一种线宽测量方法和线宽测量系统技术方案

本申请公开了一种线宽测量方法和线宽测量系统，所述线宽测量方法包括以下步骤：获取待测产品的工艺类型；根据所述待测产品的工艺类型对所述线宽测量机进行机差调整；采用机差调整后的线宽测量机对所述待测产品进行线宽测量。线宽测量机对不同工艺类型的待测产品进行线宽测量前都进行了相应的机差调整，及时消除机差对测量结果的影响，保证了不同工艺类型的待测产品的产险判断，提高了不同工艺类型的待测产品的品质。

A Line Width Measurement Method and Line Width Measurement System

【技术实现步骤摘要】
一种线宽测量方法和线宽测量系统
本申请涉及线宽测量机的
，尤其涉及一种线宽测量方法和线宽测量系统。
技术介绍
显示面板生产流程中，检测是一道不可缺少的程序，关系到最终产品的品质问题，其中尤以线宽(CriticalDimension，CD)量测更为重要。显示面板的产量过大，单一的线宽测量机不能满足需求，两台或多台以上的机台则不可避免的存在机差。一般在线宽测量过程中，同一个线宽测量机包括多个不同的测量工序，同一个测量工序对应有多种不同工艺类型的产品，对于不同工艺类型的产品，同一个测量工序建立的测量方法都是直接参考标准产品测量时的参数。然而，线宽测量机的同一测量工序涉及到的工艺类型不同，外加实际图形的量测差异，导致机台间不能及时消除机差，影响产险判断，造成产品的品质异常。因此，急需对线宽测量机的测量方法进行优化，以降低机差因素在线宽测量中的影响。
技术实现思路
本申请实施例提供一种线宽测量方法和线宽测量系统，以解决线宽测量机在同一测量条件下对不同工艺类型的产品进行线宽测量导致的机差较大、影响产险判断以及造成产品的品质异常的问题。本申请实施例提供了一种线宽测量方法，包括以下步骤：获取待测产品的工艺类型；根据所述待测产品的工艺类型对所述线宽测量机进行机差调整；采用机差调整后的线宽测量机对所述待测产品进行线宽测量。进一步的，所述根据所述待测产品的工艺类型对所述线宽测量机进行机差调整，包括以下步骤：获取与所述待测产品的工艺类型相同的测试产品；设置所述线宽测量机的初始测量条件；采用所述线宽测量机对所述测试产品进行测量，并根据测量结果对所述线宽测量机进行机差调整。进一步的，所述设置所述线宽测量机的初始测量条件，包括以下步骤：检测所述线宽测量机中是否预存有测量条件；若是，则获取所述测量条件，并将所述测量条件作为初始测量条件设置所述线宽测量机；若否，则获取所述线宽测量机在不同测量条件下对同一测试产品进行测量的测量数据，选取差值最小的两个测量数据，并将选取的任意一个测量数据所对应的测量条件作为初始测量条件来设置所述线宽测量机。可选的，所述测量条件包括光源类型、光源强度以及聚焦方式。可选的，所述线宽测量机的状态包括脱机状态和联机状态；所述采用所述线宽测量机对所述测试产品进行测量，并根据测量结果对所述线宽测量机进行机差调整，包括以下步骤：采用脱机状态下的线宽测量机对所述测试产品进行循环测量，并在每次测量后根据测量结果对所述线宽测量机进行机差调整，直到所述测量结果位于误差范围内；将所述线宽测量机的状态转换为联机状态，采用联机状态下的线宽测量机对所述测试产品进行测量，并判断测量结果是否位于误差范围内；若是，则完成所述线宽测量机的机差调整；若否，则调整所述初始测量条件，将所述线宽测量机的状态转换为脱机状态，重新对所述线宽测量机进行机差调整。进一步的，所述在每次测量后根据测量结果对所述线宽测量机进行机差调整，包括以下步骤：采用标准测量机对所述测试产品进行测量，获得标准测量数据；在每次测量后计算所述测量结果与所述标准测量数据之间的差值，并根据所述差值对所述线宽测量机进行机差调整。进一步的，所述根据所述差值对所述线宽测量机进行机差调整，包括以下步骤：判断所述差值是否位于预设阈值范围内；若是，则完成所述线宽测量机的机差调整；若否，则根据所述差值对所述线宽测量机进行机差调整。可选的，所述线宽测量方法还包括以下步骤：获取所述待测产品的测量数据；判断所述待测产品的测量数据是否在误差范围内；若是，则采用所述线宽测量机继续对相同工艺类型的其他待测产品进行测量；若否，则重新对所述线宽测量机进行机差调整，直到所述测量数据位于误差范围内。可选的，所述测试产品的数量至少为两个。本申请实施例还提供了一种线宽测量系统，能够实现上述线宽测量方法的所有流程，所述线宽测量系统包括：工艺类型获取模块，用于获取待测产品的工艺类型；机差调整模块，用于根据所述待测产品的工艺类型对所述线宽测量机进行机差调整；线宽测量模块，用于采用机差调整后的线宽测量机对所述待测产品进行线宽测量。本申请的有益效果为：本申请中，根据待测产品的工艺类型对线宽测量机进行机差调整，使得线宽测量机对不同工艺类型的待测产品进行线宽测量前都进行了相应的机差调整，避免了不同工艺类型的待测产品采用相同的测量条件测量时因为不同膜层的灰阶不同引起的机差问题，及时消除了机差对测量结果的影响，保证了不同工艺类型的待测产品的产险判断，提高了不同工艺类型的待测产品的品质。附图说明下面结合附图，通过对本申请的具体实施方式详细描述，将使本申请的技术方案及其它有益效果显而易见。图1为本申请实施例提供的一种线宽测量方法的流程示意框图；图2为本申请实施例提供的另一种线宽测量方法的流程示意框图；图3为本申请实施例提供的一种线宽测量系统的示意图。具体实施方式这里所公开的具体结构和功能细节仅仅是代表性的，并且是用于描述本申请的示例性实施例的目的。但是本申请可以通过许多替换形式来具体实现，并且不应当被解释成仅仅受限于这里所阐述的实施例。在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“横向”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本申请的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。另外，术语“包括”及其任何变形，意图在于覆盖不排他的包含。在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。这里所使用的术语仅仅是为了描述具体实施例而不意图限制示例性实施例。除非上下文明确地另有所指，否则这里所使用的单数形式“一个”、“一项”还意图包括复数。还应当理解的是，这里所使用的术语“包括”和/或“包含”规定所陈述的特征、整数、步骤、操作、单元和/或组件的存在，而不排除存在或添加一个或更多其他特征、整数、步骤、操作、单元、组件和/或其组合。下面结合附图和实施例对本申请作进一步说明。如图1所示，本申请实施例提供了一种线宽测量方法，包括以下步骤：S101：获取待测产品的工艺类型。具体的，待测产品包括设置有信号走线的基板，不同的待测产品中的信号走线的制作工艺类型以及线宽都存在差异，在线宽测量前会对根据工艺类型对待测产品分类。S102：根据待测产品的工艺类型对线宽测量机进行机差调整。具体的，线宽包括信号走线的宽度，也包括相邻的两条信号走线之间的间距。对每一种工艺类型的待测产品，在测量线宽之前都需要对线宽测量机进行机差调整，且线宽测量机的台数本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种线宽测量方法，其特征在于，包括以下步骤：获取待测产品的工艺类型；根据所述待测产品的工艺类型对所述线宽测量机进行机差调整；采用机差调整后的线宽测量机对所述待测产品进行线宽测量。

