【技术实现步骤摘要】
一种低噪声的激光外差干涉光路系统
本技术涉及一种光路系统，具体的说，是一种基于多个声光移频器的低噪声的激光外差干涉光路系统，属于激光干涉测量领域。
技术介绍
激光干涉测量技术由于具有非接触性、隐蔽性、精确性和抗干扰性的特点，被广泛应用于振动测量、速度测量、科学研究与试验等领域，而光路系统是激光干涉测量系统最重要的组成部分。激光干涉测量系统按照原理可以分为零差和外差两大类，二者在光路系统上具有很大的区别。零差系统的光路结构与传统的干涉仪类似，没有引入频率偏移，通过测量干涉信号的相位变化直接对目标物表面的振动信息进行测量。而外差系统中存在移频器件，通过测量由多普勒效应引起的频率偏移量来对振动信息进行测量。与零差方式相比，外差探测的方式能测量出零差探测的方式无法探测出的振动方向信息，并具有更低的噪声和更强的抗干扰性，因此外差干涉光路系统一直是本领域内的研究重点。在外差光路系统中通常将声光移频器作为移频器件。声光移频器具有驱动功率低，频移量高，频率稳定，占用空间小的特点，与外差干涉光路的要求十分契合。现有外差干涉光路系统均以马赫曾德干涉仪为基础，如中国专利文献CN2010...
【技术保护点】
1.一种低噪声的激光外差干涉光路系统，其特征在于：包括激光器（1）、第一偏振分光棱镜（2）、第一声光移频器（3）、第一平面反射镜（4）、第二偏振分光棱镜（5）、1/4玻片（6）、激光收发天线（7）、第二声光移频器（8）、第三声光移频器（9）、第二平面反射镜（10）、第三平面反射镜（11）、第三偏振分光棱镜（12）、第四偏振分光棱镜（13）、第一检偏器（14）、第二检偏器（15）、第一探测器（16）和第二探测器（17），激光器（1）发出激光经第一偏振分光棱镜（2）进行分光，透射光形成第一光束（18）作为测量光，反射光形成第二光束（19）作为参考光；第一光束（18）经过第一声光...
【技术特征摘要】
1.一种低噪声的激光外差干涉光路系统，其特征在于：包括激光器（1）、第一偏振分光棱镜（2）、第一声光移频器（3）、第一平面反射镜（4）、第二偏振分光棱镜（5）、1/4玻片（6）、激光收发天线（7）、第二声光移频器（8）、第三声光移频器（9）、第二平面反射镜（10）、第三平面反射镜（11）、第三偏振分光棱镜（12）、第四偏振分光棱镜（13）、第一检偏器（14）、第二检偏器（15）、第一探测器（16）和第二探测器（17），激光器（1）发出激光经第一偏振分光棱镜（2）进行分光，透射光形成第一光束（18）作为测量光，反射光形成第二光束（19）作为参考光；第一光束（18）经过第一声光移频器（3）发生衍射，零级和一级衍射光为有用光束，其中零级衍射光传播方向没有改变，依然视为第一光束（18），一级衍射光形成第一衍射光束（20）；第一衍射光束（20）经第一平面反射镜（4）反射后，入射到第三偏振分光棱镜（12），光束传播方向与第一光束（18）垂直；第一光束（18）继续传播，经过第二偏振分光棱镜（5）和1/4玻片（6）后，入射到收发天线（7），发射到待测目标物处；由目标物反射的激光被收发天线（7）接收，沿与第一光束（18）相反的方向传播，在第二偏振分光棱镜（5）处发生反射，入射到第四偏振分光棱镜（13），此时其传播方向与第一光束方向垂直；第二光束（19）作为参考光，首先经过第二声光移频器（8）产生移频，其中的负一级衍射光为有用信号，继续作为第二光束入射到第三声光移频器（9），经第三声光移频器（9）后，其零级衍射...
【专利技术属性】
技术研发人员：倪海峰，丁志鸿，陶小凯，刘凯，王树伦，赵寰，陈乃澍，
申请(专利权)人：山东神戎电子股份有限公司，
类型：新型
国别省市：山东,37
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