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增强排气型复合分子泵制造技术

技术编号:2180772 阅读:260 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术涉及一种增强排气型复合分子泵,涉及真空技术领域,包括泵壳、泵座、光轴、转子体和定子,转子体由涡轮级转子和螺旋槽牵引分子级转子组成,光轴与转子体连接,转子体中涡轮级转子位于螺旋槽牵引分子级转子上方,螺旋槽牵引分子级转子下方连有增强排气级转子,增强排气级转子为光板;涡轮级转子之间设有涡轮级定子叶片,螺旋槽牵引分子级转子之间设有螺旋槽牵引分子级定子,增强排气级转子两侧设有增强排气级定子。并汇集了拖动气体分子运动和涡轮分子的原理,通过这种结构设计达到具有大抽速、高真空能力和增大排气能力的复合分子泵,该泵具有效率高、体积小、造价低的优点。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种增强排气型复合分子泵,包括泵壳、泵座、光轴、转子体和定子,其特征是所述的转子体由涡轮级转子和螺旋槽牵引分子级转子组成,所述的光轴与转子体连接,转子体中涡轮级转子位于螺旋槽牵引分子级转子上方,螺旋槽牵引分子级转子下方连有增强排气级转子,增强排气级转子为光板;涡轮级转子之间设有涡轮级定子叶片,螺旋槽牵引分子级转子之间设有螺旋槽牵引分子级定子,增强排气级转子两侧设有增强排气级定子。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:刘坤李涛常学森巴德纯
申请(专利权)人:东北大学成都南光机器有限公司
类型:发明
国别省市:89[中国|沈阳]

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