一种低损耗共面微波探针制造技术

本实用新型专利技术公开了一种低损耗共面微波探针，包括主体、第一G面、S面和第二G面，所述主体的中间位置处设置有S面，且主体的底端设置有探针头部，所述S面一端的主体上设置有第二G面，且S面另一端的主体上设置有第一G面，所述主体侧壁的内部设置有抗电磁干扰层，且抗电磁干扰层的内部均匀铺设有金属环，所述主体的顶端焊接有安装座，且安装座的内部设置有安装槽。本实用新型专利技术通过设置有第一聚砜刚性层、第二聚砜刚性层和加强筋，使得装置利用聚砜力学性能优异，刚性大，耐磨、高强度，即使在高温下也保持优良的机械性能的特性，以及加强筋的将加强作用，使得整个装置增强了自身的结构强度，从而有利于延长装置的使用寿命。

A Low Loss Coplanar Microwave Probe

【技术实现步骤摘要】
一种低损耗共面微波探针
本技术涉及微波探针
，具体为一种低损耗共面微波探针。
技术介绍
随着信息技术的进步，半导体器件不断朝着小体积、高密度、高频的方向发展，然而如何及时准确地测试这些高频器件的性能却成为一个难题，传统的测试方法是将器件进行封装，然后利用夹具对其进行测试，这种测试方法不仅会引入额外的影响因素使得测试结果不准确，而且效率低下，容易造成封装工序的浪费，严重制约了半导体工业的进一步发展，因此亟待一种新的方法实现更加高效准确的测量，在这种背景下诞生出了专门用于在片检测高频半导体器件的微波探针测试系统，该微波探针测试系统中最为重要的组成部分之一即是微波探针，作为核心部件的微波探针，实现了引导高频信号在器件芯片与测试系统之间传输的作用，利用微波探针可以在器件封装之前直接对其进行高频特性测试，实现在片筛选，这对于器件芯片生产效率的提高和微波器件的发展都具有积极意义，但是现有的微波探针在使用时还是存在以下几点问题：1.传统的微波探针普遍存在着不易进行固定安装和高损耗的问题，这导致装置的使用效果不好；2.现存的微波探针往往还存在着结构强度低、抗压性能差的缺陷，这极大地影响了装置的使用寿命；3.现有的微波探针还存在着抗干扰性能差的缺点，这不利于装置的长期推广。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种低损耗共面微波探针，以解决上述
技术介绍
中提出的不易进行固定安装和高损耗、结构强度低、抗压性能差以及抗干扰性能差的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种低损耗共面微波探针，包括主体、第一G面、S面和第二G面，所述主体的中间位置处设置有S面，且主体的底端设置有探针头部，所述S面一端的主体上设置有第二G面，且S面另一端的主体上设置有第一G面，所述主体侧壁的内部设置有抗电磁干扰层，且抗电磁干扰层的内部均匀铺设有金属环，所述主体的顶端焊接有安装座，且安装座的内部设置有安装槽，所述安装座的两侧皆设置有防滑橡胶垫。优选的，所述主体的材料为聚酰亚胺铜板，且主体的外侧壁涂覆有硅油防粘层。优选的，所述主体侧壁的内部设置有抗压层，且抗压层的内部均匀设置有呈同心圆排列的抗压气囊，所述该抗压气囊的横截面呈上凸弧形。优选的，所述安装座两端的主体上皆设置有限位孔，且限位孔的内部设置有防滑硅胶垫，所述该防滑硅胶垫与限位孔之间构成热熔连接。优选的，所述抗压层一侧主体侧壁的内部设置有第二聚砜刚性层，且第二聚砜刚性层远离抗压层一侧主体侧壁的内部设置有第一聚砜刚性层，所述第一聚砜刚性层的厚度等于第二聚砜刚性层的厚度，且第二聚砜刚性层和第一聚砜刚性层之间主体侧壁的内部均匀设置有呈等间距排列的加强筋。优选的，所述加强筋的横截面呈U形，且加强筋的外侧壁涂覆有氧化铝耐腐蚀层。与现有技术相比，本技术的有益效果是：1.该低损耗共面微波探针通过将材料设置为聚酰亚胺铜板，且设置有第一G面、S面和第二G面这三个共面，使得装置优化了自身的参数，实现了低反射和低损耗的优点，有利于该装置的长期推广；2.该低损耗共面微波探针通过设置有第一聚砜刚性层、第二聚砜刚性层和加强筋，使得装置利用聚砜力学性能优异，刚性大，耐磨、高强度，即使在高温下也保持优良的机械性能的特性，以及加强筋的加强作用，使得整个装置增强了自身的结构强度，从而有利于延长装置的使用寿命；3.该低损耗共面微波探针通过设置有抗压层和抗压气囊，使得装置增强了自身的抗压性能，从而保证了装置在使用过程中不易变形；4.该低损耗共面微波探针通过设置有安装座、限位孔、防滑橡胶垫和安装槽，使得装置便于与相应的设备进行固定安装，从而增强了装置的功能性；5.该低损耗共面微波探针通过设置有硅油防粘层，使得装置利用有机硅油的不亲和性这一物理原理，从而使得装置达到不粘和防油的作用，增强了装置的实用性；6.该低损耗共面微波探针通过设置有金属环和抗电磁干扰层，使得装置利用金属环构成环路产生感生电流，由感生电流产生反向电磁场进行屏蔽，从而增强了装置的抗干扰性能。附图说明图1为本技术正视结构示意图；图2为本技术缓变的共面微波探针结构示意图；图3为本技术图1中A位置剖面结构示意图；图4为本技术安装座俯视剖面结构示意图。图中：1、主体；2、安装座；3、限位孔；4、第一G面；5、S面；6、第二G面；7、探针头部；8、金属环；9、抗电磁干扰层；10、抗压层；11、抗压气囊；12、硅油防粘层；13、第一聚砜刚性层；14、加强筋；15、第二聚砜刚性层；16、防滑橡胶垫；17、安装槽。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1-4，本技术提供的一种实施例：一种低损耗共面微波探针，包括主体1、第一G面4、S面5和第二G面6，主体1的中间位置处设置有S面5，且主体1的底端设置有探针头部7，主体1的材料为聚酰亚胺铜板，且主体1的外侧壁涂覆有硅油防粘层12，使得装置利用有机硅油的不亲和性这一物理原理，从而使得装置达到不粘和防油的作用，增强了装置的实用性，主体1侧壁的内部设置有抗压层10，且抗压层10的内部均匀设置有呈同心圆排列的抗压气囊11，该抗压气囊11的横截面呈上凸弧形，使得装置增强了自身的抗压性能，从而增强了装置的实用性，抗压层10一侧主体1侧壁的内部设置有第二聚砜刚性层15，且第二聚砜刚性层15远离抗压层10一侧主体1侧壁的内部设置有第一聚砜刚性层13，第一聚砜刚性层13的厚度等于第二聚砜刚性层15的厚度，且第二聚砜刚性层15和第一聚砜刚性层13之间主体1侧壁的内部均匀设置有呈等间距排列的加强筋14，使其利用第一聚砜刚性层13、第二聚砜刚性层15和加强筋14的作用提升了装置的结构强度，从而有利于延长装置的使用寿命，聚砜是略带琥珀色非晶型透明或半透明聚合物，力学性能优异，刚性大，耐磨、高强度，即使在高温下也保持优良的机械性能是其突出的优点，加强筋14的横截面呈U形，且加强筋14的外侧壁涂覆有氧化铝耐腐蚀层，使其增强了加强筋14的耐腐蚀性能，从而提升了装置的使用效果，S面5一端的主体1上设置有第二G面6，且S面5另一端的主体1上设置有第一G面4，主体1侧壁的内部设置有抗电磁干扰层9，且抗电磁干扰层9的内部均匀铺设有金属环8，主体1的顶端焊接有安装座2，且安装座2的内部设置有安装槽17，安装座2两端的主体1上皆设置有限位孔3，且限位孔3的内部设置有防滑硅胶垫，该防滑硅胶垫与限位孔3之间构成热熔连接，使其便于固定牢固，从而增强了装置的实用性，安装座2的两侧皆设置有防滑橡胶垫16。工作原理：使用时，外接电源，工作人员首先利用安装座2、安装槽17和限位孔3的作用，将装置与相应的设备进行固定安装，同时配合防滑橡胶垫16的作用，使得装置可以固定得更加牢固，不易滑脱，从而增强了装置的实用性，继而利用探针头部7即可实现引导高频信号在器件芯片与测试系统之间传输的作用，利用装置可以在器件封装之前直接对其进行高频特性测试，实现在片筛选，同时，在装置的使用过程中，由于该本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种低损耗共面微波探针，包括主体(1)、第一G面(4)、S面(5)和第二G面(6)，其特征在于：所述主体(1)的中间位置处设置有S面(5)，且主体(1)的底端设置有探针头部(7)，所述S面(5)一端的主体(1)上设置有第二G面(6)，且S面(5)另一端的主体(1)上设置有第一G面(4)，所述主体(1)侧壁的内部设置有抗电磁干扰层(9)，且抗电磁干扰层(9)的内部均匀铺设有金属环(8)，所述主体(1)的顶端焊接有安装座(2)，且安装座(2)的内部设置有安装槽(17)，所述安装座(2)的两侧皆设置有防滑橡胶垫(16)。

