双轴平动自传感超分辨率成像平台及方法技术

技术编号:21821154 阅读:49 留言:0更新日期:2019-08-10 14:24
一种双轴平动自传感超分辨率成像平台及方法,该双轴平动台包括最上部的通光顶盖、四个驱动压电堆、平动自传感部件及带支撑解耦单元的底座;X轴和Y轴位移传感测量单元均包括位于四边形平台四角的刚性支撑镜像于四边形平台对角线呈45°的一对柔性金属梁及其末端固定连接的平台位移输出单元;每根柔性金属梁的根部附近上下表面均贴有电阻应变片;四组两级放大压电驱动输入单元垂直交叉分布,与X轴和Y轴位移输出单元呈“米”字形排布位于四边形平台两对角线上;本发明专利技术具有输入输出单元分离,机构通过构建悬臂梁结构,实现机构自传感功能;输入端位移两级放大,且驱动单元沿对角线交叉排布使沿双主轴向有效行程增大;由于“米”字形排布,平台结构也更紧凑。

Two-axis translational self-sensing super-resolution imaging platform and method

【技术实现步骤摘要】
双轴平动自传感超分辨率成像平台及方法
本专利技术涉及压电精密成像
,具体涉及一种双轴平动自传感超分辨率成像平台、作动方法及微位移传感测量方法。
技术介绍
随着近年来科学技术的快速发展和航天应用需求的不断提升,空间相机调节机构已成为构成高精度成像系统的关键技术。由于卫星平台的镜头自身光学衍射极限的限制及微振动干扰,极限分辨率导致的成像模糊,像质退化,严重影响图像品质。对于空间相机,采取快速主动调整相机指向机构位置措施可以增大相机视野,实现超分辨率成像并获取各种信息和图像。目前已有的压电双轴平动台虽然重量轻、响应快和作动精度高,但由于通光口径较小,线位移作动行程不大且平台传感单元未独立,限制了其应用范围。
技术实现思路
为了克服上述现有技术的不足,本专利技术目的在于提供一种双轴平动自传感超分辨率成像平台、作动方法及微位移传感测量方法,该双轴平动台基于压电材料驱动,在具有结构紧凑、响应快、高作动精度等特点的同时,还能提供大通光口径,增大位移行程,实现双轴位移独立自传感测量。为了达到上述目的,本专利技术采用如下技术方案:一种双轴平动自传感超分辨率成像平台,从上至下包括通光顶盖1、平动自传感部件3和底座4,位于通光顶盖1四角的四个安装孔与平动自传感部件3四角安装孔通过螺钉相连接;平动自传感部件3包括中部的通光孔以及设置在通光孔周围的输入单元、输出单元和传感单元;所述输出单元包括位于Y负半轴上的第一“H”型解耦导向机构、位于X负半轴上的第二“H”型解耦导向机构、位于Y正半轴上的第三“H”型解耦导向机构和位于X正半轴上的第四“H”型解耦导向机构;所述输入单元包括位于第一“H”型解耦导向机构和第四“H”型解耦导向机构间的第一驱动装置、位于第一“H”型解耦导向机构和第二“H”型解耦导向机构间的第二驱动装置、位于第二“H”型解耦导向机构和第三“H”型解耦导向机构间的第三驱动装置以及位于第三“H”型解耦导向机构和第四“H”型解耦导向机构间的第四驱动装置,相邻的驱动装置间夹角为90°;所述第一驱动装置包括第一驱动压电堆2-1通过预压安装在平动自传感部件3中的第一菱形环3-1内,第一菱形环3-1靠近通光孔侧通过螺钉与底座4上的第一内侧凸台4-1相固结;第一菱形环3-1远离通光孔侧通过两个柔性铰链分别与一对关于第一菱形环3-1短轴对角线镜像对称的第一杠杆3-3相连接;一对关于第一菱形环3-1短轴对角线镜像对称的第一固定支点块3-2靠四颗螺钉与底座4上的第一外侧凸台4-2相固结,同时第一固定支点块3-2通过两个柔性铰链分别与一对第一杠杆3-3相连接;一对关于第一菱形环3-1短轴对角线镜像对称的第一连接直杆3-4靠近通光孔端与通光孔延伸出来的“V”型凸台通过一对柔性铰链相连接,远离通光孔端与一对第一杠杆3-3通过一对柔性铰链相