光学测量装置及光学测量方法制造方法及图纸

技术编号:21712743 阅读:25 留言:0更新日期:2019-07-27 18:48
本发明专利技术提供一种光学测量装置及光学测量方法,可容易地去除在对象物的一部分中所测量的距离中可能产生的噪声。光学测量装置(100)具备:光源(10),发出光;光接收部(40),检测由对象物(TA)反射的反射光的光接收量;测量部(51),根据反射光的光接收量,测量从光学测量装置(100)至对象物(TA)为止的距离;以及检测部(52),检测反射光的每单位时间的光接收量小于阀值的对象物(TA)的一部分。

Optical Measuring Device and Optical Measuring Method

【技术实现步骤摘要】
光学测量装置及光学测量方法
本专利技术涉及一种光学测量装置及光学测量方法。
技术介绍
作为此种光学测定装置,已知有如下者,其具备:光接收部,接收从投光部所投射的光并输出对应于光接收量的信号;设定部件,设定用于检测测定对象物的边缘位置的阀值;以及边缘提取部件,将根据光接收部的输出信号所获得的光接收量分布与由设定部件所设定的阀值的交点的位置作为大概边缘位置来求出(参照专利文献1)。在此光学测定装置中,使用者一面观看监视装置的显示部,一面在光接收量分布的最高水平与最低水平之间设定阀值,由此将光接收量分布与阀值的交点位置作为大概边缘位置来求出。[现有技术文献][专利文献][专利文献1]日本专利特开2002-277207号公报
技术实现思路
[专利技术所要解决的问题]此处,当测量从装置至对象物为止的距离时,例如在对象物的端部的距离有时变成比实际的距离明显高的值(超越值)。在此情况下,装置的利用者恐存在有不小心使用到所测量的距离中产生的明显高的值、即噪声是与实际的距离不同的值的担忧。为了去除所测量的距离中产生的噪声,现有技术是事先设定针对光接收量的阀值,当测量到距离时,在来自对象物的反射光的光接收量低于此阀值的情况下,去除所测量到的距离。但是,除对象物的种类以外,反射光的光接收量也会根据距离的测量周期、装置或对象物移动时的移动速度等测量条件而大幅度变化。因此,在现有技术的方法中,必须针对每个对光接收量造成影响的测量条件设定阀值,而难以去除在对象物的端部所测量的距离中可能产生的噪声。因此,本专利技术的目的在于提供一种可容易地去除在对象物的一部分中所测量的距离中可能产生的噪声的光学测量装置及光学测量方法。[解决问题的技术手段]本专利技术的一实施方式的光学测量装置具备:光源,发出光;光接收部,检测由对象物反射的反射光的光接收量;测量部,根据反射光的光接收量,测量从光学测量装置至对象物为止的距离;以及检测部,检测反射光的每单位时间的光接收量小于阀值的对象物的一部分。根据此实施方式,得以检测反射光的每单位时间的光接收量小于阀值的对象物的一部分。此处,本专利技术的专利技术人发现每单位时间的光接收量与单纯的光接收量相比,因测量条件所引起的变化少,在每种对象物中大致为固定的值。因此,通过根据反射光的每单位时间的光接收量,而不针对每个测量条件设定阀值,可检测反射光的每单位时间的光接收量小于阀值的对象物的一部分,当检测到此对象物的一部分时,可去除所测量的距离。因此,可容易地去除在此对象物的一部分中所测量的距离中可能产生的噪声。在所述实施方式中,当检测部检测到对象物的一部分时,测量部也可以不测量距离。根据此实施方式,当检测部检测到对象物的一部分时,不测量距离。由此降低利用者使用对象物的一部分中的距离中可能产生的噪声的值的风险。在所述实施方式中,光包含多个波长成分,所述光学测量装置进一步具备有光学系统,所述光学系统使光产生沿着光轴方向的色差,并将产生了色差的光照射至对象物上,且将反射光聚光,光接收部可针对每个波长成分检测光接收量。根据此实施方式,使包含多个波长成分的光产生沿着光轴方向的色差,并将产生了色差的光照射至对象物上,且将由对象物反射的反射光聚光,从而可针对每个波长成分检测光接收量。由此,可容易地实现白色共焦方式的光学测量装置,所述光学测量装置能去除在对象物的一部分中所测量的距离中可能产生的噪声。在所述实施方式中,测量部也可以根据反射光的每个波长成分的光接收量分布中的峰值的光接收量来测量距离。根据此实施方式,根据反射光的每个波长成分的光接收量分布中的峰值的光接收量来测量距离。由此,在反射光的每个波长成分的光接收量分布中,可抑制峰值以外的波长成分对距离造成的影响,并根据焦点聚集于对象物的峰值的光接收量来测量距离。因此,可稳定且高精度地测量从光学测量装置至对象物为止的距离。在所述实施方式中,也可以进一步具备设定部,所述设定部在检测部未检测到对象物的一部分时,根据反射光的每单位时间的光接收量来设定阀值。根据此实施方式,在未检测到对象物的一部分时,根据反射光的每单位时间的光接收量来设定阀值。此处,本专利技术的专利技术人发现,对象物的一部分中的反射光的每单位时间的光接收量,在每种对象物的材料中大致固定,且相较于对象物的一部分以外的反射光的每单位时间的光接收量为十分小的值。因此,通过根据未检测到对象物的一部分时、即为对象物的一部分以外时的反射光的每单位时间的光接收量设定为阀值,并对此阀值与反射光的每单位时间的光接收量进行比较,由此可容易地检测对象物的一部分。在所述实施方式中,也可以是当检测部未检测到对象物的一部分时,设定部将反射光的每个波长成分的光接收量分布中的峰值的波长成分的每单位时间的光接收量的1/10设定为阀值,当反射光的每个波长成分的光接收量分布中的峰值的波长成分的每单位时间的光接收量小于阀值时,检测部可检测对象物的一部分。根据此实施方式,未检测到对象物的一部分时,将反射光的每个波长成分的光接收量分布中的峰值的波长成分的每单位时间的光接收量的1/10设定为阀值。另外,当每个波长成分的光接收量分布中的峰值的波长成分的每单位时间的光接收量小于阀值时,可检测对象物的一部分。此处,本专利技术的专利技术人发现在对象物的一部分的反射光的光接收量分布中,焦点聚集于对象物的一部分的峰值的波长成分的每单位时间的光接收量在每种对象物的材料中大致固定,在对象物的一部分以外的反射光的光接收量分布中,为比焦点聚集于此一部分以外的峰值的波长成分的每单位时间的光接收量的1/10小的值。因此,将未检测到对象物的一部分时、即为对象物的一部分以外时的反射光的光接收量分布中的峰值的波长成分的每单位时间的光接收量的1/10设定为阀值,并对此阀值与反射光的光接收量分布中的峰值的波长成分的每单位时间的光接收量进行比较,由此可更容易地检测对象物的一部分。另外,本专利技术的另一实施方式的光学测量方法是光学测量装置所使用的光学测量方法,其包括:光源发出光的步骤;光接收部检测由对象物反射的反射光的光接收量的步骤;测量部根据反射光的光接收量,测量从光学测量装置至对象物为止的距离的测量步骤;以及检测部检测反射光的每单位时间的光接收量小于阀值的对象物的一部分的步骤。根据此实施方式,根据反射光的每单位时间的光接收量,检测对象物的一部分。此处,本专利技术的专利技术人发现每单位时间的光接收量与单纯的光接收量相比,因测量条件所引起的变化较少,在每种对象物中大致为固定的值。因此,通过根据反射光的每单位时间的光接收量,而不针对每个测量条件设定阀值,可检测反射光的每单位时间的光接收量小于阀值的对象物的一部分,当检测到此对象物的一部分时,可去除所测量的距离。因此,可容易地去除在此对象物的一部分中所测量的距离中可能产生的噪声。在所述实施方式中,测量步骤也可以包括在检测对象物的一部分的步骤中,当检测部检测到对象物的一部分时,测量部不测量距离。根据此实施方式,当检测部检测到对象物的一部分时,不测量距离。由此降低利用者使用对象物的一部分中的距离中可能产生的噪声的值的风险。在所述实施方式中,也可以是光包含多个波长成分,所述光学测量方法进一步具备光学系统使光产生沿着光轴方向的色差,并将产生了色差的光照射至对象物上,且光学系统将反射光聚光的步骤,光接收部可针对每本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光学测量装置,其特征在于,包括:光源,发出光;光接收部,检测由对象物反射的反射光的光接收量;测量部,根据所述反射光的光接收量,测量从所述光学测量装置至所述对象物为止的距离;以及检测部,检测所述反射光的每单位时间的光接收量小于阀值的所述对象物的一部分。