【技术特征摘要】
1.一种低损耗共面微波探针，包括主体(1)、第一G面(4)、S面(5)和第二G面(6)，其特征在于：所述主体(1)的中间位置处设置有S面(5)，且主体(1)的底端设置有探针头部(7)，所述S面(5)一端的主体(1)上设置有第二G面(6)，且S面(5)另一端的主体(1)上设置有第一G面(4)，所述主体(1)侧壁的内部设置有抗电磁干扰层(9)，且抗电磁干扰层(9)的内部均匀铺设有金属环(8)，所述主体(1)的顶端焊接有安装座(2)，且安装座(2)的内部设置有安装槽(17)，所述安装座(2)的两侧皆设置有防滑橡胶垫(16)。2.根据权利要求1所述的一种低损耗共面微波探针，其特征在于：所述主体(1)的材料为聚酰亚胺铜板，且主体(1)的外侧壁涂覆有硅油防粘层(12)。3.根据权利要求1所述的一种低损耗共面微波探针，其特征在于：所述主体(1)侧壁的内部设置有抗压层(10)，且抗压层(10)的内部均匀设置有呈同心圆...

【专利技术属性】
技术研发人员：华平壤，
申请(专利权)人：派尼尔科技天津有限公司，
类型：新型
国别省市：天津,12