连接;同样的,第二驱动装置包括第二驱动压电堆2-2通过预压安装在平动自传感部件3中的第二菱形环3-1内,第二菱形环3-1靠近通光孔侧通过螺钉与底座4上的第二内侧凸台4-5相固结;第二菱形环3-1远离通光孔侧通过两个柔性铰链分别与一对关于第二菱形环3-1短轴对角线镜像对称的第二杠杆3-11相连接;一对关于第二菱形环3-1短轴对角线镜像对称的第二固定支点块3-10靠四颗螺钉与底座4上的第二外侧凸台4-4相固结,同时第二固定支点块3-10通过两个柔性铰链分别与一对第二杠杆3-11相连接;一对关于第二菱形环3-1短轴对角线镜像对称的第二连接直杆3-12靠近通光孔端与通光孔延伸出来的“V”型凸台通过一对柔性铰链相连接,远离通光孔端与一对第二杠杆3-11通过一对柔性铰链相连接;同样的,第三驱动装置包括第三驱动压电堆2-3通过预压安装在平动自传感部件3中的第三菱形环3-17内,第三菱形环3-17靠近通光孔侧通过螺钉与底座4上的第三内侧凸台4-8相固结;第三菱形环3-17远离通光孔侧通过两个柔性铰链分别与一对关于第三菱形环3-17短轴对角线镜像对称的第三杠杆3-19相连接;一对关于第三菱形环3-17短轴对角线镜像对称的第三固定支点块3-18靠四颗螺钉与底座4上的第三外侧凸台4-7相固结,同时第三固定支点块3-18通过两个柔性铰链分别与一对第三杠杆3-19相连接;一对关于第三菱形环3-17短轴对角线镜像对称的第三连接直杆3-20靠近通光孔端与通光孔延伸出来的“V”型凸台通过一对柔性铰链相连接,远离通光孔端与一对第三杠杆3-19通过一对柔性铰链相连接;同样的,第四驱动装置包括第四驱动压电堆2-4通过预压安装在平动自传感部件3中的第四菱形环3-25内,第四菱形环3-25靠近通光孔侧通过螺钉与底座4上的第四内侧凸台4-11相固结;第四菱形环3-25远离通光孔侧通过两个柔性铰链分别与一对关于第四菱形环3-25短轴对角线镜像对称的第四杠杆3-27相连接;一对关于第四菱形环3-25短轴对角线镜像对称的第四固定支点块3-26靠四颗螺钉与底座4上的第四外侧凸台4-10相固结,同时第四固定支点块3-26通过两个柔性铰链分别与一对第四杠杆3-27相连接;一对关于第四菱形环3-25短轴对角线镜像对称的第四连接直杆3-28靠近通光孔端与通光孔延伸出来的“V”型凸台通过一对柔性铰链相连接,远离通光孔端与一对第四杠杆3-27通过一对柔性铰链相连接;所述位于Y负半轴上的第一“H”型解耦导向机构包括与通光孔一体连接的第一“T”型凸台3-7,第一“T”型凸台3-7短边通过第一四段柔性梁3-8与外部“П”形框连接;同理,位于X负半轴上的第二“H”型解耦导向机构包括与通光孔一体连接的第二“T”型凸台3-15,第二“T”型凸台3-15短边与通过第二四段柔性梁3-16与外部“П”形框连接;位于Y正半轴上的第三“H”型解耦导向机构包括与通光孔一体连接的第三“T”型凸台3-23,第三“T”型凸台3-23短边与通过第三四段柔性梁3-24与外部“П”形框连接;位于X正半轴上的第四“H”型解耦导向机构包括与通光孔一体连接的第四“T”型凸台3-31,第四“T”型凸台3-31短边与通过第四四段柔性梁3-32与外部“П”形框连接;所述传感单元包括第一传感装置、第二传感装置、第三传感装置和第四传感装置;所述第一传感装置包括一对平行于X轴的第一柔性悬臂梁3-6的始端分别与第一固定支撑角3-5和第二固定支撑角3-13固定连接,第一柔性悬臂梁3-6的末端固定连接于第一“H”型解耦导向机构,第一柔性悬臂梁3-6靠近始端根部附近上下表面分别对称贴有两片电阻应变片,接入相应的外部信号处理电路组成两个半桥电路;同理,第二传感装置包括一对平行于Y轴的第二柔性悬臂梁3-14的始端分别与第二固定支撑角3-13和第三固定支撑角3-21固定连接,第二柔性悬臂梁3-14的末端固定连接于第二“H”型解耦导向机构,第二柔性悬臂梁