【技术特征摘要】
2018.01.18 JP 2018-0065411.一种光学测量装置,其特征在于,包括:光源,发出光;光接收部,检测由对象物反射的反射光的光接收量;测量部,根据所述反射光的光接收量,测量从所述光学测量装置至所述对象物为止的距离;以及检测部,检测所述反射光的每单位时间的光接收量小于阀值的所述对象物的一部分。2.根据权利要求1所述的光学测量装置,其特征在于,当所述检测部检测到所述对象物的一部分时,所述测量部不测量所述距离。3.根据权利要求1或2所述的光学测量装置,其特征在于,所述光包含多个波长成分,所述光学测量装置还包括光学系统,所述光学系统使所述光产生沿着光轴方向的色差,并将产生了色差的光照射至所述对象物上,且将所述反射光聚光,所述光接收部能够针对每个所述波长成分检测光接收量。4.根据权利要求3所述的光学测量装置,其特征在于,所述测量部根据所述反射光的每个所述波长成分的光接收量分布中的峰值的光接收量来测量所述距离。5.根据权利要求3所述的光学测量装置,其特征在于,还包括设定部,所述设定部在所述检测部未检测所述对象物的一部分时,根据所述反射光的每单位时间的光接收量来设定所述阀值。6.根据权利要求5所述的光学测量装置,其特征在于,当所述检测部未检测到所述对象物的一部分时,所述设定部将所述反射光的每个所述波长成分的光接收量分布中的峰值的波长成分的每单位时间的光接收量的1/10设定为所述阀值,当所述反射光的每个所述波长成分的光接收量分布中的峰值的波长成分的每单位时间的光接收量小于所述阀值时,所述检测部检测所述对象物的一部分。7.一种光学测量方法,其是光学测量装置所使用的光学测量方法,其特征在于,包括...

【专利技术属性】
技术研发人员:梶井阳介的场贤一近藤智则
申请(专利权)人:欧姆龙株式会社
类型:发明
国别省市:日本,JP

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