一种抛光片烘干装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开一种抛光片烘干装置，包括安装在底座上的循环风干装置，所述循环风干装置包括热风机、输气管道、第一吸风机和干燥箱；所述热风机一侧连接输气管道，输气管道下方连接有若干加压泵，每组加压泵下方连接烘干箱，输气管道与第一吸风机连接，第一吸风机通过输气管道与干燥箱连接，干燥箱通过输气管道与热风机连接；所述烘干箱内设有用于转动抛光片的传动机构。本实用新型专利技术中：循环风干装置对热风机产生的热风进行循环利用避免资源浪费；输气管道下设置的若干烘干箱，烘干箱之间相互独立工作互不影响，能保证抛光片的烘干效果；所述烘干箱内设有用于转动抛光片的传动机构使得抛光片在转动时不会相互挤压碰撞保证了抛光片的成品质量。

A Drying Device for Polishing Wafers

【技术实现步骤摘要】
一种抛光片烘干装置
本技术涉及烘干
，具体涉及一种抛光片烘干装置。
技术介绍
抛光片的基本制作步骤是通过混料、压制及固化等步骤制成。抛光片在实际生产过程中，是批量进行生产，抛光片分不同批次生产出来，抛光片加工完毕后需要使用超声波清洗机进行表面污渍处理，然后进行烘干，烘干的目的是提高抛光片的强度和防锈。传统的烘干工艺是将加工清洗后的抛光片放进恒温的烘干房内进行烘干或者是将抛光片放在烘干箱内转动的烘干架上用高压气流设备将抛光片上的水分吹走；在烘干房内进行烘干时，由于抛光片是分不同批次生产加工的，如果频繁进出烘干房会对里面的温度和湿度造成影响，进而影响抛光片的烘干效果，而且烘干房面积大，保持恒温的话需要持续不断对烘干房进行供热，浪费电能，另外大部分烘干房没有采用高压气流设备，烘干用时过长，效果不好；采用高压气流设备进行烘干时效果比较好，但是烘干架在转动时，抛光片相互间容易挤压、碰撞造成残次品。所以当下有必要设计一种结构稳定、烘干效果好和节约资源的抛光片烘干装置。
技术实现思路
针对上述问题，本技术的主要目的在于设计一种抛光片烘干装置。为了实现上述目的本技术采用如下技术方案：一种抛光片烘干装置，包括安装在底座上的循环风干装置，所述循环风干装置包括热风机、输气管道、第一吸风机和第一干燥箱；所述热风机一侧连接输气管道，输气管道下方连接有若干加压泵，每组加压泵下方连接烘干箱，输气管道末端与第一吸风机连接，第一吸风机出风口通过输气管道与第一干燥箱连接，第一干燥箱出风口通过输气管道与热风机连接；所述烘干箱内设有用于转动抛光片的传动机构。所优选的，述传动机构包括电机、固定板和用于放置抛光片的挂架；所述电机设置在底座上，电机转动轴穿过烘干箱底部与固定板连接，固定板上连接有两组对称的挂架，挂架上均匀分布有若干挂杆，挂杆上套设有抛光片，挂杆上还设有用于固定抛光片的固定装置。优选的，所述固定装置包括定位板和螺帽；所述定位板固定设置在挂杆上，定位板朝烘干箱内壁一侧的挂杆用于套设抛光片，抛光片一侧设有用于锁紧抛光片的螺帽，螺帽与挂杆螺纹连接。优选的，所述烘干箱一侧连接有第二吸风机，第二吸风机上方连接有第二干燥箱，第二干燥箱与输气管道连接。优选的，所述烘干箱顶部设有吹风罩，吹风罩与加压泵连接。优选的，所述输气管道外设有保温层。本技术的有益效果在于：循环风干装置对热风机产生的热风进行循环利用避免资源浪费；输气管道下设置的若干烘干箱，烘干箱之间相互独立分开工作互不影响，能保证抛光片的烘干效果；所述烘干箱内设有用于转动抛光片的传动机构使得抛光片在转动时不会相互挤压碰撞保证了抛光片的成品质量。