无论是哪一个值都不适用而是回复到从前的值为较佳的情况。但是，在专利文献1的装置中，并未提供可以柔软地对应这样的各种状况而轻易地选择参数的适用/不适用的接口(interface)，且不一定成为使用方便性佳的构成。于是，本专利技术的一目的是提供一种具备可以根据状况而轻易地执行参数值变更的适用/不适用的操作的接口的参数管理装置。此外，本专利技术的另一目的是提供一种可以使计算机作为具备可以根据状况而轻易地执行参数值变更的适用/不适用的操作的接口的参数管理装置的计算机程序。用于解决课题的手段本专利技术提供一种管理包含成为产业用装置的控制基础的多个参数的参数群的参数管理装置。该参数管理装置包括：登记单元，其登记上述参数群；参数编辑单元，其变更上述参数的值；变更履历存储单元，其存储上述参数的变更履历信息；取得单元，其取得存储于上述变更履历存储单元的上述参数的变更履历信息；显示单元，其显示通过上述取得单元取得的多个上述参数的变更履历信息；选择输入单元，其被操作者操作而用于针对通过上述显示单元显示了变更履历信息的各个参数选择是否反映变更；确定输入单元，其被操作者操作而用于确定上述操作者经由上述选择输入单元选择的值；以及更新登记单元，其将包含通过上述确定输入单元进行了确定操作的值的参数群登记于上述登记单元。根据该结构，通过显示单元显示多个参数的变更履历信息。针对该显示的多个参数的每一个，操作者可以选择是否反映变更，且可以确定该选出的值(变更前的值或变更后的值)。该确定的值被登记于登记单元。从而，操作者可以根据状况而选择应反映变更的参数，并予以确定。由此，可以提供能够根据状况而轻易地执行参数值变更的适用/不适用的接口。在本专利技术的一实施方式中，上述显示单元将通过取得单元取得的多个上述参数的变更履历信息显示于一张画面(也可以包含滚动显示的部分)，上述选择输入单元被操作者操作而用于针对通过上述显示单元显示了变更履历信息的各个参数在一张画面内选择是否反映变更。根据该结构，将多个参数的变更履历信息通过显示单元显示于一张画面。针对显示于该一张画面的多个参数的各个参数，操作者可以在该一张画面内选择是否反映变更，且可以确定该选出的值(变更前的值或变更后的值)。将该确定的值登记于登记单元。因此，操作者能够根据状况在一张画面上选择应反映变更的参数，并予以确认。由此，能够提供根据状况容易地执行参数值变更的适用/不适用的接口。在本专利技术的一实施方式中，上述选择输入单元包括：个别选择单元，其用于操作者针对各参数选择最后输入的最新值和登记于上述登记单元的值即已登记值中的某一个。根据该结构，能够针对各个参数个别地选择最新值以及已登记值中的某个，因此可以针对各个参数个别地指定变更的适用/不适用。优选，在上述一张画面上提供上述个别选择单元。在本专利技术的一实施方式中，上述选择输入单元包括：最新值批量选择单元，其用于操作者针对通过上述显示单元显示了变更履历的全部参数批量选择最后输入的最新值。根据该结构，在显示的多个参数的变更履历信息中，可以批量选择最新值。由此，最新值的选择操作变得容易。例如，在针对多个参数选择最新值的情况下，只要在批量选择最新值之后，根据需要而针对某个参数个别地选择已登记值，就可以针对各个参数迅速地选择应适用的值。优选，在上述一张画面上提供上述最新值批量选择单元。在本专利技术的一实施方式中，上述选择输入单元包括：已登记值批量选择单元，其用于操作者针对通过上述显示单元显示了变更履历的全部参数批量选择已登记于上述登记单元的值即已登记值。根据该结构，在显示的多个参数的变更履历信息中，可以批量选择已登记值。由此，已登记值的选择操作变得容易。例如，在针对多个参数选择已登记值的情况下，只要在批量选择已登记值之后，根据需要针对几个参数个别地选择最新值，就可以针对各个参数迅速地选择应适用的值。优选，在上述一张画面上提供上述已登记值批量选择单元。在本专利技术的一实施方式中，上述变更履历信息包括值被变更的参数的参数识别信息，上述参数管理装置还包括：检索单元，其通过上述参数识别信息来排序(sort)或抽出由上述显示单元显示的变更履历信息。根据该结构，可以利用参数识别信息(例如参数名)来排序或抽出有关显示的多个参数的变更履历信息。由此，即便是在显示的参数的数目较多时，仍可以迅速地找出目标参数的变更履历信息。在本专利技术的一实施方式中，上述变更履历信息包括识别与值被变更的参数相关的上述产业用装置的资源的资源识别信息，上述参数管理装置还包括：检索单元，其通过上述资源识别信息来排序或抽出由上述显示单元显示的变更履历信息。