【技术实现步骤摘要】
一种激光超声振动检测装置
本技术涉及检测设备
,特别涉及一种激光超声振动检测装置。
技术介绍
现有的样品检测设备中,不少方案采用了激光基于干涉原理检测物品缺陷,但是这仅能对相对明显缺陷才有良好检测效果,而对于表面微痕、内部微痕、杂质或气隙缺陷将无法检测。在其他的一些解决方案中,虽然也有激光超声检测方法,但是仅能检测缺陷效应高频部分,对于缺陷低频部分造成丢失,从而导致部分检测结果不准确。
技术实现思路
为此,需要提供一种激光超声振动检测装置,以解决现有技术中激光设备无法检测表面微痕、内部微痕、杂质或气隙缺陷,激光超声检测对缺陷低频部分造成丢失,从而导致部分检测结果不准确的问题。为实现上述目的,专利技术人提供了一种激光超声振动检测装置,包括光电检测器、微信号调节器、超声传感器、振动传感器、数据采集卡和处理器;所述光电检测器包括第一半透射镜、激光脉冲、第二半透射镜、第一反射镜、第二反射镜、检偏器、凸透镜和光电探测器,第一半透射镜设置于激光脉冲与样品之间的光路上,第一半透射镜的透射光指向样品方向,第一半透射镜的反射光通过第一反射镜指向第二半透射镜,样品的反射光经第二反射镜指 ...
【技术保护点】
1.一种激光超声振动检测装置,其特征在于,包括光电检测器、微信号调节器、超声传感器、振动传感器、数据采集卡和处理器;所述光电检测器包括第一半透射镜、激光脉冲、第二半透射镜、第一反射镜、第二反射镜、检偏器、凸透镜和光电探测器,第一半透射镜设置于激光脉冲与样品之间的光路上,第一半透射镜的透射光指向样品方向,第一半透射镜的反射光通过第一反射镜指向第二半透射镜,样品的反射光经第二反射镜指向第二半透射镜,第一半透射镜的反射光和样品的反射光经第二半透射镜依次通过检偏器、凸透镜和光电探测器,光电探测器用于接收样品放射的激光并向数据采集卡发送信号;所述超声传感器通过微信号调节器与数据采集卡 ...
【技术特征摘要】
1.一种激光超声振动检测装置,其特征在于,包括光电检测器、微信号调节器、超声传感器、振动传感器、数据采集卡和处理器;所述光电检测器包括第一半透射镜、激光脉冲、第二半透射镜、第一反射镜、第二反射镜、检偏器、凸透镜和光电探测器,第一半透射镜设置于激光脉冲与样品之间的光路上,第一半透射镜的透射光指向样品方向,第一半透射镜的反射光通过第一反射镜指向第二半透射镜,样品的反射光经第二反射镜指向第二半透射镜,第一半透射镜的反射光和样品的反射光经第二半透射镜依次通过检偏器、凸透镜和光电探测器,光电探测器用于接收样品放射的激光并向数据采集卡发送信号;所述超声传感器通过微信号调节器与数据采集卡电连接,用于接收并发送样品的超...
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