【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种增强排气型复合分子泵,包括泵壳、泵座、光轴、转子体和定子,其特征是所述的转子体由涡轮级转子和螺旋槽牵引分子级转子组成,所述的光轴与转子体连接,转子体中涡轮级转子位于螺旋槽牵引分子级转子上方,螺旋槽牵引分子级转子下方连有增强排气级转子,增强排气级转子为光板;涡轮级转子之间设有涡轮级定子叶片,螺旋槽牵引分子级转子之间设有螺旋槽牵引分子级定子,增强排气级转子两侧设有增强排气级定子。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:刘坤,李涛,常学森,巴德纯,
申请(专利权)人:东北大学,成都南光机器有限公司,
类型:发明
国别省市:89[中国|沈阳]
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。