附图说明图1为本技术的主要结构视图；图2为烘干箱的内部结构视图；图3为图2中A的放大视图；图中：1热风机、2输气管道、3第一吸风机、4第一干燥箱、5加压泵、6烘干箱、7电机、8固定板、9抛光片、10挂架、11底座、12挂杆、13定位板、14螺帽、15第二吸风机、16第二干燥箱、17吹风罩、18保温层。具体实施方式下面结合附图对本技术进行详细描述：参照图1至图3，一种抛光片烘干装置，包括安装在底座11上的循环风干装置，所述循环风干装置包括热风机1、输气管道2、第一吸风机3和第一干燥箱4；所述热风机1一侧连接输气管道2，输气管道2下方连接有若干加压泵5，每组加压泵5下方连接烘干箱6，输气管道2末端与第一吸风机3连接，第一吸风机3出风口通过输气管道2与第一干燥箱4连接，第一干燥箱4出风口通过输气管道2与热风机1连接；所述烘干箱6内设有用于转动抛光片的传动机构。所述传动机构包括电机7、固定板8和用于放置抛光片9的挂架10；所述电机7设置在底座11上，电机7转动轴穿过烘干箱6底部与固定板8连接，固定板8上连接有两组对称的挂架10，挂架10上均匀分布有若干挂杆12，挂杆12上套设有抛光片9，挂杆12上还设有用于固定抛光片9的固定装置。所述固定装置包括定位板13和螺帽14；所述定位板13固定设置在挂杆12上，定位板13朝烘干箱6内壁一侧的挂杆12用于套设抛光9片，抛光片9一侧设有用于锁紧抛光片9的螺帽14，螺帽14与挂杆12螺纹连接。所述烘干箱6一侧连接有第二吸风机15，第二吸风机15上方连接有第二干燥箱16，第二干燥箱16与输气管道2连接。所述烘干箱6顶部设有吹风罩17，吹风罩17与加压泵5连接。所述输气管道2外设有保温层18。本技术的工作原理：烘干时将抛光片9放置在烘干箱内6，不同批次的抛光片9放置在不同的烘干箱6内，热风机1通过输气管道2为烘干箱6提供热风，加压泵5把输气管道2内的热风进行加压，加压后的热风通过吹风罩17对抛光片9进行高压风干，第二吸风机15将烘干箱6内的热气排到第二干燥箱16内进行干燥，干燥后的气体重新排到输气管道2内重新利用，第一吸风机3将热风排到第一干燥箱4内进行二次干燥，干燥后的气体进入热风机1内重新加热循环利用。以上实施例仅用以说明本技术的技术方案而非限制，本领域普通技术人员对本技术的技术方案所做的其他修改或者等同替换，只要不脱离本技术技术方案的精神和范围，均应涵盖在本技术的权利要求范围当中。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种抛光片烘干装置，其特征在于：包括安装在底座上的循环风干装置，所述循环风干装置包括热风机、输气管道、第一吸风机和第一干燥箱；所述热风机一侧连接输气管道，输气管道下方连接有若干加压泵，每组加压泵下方连接烘干箱，输气管道末端与第一吸风机连接，第一吸风机出风口通过输气管道与第一干燥箱连接，第一干燥箱出风口通过输气管道与热风机连接；所述烘干箱内设有用于转动抛光片的传动机构。

【技术特征摘要】
1.一种抛光片烘干装置，其特征在于：包括安装在底座上的循环风干装置，所述循环风干装置包括热风机、输气管道、第一吸风机和第一干燥箱；所述热风机一侧连接输气管道，输气管道下方连接有若干加压泵，每组加压泵下方连接烘干箱，输气管道末端与第一吸风机连接，第一吸风机出风口通过输气管道与第一干燥箱连接，第一干燥箱出风口通过输气管道与热风机连接；所述烘干箱内设有用于转动抛光片的传动机构。2.根据权利要求1所述一种抛光片烘干装置，其特征在于：所述传动机构包括电机、固定板和用于放置抛光片的挂架；所述电机设置在底座上，电机转动轴穿过烘干箱底部与固定板连接，固定板上连接有两组对称的挂架，挂架上均匀分布有若干挂杆，...

【专利技术属性】
技术研发人员：戚振国，
申请(专利权)人：郑州祺洋工贸有限公司，
类型：新型
国别省市：河南,41