根据该结构，可以利用资源识别信息(例如资源名)来排序或抽出有关显示的多个参数的变更履历信息。由此，即便是在显示的参数的数目较多时，仍可以迅速地找出目标参数的变更履历信息。在本专利技术的一实施方式中，上述变更履历信息包括表示各参数的值被变更的时刻的时刻信息，上述参数管理装置还包括：检索单元，其通过上述时刻信息来排序或抽出由上述显示单元显示的变更履历信息。根据该结构，可以利用参数的值被变更的时刻信息来排序或抽出有关显示的多个参数的变更履历信息。由此，即便是在显示的参数的数目较多时，仍可以迅速地找出目标参数的变更履历信息。在本专利技术的一实施方式中，上述参数管理装置还包括：评论输入单元，其用于操作者输入与上述变更履历信息相关联的评论本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种参数管理装置，其管理包含成为产业用装置的控制基础的多个参数的参数群，其特征在于，该参数管理装置包括：登记单元，其登记上述参数群；参数编辑单元，其变更上述参数的值；变更履历存储单元，其存储上述参数的变更履历信息；取得单元，其取得存储于上述变更履历存储单元的上述参数的变更履历信息；显示单元，其显示通过上述取得单元取得的多个上述参数的变更履历信息；选择输入单元，其被操作者操作而用于针对通过上述显示单元显示了变更履历信息的各个参数选择是否反映变更；确定输入单元，其被操作者操作而用于确定上述操作者经由上述选择输入单元选择的值；以及更新登记单元，其将包含通过上述确定输入单元进行了确定操作的值的参数群登记于上述登记单元。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2017.01.31 JP 2017-0159221.一种参数管理装置，其管理包含成为产业用装置的控制基础的多个参数的参数群，其特征在于，该参数管理装置包括：登记单元，其登记上述参数群；参数编辑单元，其变更上述参数的值；变更履历存储单元，其存储上述参数的变更履历信息；取得单元，其取得存储于上述变更履历存储单元的上述参数的变更履历信息；显示单元，其显示通过上述取得单元取得的多个上述参数的变更履历信息；选择输入单元，其被操作者操作而用于针对通过上述显示单元显示了变更履历信息的各个参数选择是否反映变更；确定输入单元，其被操作者操作而用于确定上述操作者经由上述选择输入单元选择的值；以及更新登记单元，其将包含通过上述确定输入单元进行了确定操作的值的参数群登记于上述登记单元。2.根据权利要求1所述的参数管理装置，其特征在于，上述显示单元将通过取得单元取得的多个上述参数的变更履历信息显示于一张画面，上述选择输入单元被操作者操作而用于针对通过上述显示单元显示了变更履历信息的各个参数在一张画面内选择是否反映变更。3.根据权利要求1或2所述的参数管理装置，其特征在于，上述选择输入单元包括：个别选择单元，其用于操作者针对各参数选择最后输入的最新值和登记于上述登记单元的值即已登记值中的某一个。4.根据权利要求1至3中任一项所述的参数管理装置，其特征在于，上述选择输入单元包括：最新值批量选择单元，其用于操作者针对通过上述显示单元显示了变更履历的全部参数批量选择最后输入的最新值。5.根据权利要求1至4中任一项所述的参数管理装置，其特征在于，上述选择输入单元包括：已登记值批量选择单元，其用于操作者针对通过上述显示单元显示了变更履历的全部参数批量选择已登记于上述登记单元的值即已登记值。6.根据权利要求1至5中任一项所述的参数管理装置，其特征在于，上述变更履历信息包括值被变更的参数的参数识别信息，上述参数管理装置还包括：检索单元，其通过上述参数识别信息来排序或抽出由上述显示单元显示的变更履历信息。7.根据权利要求1至6中任一项所述的参数管理装置，其特征在于，上述变更履历信息包括识别与值被变更的参数相关的上述产业用装置的资源的资源识别信息，上述参数管理装置还包括：检索单元，其通过上述资源识别信息来排序或抽出由上述显示单元显示的变更履历信息。8.根据权利要求1至7中任一项所述的参数管理装置，其特征在于，上述变更履历信息包括表示各参数的值被变更的时刻的时刻信息，上述参数管理装置还包括：检索单元，其通过上述时刻信息来排序或抽出由上述显示单元显示的变更履历信息。9.根据权利要求1至8中任一项所述的参数管理装置，其特征在于，上述参数管理装置还包括：评论输入单元，其用于操作者输入与上述变更履...

【专利技术属性】
技术研发人员：北岸大一，酒井康将，
申请(专利权)人：株式会社斯库林集团，
类型：发明
国别省市：日本,JP