显示面板及其制造方法技术

提供了显示面板及其制造方法，所述显示面板包括：第一导电层，包括顺序地堆叠的第一层、第二层和第三层；以及第二导电层，在第一导电层上，并与第三层接触。第一层包括第一金属。第二层包括处于第一组成比的第一金属和氧。第三层包括处于第二组成比的第一金属和氧。第二组成比小于第一组成比。第三层的电导率比第二层的电导率高。第一组成比是第二层中的第一金属的原子百分比与氧的原子百分比的比值。第二组成比是第三层中的第一金属的原子百分比与氧的原子百分比的比值。

Display panel and its manufacturing method

【技术实现步骤摘要】
显示面板及其制造方法于2017年12月5日在韩国知识产权局提交的专利技术名称为“DisplayPanelandManufacturingMethodThereof(显示面板及其制造方法)”的第10-2017-0166158号韩国专利申请通过引用全部包含于此。
实施例涉及显示面板及其制造方法。
技术介绍
诸如液晶显示器(LCD)和有机发光二极管(OLED)显示器的显示装置包括显示面板和多条信号线，显示面板包括显示图像的多个像素。每个像素可以包括接收数据信号的像素电极，并且像素电极可以连接到至少一个晶体管以接收数据信号。在
技术介绍
部分中公开的上述信息仅用于增强对专利技术的
技术介绍
的理解，因此，它可以包含不形成对本领域普通技术人员而言在本国已知的现有技术的信息。
技术实现思路
实施例针对一种显示面板，所述显示面板包括：第一导电层，包括顺序地堆叠的第一层、第二层和第三层；以及第二导电层，在第一导电层上，并与第三层接触。第一层包括第一金属。第二层包括处于第一组成比的第一金属和氧。第三层包括处于第二组成比的第一金属和氧。第一组成比与第二组成比彼此不同，并且第三层的电导率比第二层的电导率高。第一组成比是第二层中的第一金属的原子百分比与氧的原子百分比的比值。第二组成比是第三层中的第一金属的原子百分比与氧的原子百分比的比值。第二组成比小于第一组成比。第一组成比可以大于1.0且小于或等于2.0。第二组成比可以等于或大于0.8且小于或等于1.0。第二层可以是非晶的，并且第三层可以是结晶的。包括在第一层中的氧的原子百分比可以低于包括在第二层中的氧的原子百分比低。显示面板还可以包括：基底，位于第一导电层下；以及下层，位于基底与第一导电层之间。第一导电层还可以包括位于第一层下的第四层和第五层。第五层可以位于第一层与第四层之间。第五层包括与第一金属不同的第二金属。第四层可以包括第一金属。第四层可以接触下层。包括在第一层中的氧的原子百分比可以介于包括在第二层中的氧的原子百分比与包括在第四层中的氧的原子百分比之间。第五层的厚度可以比第一层或第四层的厚度大。第一金属可以是钛(Ti)。显示面板还可以包括：绝缘层，位于第一导电层与第二导电层之间。绝缘层可以包括位于第一导电层上的接触孔。第三层可以包括第一部分和第二部分，第一部分与接触孔对应地定位并且不与绝缘层叠置，第二部分连接到第一部分并位于绝缘层与第二层之间。第二部分的厚度可以等于或小于第一部分的厚度。第二部分的厚度可以相对于距第一部分的距离而逐渐地减小。显示面板还可以包括位于第一导电层与第二导电层之间的绝缘层。绝缘层可以包括位于第一导电层上的接触孔。第三层可以位于与接触孔对应的区域处。显示面板还可以包括：基底，位于第一导电层下；有源层，位于基底与第一导电层之间，并包括半导体材料；至少一个第一绝缘层，位于有源层与第一导电层之间；以及第二绝缘层，位于第一导电层与第二导电层之间。第一导电层可以通过包括在至少一个第一绝缘层中的第一接触孔电连接到有源层。第二导电层可以通过包括在第二绝缘层中的第二接触孔接触第三层。实施例还针对一种显示面板，所述显示面板包括：第一导电层，包括第一层和设置在第一层上的第三层；第二导电层，位于第一导电层上；以及有机绝缘层，位于第一导电层与第二导电层之间。第一导电层还可以包括位于第一层与第三层之间的第二层。第一层可以包括第一金属。第二层和第三层可以包括第一金属和氧。