双光栅滑动结构照明成像制造技术

技术编号:21684920 阅读:75 留言:0更新日期:2019-07-24 14:21
本公开涉及双光栅滑动结构照明成像。本公开提供了结构照明显微术(SIM)成像系统。在一组实现方式中,SIM成像系统可以被实现为多臂SIM成像系统,由此,系统的每个臂包括光发射器和具有相对于系统的光轴的特定的固定取向的分束器(例如透射式衍射光栅)。在第二组实现方式中,SIM成像系统可以被实现为多分束器滑动SIM成像系统,其中一个线性运动台安装有具有相对于系统的光轴的相应的固定取向的多个分束器。在第三组实现方式中,SIM成像系统可以被实现为图样角度空间选择SIM成像系统,由此,固定的二维衍射光栅与空间滤波器轮结合来使用,以在样品上投射一维条纹图样。

Illumination imaging of double grating sliding structure

【技术实现步骤摘要】
双光栅滑动结构照明成像相关申请的交叉引用本申请要求2018年1月16日提交的且标题为“DualOpticalGratingSlideStructuredIlluminationImaging”的美国临时专利申请号62/618,057以及2018年3月20日提交的且标题为“DualOpticalGratingSlideStructuredIlluminationImaging”的荷兰专利申请号N2020619的优先权。上面提到的申请中的每个的全部内容通过引用被并入本文。背景结构照明显微术(SIM)描述了一种技术,通过该技术,空间结构化(即,图样化)的光可用于对样品成像,以将显微镜的横向分辨率提高两倍或更多倍。在某些情况下,在样品的成像期间,在各个图样相位(例如0°、120°和240°)下采集样品的条纹图样的三个图像,使得样品上的每个位置暴露于一定范围的照明强度,该过程通过绕光轴将图样取向旋转到3个单独的角度(例如0°、60°和120°)来重复。所捕获的图像(例如,九个图像)可以被组合成具有扩展的空间频率带宽的单个图像,该图像可以被再转换到真实空间中以生成具有比由传统显微镜捕获的图像更高分本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种结构照明成像系统,包括:光发射器,其发射光;线性运动台,其安装有第一分束器和第二分束器,其中所述第一分束器分离由所述光发射器发射的光以将第一多个条纹投射在样品的平面上,其中所述第二分束器分离由所述光发射器发射的光以将第二多个条纹投射在所述样品的平面上;以及图像传感器,其收集由所述样品发射的光。

【技术特征摘要】
2018.03.20 NL N2020619;2018.01.16 US 62/618,0571.一种结构照明成像系统,包括:光发射器,其发射光;线性运动台,其安装有第一分束器和第二分束器,其中所述第一分束器分离由所述光发射器发射的光以将第一多个条纹投射在样品的平面上,其中所述第二分束器分离由所述光发射器发射的光以将第二多个条纹投射在所述样品的平面上;以及图像传感器,其收集由所述样品发射的光。2.根据权利要求1所述的结构照明成像系统,其中所述线性运动台是一维线性运动台,其中所述线性运动台沿着一个维度平移以将所述第一分束器和所述第二分束器中的每一个光学地耦合到所述光发射器,其中所述第一分束器沿着所述一个维度与所述第二分束器相邻。3.根据权利要求2所述的结构照明成像系统,其中所述第一分束器包括第一透射式衍射光栅,以及其中所述第二分束器包括第二透射式衍射光栅。4.根据权利要求3所述的结构照明成像系统,其中所述第一衍射光栅和所述第二衍射光栅从所述一个维度成角度地偏移。5.根据权利要求4所述的结构照明系统,其中所述第一衍射光栅和所述第二衍射光栅被集成到安装在所述线性运动台上的单个光学元件中。6.根据权利要求5所述的结构照明系统,其中所述单个光学元件包括被图样化有所述第一衍射光栅的第一侧和与所述第一侧相邻的被图样化有所述第二衍射光栅的第二侧。7.根据权利要求4所述的结构照明成像系统,其中所述第一衍射光栅和所述第二衍射光栅从所述一个维度成角度地偏移大约±45度。8.根据权利要求7所述的结构照明成像系统,其中所述第一多个条纹在所述样品平面上从所述第二多个条纹成角度地偏移约90度。9.根据权利要求8所述的结构照明系统,其中所述样品包括以矩形阵列或六边形阵列有规则地图样化的多个特征。10.根据权利要求4所述的结构照明系统,还包括:用于阻挡由所述第一衍射光栅和所述第二衍射光栅中的每一个发射的零级光的一个或更多个光束阻挡器。11.根据权利要求4所述的结构照明系统,还包括:将所述第一多个条纹和所述第二多个条纹中的每个投射在所述样品上的物镜。12.根据权利要求11所述的结构照明系统,还包括:在所述线性运动台和所述物镜之间的光路中的投影透镜,其中所述投影透镜将所述第一衍射光栅和所述第二衍射中的每一个的傅立叶变换投射到所述物镜的入射光瞳中。13.根据权利要求3所述的结构照明系统,还包括:在安装在所述线性运动台上的部件上形成的对准图样,其中所述对准图样分离由所述光发射器发射的光以将图样投射在所述样品的平面上以用于成像对准。14.根据权利要求13所述...

【专利技术属性】
技术研发人员:彼得·克拉克·纽曼达尼洛·孔代洛吕少平西蒙·普林斯莫瑞克·C·萧斯坦利·S·洪亚伦·刘G·M·斯金纳杰伦特·温·埃文斯
申请(专利权)人:伊鲁米那股份有限公司伊鲁米纳剑桥有限公司
类型:发明
国别省市:美国,US

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