3-14靠近始端根部附近上下表面分别对称贴有两片电阻应变片,接入相应的外部信号处理电路组成两个半桥电路;第三传感装置包括一对平行于X轴的第三柔性悬臂梁3-22的始端分别与第三固定支撑角3-21和第四固定支撑角3-29固定连接,第三柔性悬臂梁3-22的末端固定连接于第三“H”型解耦导向机构,第三柔性悬臂梁3-22靠近始端根部附近上下表面分别对称贴有两片电阻应变片,接入相应的外部信号处理电路组本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种双轴平动自传感超分辨率成像平台,其特征在于:从上至下包括通光顶盖(1)、平动自传感部件(3)和底座(4),位于通光顶盖(1)四角的四个安装孔与平动自传感部件(3)四角安装孔通过螺钉相连接;平动自传感部件(3)包括中部的通光孔以及设置在通光孔周围的输入单元、输出单元和传感单元;所述输出单元包括位于Y负半轴上的第一“H”型解耦导向机构、位于X负半轴上的第二“H”型解耦导向机构、位于Y正半轴上的第三“H”型解耦导向机构和位于X正半轴上的第四“H”型解耦导向机构;所述输入单元包括位于第一“H”型解耦导向机构和第四“H”型解耦导向机构间的第一驱动装置、位于第一“H”型解耦导向机构和第二“H”型解耦导向机构间的第二驱动装置、位于第二“H”型解耦导向机构和第三“H”型解耦导向机构间的第三驱动装置以及位于第三“H”型解耦导向机构和第四“H”型解耦导向机构间的第四驱动装置,相邻的驱动装置间夹角为90°;所述第一驱动装置包括第一驱动压电堆(2‑1)通过预压安装在平动自传感部件(3)中的第一菱形环(3‑1)内,第一菱形环(3‑1)靠近通光孔侧通过螺钉与底座(4)上的第一内侧凸台(4‑1)相固结;第一菱形环(3‑1)远离通光孔侧通过两个柔性铰链分别与一对关于第一菱形环(3‑1)短轴对角线镜像对称的第一杠杆(3‑3)相连接;一对关于第一菱形环(3‑1)短轴对角线镜像对称的第一固定支点块(3‑2)靠四颗螺钉与底座(4)上的第一外侧凸台(4‑2)相固结,同时第一固定支点块(3‑2)通过两个柔性铰链分别与一对第一杠杆(3‑3)相连接;一对关于第一菱形环(3‑1)短轴对角线镜像对称的第一连接直杆(3‑4)靠近通光孔端与通光孔延伸出来的“V”型凸台通过一对柔性铰链相连接,远离通光孔端与一对第一杠杆(3‑3)通过一对柔性铰链相连接;同样的,第二驱动装置包括第二驱动压电堆(2‑2)通过预压安装在平动自传感部件(3)中的第二菱形环(3‑1)内,第二菱形环(3‑1)靠近通光孔侧通过螺钉与底座(4)上的第二内侧凸台(4‑5)相固结;第二菱形环(3‑1)远离通光孔侧通过两个柔性铰链分别与一对关于第二菱形环(3‑1)短轴对角线镜像对称的第二杠杆(3‑11)相连接;一对关于第二菱形环(3‑1)短轴对角线镜像对称的第二固定支点块(3‑10)靠四颗螺钉与底座(4)上的第二外侧凸台(4‑4)相固结,同时第二固定支点块(3‑10)通过两个柔性铰链分别与一对第二杠杆(3‑11)相连接;一对关于第二菱形环(3‑1)短轴对角线镜像对称的第二连接直杆(3‑12)靠近通光孔端与通光孔延伸出来的“V”型凸台通过一对柔性铰链相连接,远离通光孔端与一对第二杠杆(3‑11)通过一对柔性铰链相连接;同样的,第三驱动装置包括第三驱动压电堆(2‑3)通过预压安装在平动自传感部件(3)中的第三菱形环(3‑17)内,第三菱形环(3‑17)靠近通光孔侧通过螺钉与底座(4)上的第三内侧凸台(4‑8)相固结;第三菱形环(3‑17)远离通光孔侧通过两个柔性铰链分别与一对关于第三菱形环(3‑17)短轴对角线镜像对称的第三杠杆(3‑19)相连接;一对关于第三菱形环(3‑17)短轴对角线镜像对称的第三固定支点块(3‑18)靠四颗螺钉与底座(4)上的第三外侧凸台(4‑7)相固结,同时第三固定支点块(3‑18)通过两个柔性铰链分别与一