一种用于液体颗粒测试的适配装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种用于液体颗粒测试的适配装置，包括底座、底盘、底板和固定罩，所述底座的中心设置有伸缩杆，且伸缩杆的上支撑有底盘，所述底盘内上设置有底板，且底板的上端面固定有转台，所述转台的中心设置有圆杆，所述固定罩上套置有圆杆，所述六组第二凹槽上分别放置有第一液体容器、第二液体容器、第三液体容器、第四液体容器、第五液体容器和第六液体容器，且第一液体容器侧面上设置有导管。该用于液体颗粒测试的适配装置，整体结构设置更加合理，设置方便进行转动的转台，便于不断更换不同液体容器进行测试，避免不必要复杂过程，减轻工作人员的负担，节省测试工作时间，提高工作效率，加速测试。

An Adaptation Device for Liquid Particle Testing

【技术实现步骤摘要】
一种用于液体颗粒测试的适配装置
本技术涉及液体颗粒测试设备
，具体为一种用于液体颗粒测试的适配装置。
技术介绍
在半导体器件的生产过程中，颗粒对产品良率影响重大，其中，化学品中的颗粒由于直接参与器件的制造，对产品的影响更是重中之重，然而，半导体行业所使用的化学品大多数属于强酸液体或强碱液体，具有高粘度和高挥发性等特点，这使得对这些化学品中颗粒的测量变得特别困难，针对化学品中颗粒的监测，现有的测试方法主要包括两种：第一种是对不同的化学品进行现场取样，然后将样品带到液体颗粒计数器处进行测量；第二种是将液体颗粒计数器完全接入待测试化学品系统，实现在线监测，但不论是哪种方法，都需要液体容器进行一一装入，并带入实验室进行逐一测试，中间的液体现场取样之后，还需要一个一个液体溶器拿过去进行液体颗粒计数器测量，非常浪费时间，还很繁琐，容易混乱。为了解决以上所提出的液体颗粒测试设备所存在的缺陷和不足，急需改善液体颗粒测试设备的技术，设置方便将不同液体一次进行测试，避免不必要的工作程序，减轻工作人员的负担，节省工作时间，提高测试工作效率，从而提供一种用于液体颗粒测试的适配装置。
技术实现思路
本技术解决的技术问题在于克服现有技术的液体颗粒测试设备无论是现场取样进行测试还是将液体颗粒计数器完全接入待测试化学品系统，实现在线监测，都需要液体容器进行一一装入，并带入实验室进行逐一测试，中间的液体现场取样之后，还需要一个一个液体溶器拿过去进行液体颗粒计数器测量，非常浪费时间，还很繁琐，造成容易混乱缺陷，提供一种用于液体颗粒测试的适配装置。所述一种用于液体颗粒测试的适配装置具有方便将不同液体一次进行测试，避免不必要的工作程序，减轻工作人员的负担，节省工作时间，提高测试工作效率等特点。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种用于液体颗粒测试的适配装置，包括底座、底盘、底板和固定罩，所述底座的中心设置有伸缩杆，且伸缩杆的上支撑有底盘，所述底盘内上设置有底板，且底板的上端面固定有转台，所述转台的中心设置有圆杆，且转台的环边上设置有防护罩，所述固定罩上套置有圆杆，且圆杆的外圈环设有六组第二凹槽，所述六组第二凹槽上分别放置有第一液体容器、第二液体容器、第三液体容器、第四液体容器、第五液体容器和第六液体容器，且第一液体容器侧面上设置有导管，所述第一液体容器的上端开设有容器口，且容器口上套置有外罩。优选的，所述底座采用梯形台框架结构，且底座中心的伸缩杆在Z轴上为可伸缩结构，在伸缩杆未进行伸缩时，主要通过底座进行支撑转台，在需要进行高度调整时，利用伸缩杆方便进行调整转台的高度。优选的，所述底盘内开设有第一凹槽，且底板的下端面环设有一圈滚珠，同时滚珠与第一凹槽正好相接触，通过转动滚珠从而达到转动转台的目的，便于转动转台上液体容器的位置，方便不同液体同时进行检测，加快检测速度，提高效率。优选的，所述底板通过滚珠构成可转动结构，且底板的转动角度任意，方向任意转动，更加方便工人人员的工作进行。优选的，所述转台采用圆形平台结构，且转台和防护罩均采用硼硅玻璃材质，以硼硅玻璃材质的容器作为液体容器，具有化学稳定性好、热稳定性高、电绝缘性好。优选的，所述第一液体容器选用硼硅玻璃材质的锥形瓶，且第一液体容器上端的容器口上套置的外罩选用橡胶材质，同时第一液体容器内所连接的导管选用聚四氟乙烯材质的管子，选用耐腐蚀、化学性能稳定的材质，有助于测试稳定进行，避免由于测试器具不合格而影响到测试结果，保障测试的质量。优选的，所述第二液体容器、第三液体容器、第四液体容器、第五液体容器和第六液体容器的大小、材质和结构均与第一液体容器设置一致，且第一液体容器、第二液体容器、第三液体容器、第四液体容器、第五液体容器和第六液体容器等角度环设在转台的上端面，同时六者关于中心的固定罩成中心对称结构，等角度设置，方便在转动的时候进行变换位置，便于不同液体同时进行测试，避免不必要的操作程序，节省测试准备时间，提高测试工作效率。与现有技术相比，本技术的有益效果是：该用于液体颗粒测试的适配装置，整体结构设置更加合理，设置方便进行转动的转台，便于不断更换不同液体容器进行测试，避免不必要复杂过程，减轻工作人员的负担，节省测试工作时间，提高工作效率，加速测试。附图说明图1为本技术结构的正视示意图；图2为本技术结构的正视展开示意图；图3为本技术结构的第一凹槽与滚珠之间关系示意图；图4为本技术结构的俯视示意图；图5为本技术结构的转台俯视示意图。图中标号：1、底座，2、伸缩杆，3、底盘，30、第一凹槽，4、底板，40、滚珠，5、转台，6、防护罩，7、第一液体容器，8、导管，9、容器口，10、外罩，11、固定罩，12、圆杆，13、第二凹槽，14、第二液体容器，15、第三液体容器，16、第四液体容器，17、第五液体容器，18、第六液体容器。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1-5，本技术提供一种技术方案：一种用于液体颗粒测试的适配装置，包括底座1、伸缩杆2、底盘3、第一凹槽30、底板4、滚珠40、转台5、防护罩6、第一液体容器7、导管8、容器口9、外罩10、固定罩11、圆杆12、第二凹槽13、第二液体容器14、第三液体容器15、第四液体容器16、第五液体容器17和第六液体容器18，底座1的中心设置有伸缩杆2，且伸缩杆2的上支撑有底盘3，底盘3内上设置有底板4，且底板4的上端面固定有转台5，转台5的中心设置有圆杆12，且转台5的环边上设置有防护罩6，固定罩11上套置有圆杆12，且圆杆12的外圈环设有六组第二凹槽13，六组第二凹槽13上分别放置有第一液体容器7、第二液体容器14、第三液体容器15、第四液体容器16、第五液体容器17和第六液体容器18，且第一液体容器7侧面上设置有导管8，第一液体容器7的上端开设有容器口9，且容器口9上套置有外罩10。如图1—2，底座1采用梯形台框架结构，且底座1中心的伸缩杆2在Z轴上为可伸缩结构，在伸缩杆未进行伸缩时，主要通过底座进行支撑转台，在需要进行高度调整时，利用伸缩杆方便进行调整转台的高度。如图3，底盘3内开设有第一凹槽30，且底板4的下端面环设有一圈滚珠40，同时滚珠40与第一凹槽30正好相接触，底板的下端正好位于第一凹槽内，底板下端面一圈的滚珠正好滚动在第一凹槽，通过转动滚珠从而达到转动转台的目的，便于转动转台上液体容器的位置，方便不同液体同时进行检测，加快检测速度，提高效率，底板4通过滚珠40构成可转动结构，且底板4的转动角度任意，方向任意转动，更加方便工人人员的工作进行。如图4，转台5采用圆形平台结构，且转台5和防护罩6均采用硼硅玻璃材质，以硼硅玻璃材质的容器作为液体容器，具有化学稳定性好、热稳定性高、电绝缘性好，第一液体容器7选用硼硅玻璃材质的锥形瓶，且第一液体容器7上端的容器口9上套置的外罩10选用橡胶材质，同时第一液体容器7内所连接的导管8本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于液体颗粒测试的适配装置，包括底座(1)、底盘(3)、底板(4)和固定罩(11),其特征在于：所述底座(1)的中心设置有伸缩杆(2)，且伸缩杆(2)的上支撑有底盘(3)，所述底盘(3)内上设置有底板(4)，且底板(4)的上端面固定有转台(5)，所述转台(5)的中心设置有圆杆(12)，且转台(5)的环边上设置有防护罩(6)，所述固定罩(11)上套置有圆杆(12)，且圆杆(12)的外圈环设有六组第二凹槽(13)，所述第二凹槽(13)上分别放置有第一液体容器(7)、第二液体容器(14)、第三液体容器(15)、第四液体容器(16)、第五液体容器(17)和第六液体容器(18)，且第一液体容器(7)侧面上设置有导管(8)，所述第一液体容器(7)的上端开设有容器口(9)，且容器口(9)上套置有外罩(10)。

