MEMS麦克风制造技术

本实用新型专利技术提供了一种MEMS麦克风，其包括具有背腔的基底及设置在所述基底上的电容系统，所述电容系统包括背板以及与所述背板相对设置的振膜，所述振膜包括本体部以及若干与所述本体部连接的泄气部，所述泄气部包括贯穿所述振膜设置的泄气孔及部分固定于所述振膜并位于所述泄气孔的膜瓣，所述MEMS麦克风还包括一端固定连接于所述背板，另一端固定连接于所述膜瓣的绝缘连接柱。与相关技术相比，本实用新型专利技术提供的MEMS麦克风，所述泄气部通过所述绝缘连接柱与所述背板固定连接，使得所述泄气部不容易产生翘曲，从而减小了低衰现象的发生，进而提升所述MEMS麦克风的可靠性。

MEMS Microphone

【技术实现步骤摘要】
MEMS麦克风
本技术涉及电声转换领域，尤其涉及一种MEMS麦克风。
技术介绍
近年来移动通信技术已经得到快速发展，消费者越来越多地使用移动通信设备，例如便携式电话、能上网的便携式电话、个人数字助理或专用通信网络进行通信的其他设备，其中麦克风则是其中重要的部件之一，特别是MEMS麦克风。微机电系统(Micro-Electro-MechanicalSystem，MEMS)麦克风是一种利用微机械加工技术制作出来的电能换声器，其具有体积小、频响特性好、噪声低等特点。随着电子设备的小巧化、轻薄化发展，MEMS麦克风被越来越广泛地运用到这些设备上。相关技术中的MEMS麦克风包括具有背腔的基底以及设置在所述基底上的电容系统，所述电容系统包括背板及与所述背板相对设置的振膜，然而振膜在振动过程中，背板和振膜之间的空气无法尽快排出进而影响了所述MEMS麦克风的性能。因此，有必要提供一种改进的MEMS麦克风来解决上述问题。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是提供一种可靠性好的MEMS麦克风。为解决上述技术问题，本技术提供了一种MEMS麦克风，其包括具有背腔的基底及设置在所述基底上的电容系统，所述电容系统包括背板以及与所述背板相对设置的振膜，所述振膜包括本体部以及若干与所述本体部连接的泄气部，所述泄气部包括贯穿所述振膜设置的泄气孔及部分固定于所述振膜并位于所述泄气孔的膜瓣，所述MEMS麦克风还包括一端固定连接于所述背板，另一端固定连接于所述膜瓣的绝缘连接柱。优选的，所述背板固定于所述基底，所述振膜位于所述背板靠近所述基底的一侧。优选的，所述振膜位于所述背腔中，并小于所述背腔的孔径。优选的，所述泄气部位于所述振膜的边缘。优选的，所述泄气部设有六个，六个所述泄气部分别间隔设置且呈环形阵列分布。优选的，所述绝缘连接柱设有六个且与六个所述泄气部一一对应，六个所述绝缘连接柱均垂直于所述背板设置。优选的，所述绝缘连接柱的横截面为圆形或方形。与相关技术相比，本技术的MEMS麦克风增设绝缘连接柱，所述泄气部通过所述绝缘连接柱与所述背板固定连接，使得所述泄气部不容易产生翘曲，从而减小了低衰现象的发生，进而提升所述MEMS麦克风的可靠性；通过所述膜瓣与所述绝缘连接柱连接，在遇到较强气流时可通过所述振膜向上或是向下移动张开所述泄气孔，使得气流从所述泄气孔流出，减小了所述振膜出现破膜的可能性并且所述膜瓣也不容易产生翘曲，提高了所述MEMS麦克风的稳定性能。【附图说明】为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图，其中：图1为本技术MEMS麦克风的立体结构示意图；图2为本技术MEMS麦克风的分解图；图3为图1的剖视图；图4为图3中区域A的放大图；图5为本技术的振膜与绝缘连接柱的结构示意图。【具体实施方式】下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1至图3，为本技术的一种MEMS麦克风100，其包括具有背腔11的基底10、设置在所述基底10上并与所述基底10绝缘相连的电容系统30及设置在所述电容系统内的绝缘连接柱50。所述基底10由半导体材料制成，例如硅。所述背腔11贯穿所述基底10设置。具体的，所述背腔11可以通过体硅微加工工艺或蚀刻形成。所述电容系统30包括背板31及与所述背板31相对平行间隔设置的振膜33，所述背极31固定在基底10且背板设有声孔310，振膜33位于背板31靠近基底10的一侧，且振膜33小于背腔11的孔径并位于背腔11中，这样充分的利用了MEMS麦克风的内部空间，利于MEMS麦克风的小型化。所述背板31与所述振膜33间隔设置并形成声腔35。