对第三杠杆(3‑19)相连接;一对关于第三菱形环(3‑17)短轴对角线镜像对称的第三连接直杆(3‑20)靠近通光孔端与通光孔延伸出来的“V”型凸台通过一对柔性铰链相连接,远离通光孔端与一对第三杠杆(3‑19)通过一对柔性铰链相连接;同样的,第四驱动装置包括第四驱动压电堆(2‑4)通过预压安装在平动自传感部件(3)中的第四菱形环(3‑25)内,第四菱形环(3‑25)靠近通光孔侧通过螺钉与底座(4)上的第四内侧凸台(4‑11)相固结;第四菱形环(3‑25)远离通光孔侧通过两个柔性铰链分别与一对关于第四菱形环(3‑25)短轴对角线镜像对称的第四杠杆(3‑27)相连接;一对关于第四菱形环(3‑25)短轴对角线镜像对称的第四固定支点块(3‑26)靠四颗螺钉与底座(4)上的第四外侧凸台(4‑10)相固结,同时第四固定支点块(3‑26)通过两个柔性铰链分别与一对第四杠杆(3‑27)相连接;一对关于第四菱形环(3‑25)短轴对角线镜像对称的第四连接直杆(3‑28)靠近通光孔端与通光孔延伸出来的“V”型凸台通过一对柔性铰链相连接,远离通光孔端与一对第四杠杆(3‑27)通过一对柔性铰链相连接;所述位于Y负半轴上的第一“H”型解耦导向机构包括与通光孔一体连接的第一“T”型凸台(3‑7),第一“T”型凸台(3‑7)短边通过第一四段柔性梁(3‑8)与外部“П”形框连接;同理,位于X负半轴上的第二“H”型解耦导向机构包括...

【技术特征摘要】
1.一种双轴平动自传感超分辨率成像平台,其特征在于:从上至下包括通光顶盖(1)、平动自传感部件(3)和底座(4),位于通光顶盖(1)四角的四个安装孔与平动自传感部件(3)四角安装孔通过螺钉相连接;平动自传感部件(3)包括中部的通光孔以及设置在通光孔周围的输入单元、输出单元和传感单元;所述输出单元包括位于Y负半轴上的第一“H”型解耦导向机构、位于X负半轴上的第二“H”型解耦导向机构、位于Y正半轴上的第三“H”型解耦导向机构和位于X正半轴上的第四“H”型解耦导向机构;所述输入单元包括位于第一“H”型解耦导向机构和第四“H”型解耦导向机构间的第一驱动装置、位于第一“H”型解耦导向机构和第二“H”型解耦导向机构间的第二驱动装置、位于第二“H”型解耦导向机构和第三“H”型解耦导向机构间的第三驱动装置以及位于第三“H”型解耦导向机构和第四“H”型解耦导向机构间的第四驱动装置,相邻的驱动装置间夹角为90°;所述第一驱动装置包括第一驱动压电堆(2-1)通过预压安装在平动自传感部件(3)中的第一菱形环(3-1)内,第一菱形环(3-1)靠近通光孔侧通过螺钉与底座(4)上的第一内侧凸台(4-1)相固结;第一菱形环(3-1)远离通光孔侧通过两个柔性铰链分别与一对关于第一菱形环(3-1)短轴对角线镜像对称的第一杠杆(3-3)相连接;一对关于第一菱形环(3-1)短轴对角线镜像对称的第一固定支点块(3-2)靠四颗螺钉与底座(4)上的第一外侧凸台(4-2)相固结,同时第一固定支点块(3-2)通过两个柔性铰链分别与一对第一杠杆(3-3)相连接;一对关于第一菱形环(3-1)短轴对角线镜像对称的第一连接直杆(3-4)靠近通光孔端与通光孔延伸出来的“V”型凸台通过一对柔性铰链相连接,远离通光孔端与一对第一杠杆(3-3)通过一对柔性铰链相连接;同样的,第二驱动装置包括第二驱动压电堆(2-2)通过预压安装在平动自传感部件(3)中的第二菱形环(3-1)内,第二菱形环(3-1)靠近通光孔侧通过螺钉与底座(4)上的第二内侧凸台(4-5)相固结;第二菱形环(3-1)远离通光孔侧通过两个柔性铰链分别与一对关于第二菱形环(3-1)短轴对角线镜像对称的第二杠杆(3-11)相连接;一对关于第二菱形环(3-1)短轴对角线镜像对称的第二固定支点块(3-10)靠四颗螺钉与底座(4)上的第二外侧凸台(4-4)相固结,同时第二固定支点块(3-10)通过两个柔性铰链分别与一对第