多级干式真空泵制造技术

一种多级干式真空泵，包括具有泵室的外壳，设在每个泵室中的转子，与每个转子连接的轴，以及与轴连接的旋转驱动装置。多级干式真空泵包括中间排气管，其一端连接到除了最下游侧以外的泵室的出口，其另一端开放到外部；以及设在中间排气管中的第一流体流动控制装置，用于在连接中间排气管的泵室的出口侧的流体压力低于中间排气管另一端的外部流体压力时关闭中间排气管，而当连接中间排气管的泵室的出口侧的流体压力等于或高于中间排气管另一端的外部流体压力时打开中间排气管。（*该技术在2014年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种多级干式真空泵（１），包括：　　　　外壳（２），外壳具有主入口（３）和主出口（４）以及多个泵室（８，９，１０，１１），多个泵室顺次连接并在空间上连接主入口与主出口；　　　　多个转子（１２ａ，１３ａ，１４ａ，１５ａ），每个转子可旋转地设在每个泵室中，用于通过旋转将在泵室中形成的换气空间（Ｓ）内的流体输送到下游；　　　　轴（１６ａ），与每个泵室中的每个转子连接，用于使每个转子同步旋转；以及　　　　与轴连接的旋转驱动装置（２０），　　　　其特征在于，　　　　多级干式真空泵包括压力调节装置，用于调节泵室的流体压力，使其等于或低于大气压。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：内藤喜裕，
申请(专利权)人：爱信精机株式会社，
类型：实用新型
国别省市：JP[日本]