【技术特征摘要】
1.一种用于液体颗粒测试的适配装置，包括底座(1)、底盘(3)、底板(4)和固定罩(11),其特征在于：所述底座(1)的中心设置有伸缩杆(2)，且伸缩杆(2)的上支撑有底盘(3)，所述底盘(3)内上设置有底板(4)，且底板(4)的上端面固定有转台(5)，所述转台(5)的中心设置有圆杆(12)，且转台(5)的环边上设置有防护罩(6)，所述固定罩(11)上套置有圆杆(12)，且圆杆(12)的外圈环设有六组第二凹槽(13)，所述第二凹槽(13)上分别放置有第一液体容器(7)、第二液体容器(14)、第三液体容器(15)、第四液体容器(16)、第五液体容器(17)和第六液体容器(18)，且第一液体容器(7)侧面上设置有导管(8)，所述第一液体容器(7)的上端开设有容器口(9)，且容器口(9)上套置有外罩(10)。2.根据权利要求1所述的一种用于液体颗粒测试的适配装置，其特征在于：所述底座(1)采用梯形台框架结构，且底座(1)中心的伸缩杆(2)在Z轴上为可伸缩结构。3.根据权利要求1所述的一种用于液体颗粒测试的适配装置，其特征在于：所述底盘(3)内开设有第一凹槽(30)，且底板(4)的下端面环设有一圈滚珠(40)，同时滚...

【专利技术属性】
技术研发人员：张太友，
申请(专利权)人：音速科技无锡有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32