【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种径向涡轮分子真空泵，其包括： 进气口； 转子，其包括： 第一转子表面；和 多个转子叶片，其中多个转子叶片由第一转子表面整体制造并且从第一转子表面轴向延伸，其中第一转子表面和多个转子叶片的材料为硅； 定子，其包括： 在大体径向方向上定位为接近于第一转子表面的第一定子表面； 多个定子叶片，其中多个定子叶片由第一定子表面整体制造并且从第一定子表面轴向延伸，和 形成在多个定子叶片之间的多个定子槽，其中定子表面和多个定子叶片和多个定子槽由硅制造；以及 出气口。
【技术特征摘要】
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