二杠杆(3-11)相连接;一对关于第二菱形环(3-1)短轴对角线镜像对称的第二连接直杆(3-12)靠近通光孔端与通光孔延伸出来的“V”型凸台通过一对柔性铰链相连接,远离通光孔端与一对第二杠杆(3-11)通过一对柔性铰链相连接;同样的,第三驱动装置包括第三驱动压电堆(2-3)通过预压安装在平动自传感部件(3)中的第三菱形环(3-17)内,第三菱形环(3-17)靠近通光孔侧通过螺钉与底座(4)上的第三内侧凸台(4-8)相固结;第三菱形环(3-17)远离通光孔侧通过两个柔性铰链分别与一对关于第三菱形环(3-17)短轴对角线镜像对称的第三杠杆(3-19)相连接;一对关于第三菱形环(3-17)短轴对角线镜像对称的第三固定支点块(3-18)靠四颗螺钉与底座(4)上的第三外侧凸台(4-7)相固结,同时第三固定支点块(3-18)通过两个柔性铰链分别与一对第三杠杆(3-19)相连接;一对关于第三菱形环(3-17)短轴对角线镜像对称的第三连接直杆(3-20)靠近通光孔端与通光孔延伸出来的“V”型凸台通过一对柔性铰链相连接,远离通光孔端与一对第三杠杆(3-19)通过一对柔性铰链相连接;同样的,第四驱动装置包括第四驱动压电堆(2-4)通过预压安装在平动自传感部件(3)中的第四菱形环(3-25)内,第四菱形环(3-25)靠近通光孔侧通过螺钉与底座(4)上的第四内侧凸台(4-11)相固结;第四菱形环(3-25)远离通光孔侧通过两个柔性铰链分别与一对关于第四菱形环(3-25)短轴对角线镜像对称的第四杠杆(3-27)相连接;一对关于第四菱形环(3-25)短轴对角线镜像对称的第四固定支点块(3-26)靠四颗螺钉与底座(4)上的第四外侧凸台(4-10)相固结,同时第四固定支点块(3-26)通过两个柔性铰链分别与一对第四杠杆(3-27)相连接;一对关于第四菱形环(3-25)短轴对角线镜像对称的第四连接直杆(3-28)靠近通光孔端与通光孔延伸出来的“V”型凸台通过一对柔性铰链相连接,远离通光孔端与一对第四杠杆(3-27)通过一对柔性铰链相连接;所述位于Y负半轴上的第一“H”型解耦导向机构包括与通光孔一体连接的第一“T”型凸台(3-7),第一“T”型凸台(3-7)短边通过第一四段柔性梁(3-8)与外部“П”形框连接;同理,位于X负半轴上的第二“H”型解耦导向机构包括与通光孔一体连接的第二“T”型凸台(3-15),第二“T”型凸台(3-15)短边与通过第二四段柔性梁(3-16)与外部“П”形框连接;位于Y正半轴上的第三“H”型解耦导向机构包括与通光孔一体连接的第三“T”型凸台(3-23),第三“T”型凸台(3-23)短边与通过第三四段柔性梁(3-24)与外部形框连接;位于X正半轴上的第四“H”型解耦导向机构包括与通光孔一体连接的第四“T”型凸台(3-31),第四“T”型凸台(3-31)短边与通过第四四段柔性梁(3-32)与外部“П”形框连接;所述传感单元包括第一传感装置、第二传感装置、第三传感装置和第四传感装置;所述第一传感装置包括一对平行于X轴的第一柔性悬臂梁(3-6)的始端分别与第一固定支撑角(3-5)和第二固定支撑角(3-13)固定连接,第一柔性悬臂梁(3-6)的末端固定连接于第一“H”型解耦导向机构,第一柔性悬臂梁(3-6)靠近始端根部附近上下表面分别对称贴有两片电阻应变片,接入相应的外部信号处理电路组成两个半桥电路;同理,第二传感装置包括一对平行于Y轴的第二柔性悬臂梁(3-14)的始端分别与第二固定支撑角(3-13)和第三固定支撑角(3-21)固定连接,第二柔性悬臂梁(3-14)的末端固定连接于第二“H”型解耦导向机...

【专利技术属性】
技术研发人员:廖诚徐明龙肖瑞江胡方泽嵇辉
申请(专利权)人:西安交通大学
类型:发明
国别省市:陕西,61

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