所述背板31与所述振膜33均为导体。具体的，所述背板31及所述振膜33均由多晶硅掺杂或单晶硅掺杂导电材料制成。在所述MEMS麦克风100通电工作状态下，所述背板31与所述振膜33会带上极性相反的电荷，形成所述电容系统30。当所述振膜33在声波的作用下产生振动，所述振膜33与所述背板31之间的距离会发生变化，导致所述电容系统30的电容发生改变，从而将声波信号转换为电信号，实现麦克风的相应功能。一并参照图4及图5所示，所述振膜33包括本体部及沿所述本体部331边缘设置的泄气部333，所述泄气部333连通所述声腔35和背腔11。所述振膜33遇到强大气流时，通过所述泄气部333使得气流快速穿过所述振膜33，避免所述振膜33发生破膜的风险。具体的，所述泄气部333设有六个，六个所述泄气部333分别间隔设置，且呈环形阵列分布。所述泄气部333包括贯穿所述振膜33设置的泄气孔3331及盖设于所述泄气孔3331的膜瓣3333。所述振膜33遇到强大气流时，所述振膜33会受气流的作用发生形变，所述振膜33与所述膜瓣3333之间形成间隙，从而使得所述泄气孔3331打开，气流从所述泄气孔3331穿过所述振膜33。在本实施例中，所述膜瓣3333的外周缘的一部分固接于所述振膜33上，所述膜瓣3333未与所述振膜33固接的另一部分开设有缝隙3334，所述缝隙3334呈圆弧形，所述振膜33遇到气流发生形变时，通过所述缝隙3334打开所述泄气孔3331。当然，所述膜瓣3333的固接形式不局限于一部分与所述振膜33固接，也可以是所述膜瓣3333外周缘与所述振膜33固接，在所述膜瓣3333中心区域开设“十”字型缝隙，甚至缝隙可是“一”字形、“Y”型等其他方式缝隙均可。所述绝缘连接柱50一端与所述背板31固定连接另一端与所述膜瓣3333固定连接，将所述膜瓣3333固定，避免所述膜瓣3333在气流流经所述泄气孔3331时发生翘曲。所述绝缘连接柱50垂直于所述背板31设置。具体的，所述绝缘连接柱50设有六个，六个所述绝缘连接柱50分别与六个所述泄气部333一一对应设置。具体的，所述绝缘连接柱50为不导电材料制成，在所述MEMS麦克风100通电情况下不会对所述电容系统30造成影响。本实施例中，所述绝缘连接柱50的横截面为圆形。此处横截面为参考图2所示方向。当然，在其他实施例中，所述绝缘连接柱50的横截面可为方形或其他任意形状。与相关技术相比，本技术的MEMS麦克风100增设所述绝缘连接柱50，所述泄气部333通过所述绝缘连接柱50与所述背板31固定连接，使得所述泄气部333不容易产生翘曲，从而减小了低衰现象的发生，进而提升所述MEMS麦克风100的可靠性；通过所述膜瓣3333与所述绝缘连接柱50连接，在遇到较强气流时可通过所述振膜33向上或是向下移动张开所述泄气孔3331，使得气流从所述泄气孔3331流出，减小了所述振膜33出现破膜的可能性并且所述膜瓣3333也不容易产生翘曲，提高了所述MEMS麦克风100的稳定性能。以上所述的仅是本实用本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种MEMS麦克风，其包括具有背腔的基底及设置在所述基底上的电容系统，所述电容系统包括背板以及与所述背板相对设置的振膜，其特征在于：所述振膜包括本体部以及若干与所述本体部连接的泄气部，所述泄气部包括贯穿所述振膜设置的泄气孔及部分固定于所述振膜并位于所述泄气孔的膜瓣，所述MEMS麦克风还包括一端固定连接于所述背板，另一端固定连接于所述膜瓣的绝缘连接柱。

【技术特征摘要】
1.一种MEMS麦克风，其包括具有背腔的基底及设置在所述基底上的电容系统，所述电容系统包括背板以及与所述背板相对设置的振膜，其特征在于：所述振膜包括本体部以及若干与所述本体部连接的泄气部，所述泄气部包括贯穿所述振膜设置的泄气孔及部分固定于所述振膜并位于所述泄气孔的膜瓣，所述MEMS麦克风还包括一端固定连接于所述背板，另一端固定连接于所述膜瓣的绝缘连接柱。2.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述背板固定于所述基底，所述振膜位于所述背板靠近所述基底的一侧。3.根据权利要求2所述的M...

【专利技术属性】
技术研发人员：张睿，张金宇，康婷，
申请(专利权)人：瑞声声学科技深圳有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44