【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】多棱柱状部件的加工装置及加工方法
本专利技术涉及硬脆性材料的加工装置,详细地说,涉及切断棱柱状部件并进行倒角的加工装置及加工方法,以及具备切断、磨削、研磨的功能的加工装置及加工方法。
技术介绍
对于本专利技术所涉及的被加工物亦即硬脆材料,例如存在通过在制造太阳能电池板的基体亦即硅晶片的工序中,从硅锭切取而得到的硅块。硅块因晶体构造的不同而存在单晶及多晶两个种类。以下,以截面形状为四边形的单晶及多晶的硅块的磨削、研磨为例进行说明,但本专利技术中的被加工物的截面形状并不限定于四边形,即使是由四角以上的偶数角构成的多棱柱状,也能够适当地加以应用。对于单晶硅块,将通过拉晶法制造出的圆柱形状的硅锭的两端表层部以与该硅锭的柱轴成直角、且相互平行的方式切断而形成平端面,然后,进一步,以使四个面分别成直角的方式切断除去圆柱表层部。此时,对四个面所成的四个角部以圆柱表层部的一部分作为圆弧面残留的方式进行加工(R面),被切断除去的面形成为四个平面部(F面)。对于多晶硅块,利用带锯或线锯将通过将熔融原料浇注至成型模而成型为立方体形状的硅锭的表层部切断除去,然后,进一步切断成截面为四边形 ...
【技术保护点】
1.一种加工装置,其是作为被加工物的多棱柱状部件的加工装置,所述加工装置的特征在于,具备切断机构,所述切断机构包括:一对线材,它们在表面固定有磨粒,并分别架设于多个辊;多个辊,它们张紧设置所述线材;以及线材驱动机构,其使所述线材在所述辊之间移动,所述切断机构将所述被加工物的角部切断来进行倒角。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2017.11.23 JP 2017-2252521.一种加工装置,其是作为被加工物的多棱柱状部件的加工装置,所述加工装置的特征在于,具备切断机构,所述切断机构包括:一对线材,它们在表面固定有磨粒,并分别架设于多个辊;多个辊,它们张紧设置所述线材;以及线材驱动机构,其使所述线材在所述辊之间移动,所述切断机构将所述被加工物的角部切断来进行倒角。2.一种加工装置,其是进行作为被加工物的多棱柱状部件的倒角加工、磨削加工以及研磨加工的加工装置,所述加工装置的特征在于,包括:加工单元,其进行所述被加工物的倒角加工、磨削加工以及研磨加工;输送单元,其固定所述被加工物并使所述被加工物相对于所述加工单元相对通过;测量单元,其测量所述被加工物的形状;以及控制单元,其基于由所述测量单元测量出的形状对所述加工单元以及所述输送单元的工作条件进行运算,所述加工单元包括:切断机构,其将所述被加工物的角部切断来进行倒角;磨削机构,其对平面部或者角部进行磨削,以使所述被加工物的形状处于公差内;以及研磨机构,其对所述磨削结束后的所述被加工物的平面部或者角部进行研磨而将存在于所述被加工物的表层的微裂纹除去,所述切断机构、所述磨削机构以及所述研磨机构彼此连续设置。3.根据权利要求2所述的加工装置,其特征在于,所述切断机构包括:一对线材,它们在表面固定有磨粒,并分别架设于多个辊;多个辊,它们张紧设置所述线材;以及线材驱动机构,其使所述线材在所述辊之间移动,所述磨削机构包括:一对砂轮部,它们在磨削用旋转圆盘的表面固定有磨粒;和砂轮驱动机构,其分别与该砂轮部连接,并使该砂轮部分别以磨削用旋转圆盘的平面中心为轴心进行旋转,所述研磨机构包括:一对刷部,它们在研磨用旋转圆盘的表面固定有刷毛材料,所述刷毛材料利用树脂固定了磨粒彼此;和刷驱动机构,其分别与该刷部连接,并使该刷部分别以研磨用旋转圆盘的平面中心为轴心进行旋转,由所述线材形成的一对切断区域、由所述砂轮部形成的一对磨削区域、以及由所述刷部形成的一对研磨区域分别以相互平行的方式配置。4.根据权利要求2所述的加工装置,其特征在于,还包括对所述输送单元夹持所述被加工物的位置进行调整的调整单元。5.一种多棱柱状部件的加工方法,其是利用包括加工单元、输送单元、测量单元以及控制单元的加工装置对多棱柱状部件进行加工的加工方法,所述多棱柱状部件的加工方法的特征在于,包括:利...
【专利技术属性】
技术研发人员:西尾壮一朗,涩谷纪仁,
申请(专利权)人:新东工业株式会社,
类型:发明
国别省市:日本,JP
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