【技术特征摘要】
1.一种线宽测量方法，其特征在于，包括以下步骤：获取待测产品的工艺类型；根据所述待测产品的工艺类型对所述线宽测量机进行机差调整；采用机差调整后的线宽测量机对所述待测产品进行线宽测量。2.如权利要求1所述的线宽测量方法，其特征在于，所述根据所述待测产品的工艺类型对所述线宽测量机进行机差调整，包括以下步骤：获取与所述待测产品的工艺类型相同的测试产品；设置所述线宽测量机的初始测量条件；采用所述线宽测量机对所述测试产品进行测量，并根据测量结果对所述线宽测量机进行机差调整。3.如权利要求2所述的线宽测量方法，其特征在于，所述设置所述线宽测量机的初始测量条件，包括以下步骤：检测所述线宽测量机中是否预存有测量条件；若是，则获取所述测量条件，并将所述测量条件作为初始测量条件设置所述线宽测量机；若否，则获取所述线宽测量机在不同测量条件下对同一测试产品进行测量的测量数据，选取差值最小的两个测量数据，并将选取的任意一个测量数据所对应的测量条件作为初始测量条件来设置所述线宽测量机。4.如权利要求3所述的线宽测量方法，其特征在于，所述测量条件包括光源类型、光源强度以及聚焦方式。5.如权利要求2所述的线宽测量方法，其特征在于，所述线宽测量机的状态包括脱机状态和联机状态；所述采用所述线宽测量机对所述测试产品进行测量，并根据测量结果对所述线宽测量机进行机差调整，包括以下步骤：采用脱机状态下的线宽测量机对所述测试产品进行循环测量，并在每次测量后根据测量结果对所述线宽测量机进行机差调整，直到所述测量结果位于误差范围内；将所述线宽测量机的状态转换为联机状态，采用联机状态下的线宽测量机对所述测试产...

【专利技术属性】
技术研发人员：曾赞廷，褚忠涛，
申请(专利权)人：深圳市华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44