第二层可以是非晶的，并且第三层可以是结晶的。作为包括在第三层中的第一金属的原子百分比与氧的原子百分比的比值的第二组成比小于作为包括在第二层中的第一金属的原子百分比与氧的原子百分比的比值的第一组成比。第一组成比可以大于1.0且小于或等于2.0。第二组成比可以等于或大于0.8且小于或等于1.0。有机绝缘层包括接触孔。第三层可以包括第一部分和第二部分。第一部分可以与接触孔对应地定位而不与有机绝缘层叠置。第二部分可以连接到第一部分并位于有机绝缘层与第二层之间。第二部分的厚度可以小于第一部分的厚度。第二部分的厚度可以相对于距第一部分的距离而逐渐减小。实施例还针对一种显示面板，所述显示面板包括：第一导电层，包括顺序堆叠的第一层、第二层和第三层；以及第二导电层，位于第一导电层上，第二导电层接触第三层。第一层包括钛。第二层和第三层包括钛和氧。作为包括在第二层中的钛的原子百分比与氧的原子百分比的比值的第一组成比大于1.0。作为包括在第三层中的钛的原子百分比与氧的原子百分比的比值的第二组成比小于或等于1.0。实施例还针对一种制造显示面板的方法，所述方法包括：在基底上形成包括第一绝缘层的多个层；在第一绝缘层上顺序地堆叠包括第一金属的第一层、第二层和第三层；在作为形成在第三层上的氧化层的第四层上涂覆有机材料，并执行光处理以在第四层上形成具有接触孔的钝化层；以及在氮气(N2)气氛中和预定温度下使钝化层固化以形成结晶的并且设置在第四层上的第五层，第四层是非晶的。附图说明通过参照附图详细描述示例性实施例，对于本领域技术人员而言，特征将变得明显，在附图中：图1示出了根据示例性实施例的显示装置的示意性平面布局图，图2示出了设置在根据示例性实施例的显示装置的显示区域中的像素周围的剖视图，图3示出了根据示例性实施例的显示装置的外围区域的剖视图，图4示出了示出根据示例性实施例的显示装置的导电层的元素含量比(原子百分比)变化的曲线图，图5示出了根据示例性实施例的显示装置的导电层的剖视图，图6示出了通过使用傅里叶变换对图5中示出的图像的AA区域进行过滤的折射照片，图7示出了示出根据示例性实施例的导电层之间的接触电阻与根据对比示例的导电层之间的接触电阻的曲线图，以及图8、图9和图10是根据对应的示例性实施例的显示装置的剖视图。具体实施方式现在将在下文中参照附图更充分地描述示例实施例；然而，它们可以以不同的形式体现，并且不应该被解释为限于这里阐述的实施例。相反，提供这些实施例，使得本公开将是彻底的和完整的，并且将向本领域技术人员充分传达示例性实施方式。在附图中，为了示出的清楚，可以夸大层和区域的尺寸。还将理解的是，当层或元件被称为“在”另一层或基底“上”时，该层或元件可以直接在所述另一层或基底上，或者也可以存在中间层。此外，将理解的是，当层被称为“在”另一层“下”时，该层可以直接在下面，或者也可以存在一个或更多个中间层。此外，还将理解的是，当层被称为“在”两个层“之间”时，该层可以是所述两个层之间的唯一层，或者也可以存在一个或更多个中间层。同样的附图标记始终表示同样的元件。此外，在说明书中，词语“在……上”或“在……上方”意味着位于对象部分上或下方，并且不一定意味着位于对象部分的基于重力方向的上侧上。参照图1，根据示例性实施例的显示面板1000包括基底110，在平面图中，基底110包括作为显示图像的区域的显示区域DA和设置在显示区域DA外部的外围区域PA。外围区域PA可以不显示图像，或者可以根据需要而包括显示图像的区域。基底110可以包括诸如塑料、金属薄膜和薄玻璃膜的绝缘材料。基底110可以是柔性基底或者可以是基本上刚性的基底。基底110可以包括单个层或多个层。当基底110包括多个层时，基底110可以包括包含诸如聚酰亚胺的聚合物的至少一个基体层以及包含氧化硅本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种显示面板，所述显示面板包括：第一导电层，包括顺序堆叠的第一层、第二层和第三层；以及第二导电层，设置在所述第一导电层上，并与所述第三层接触，其中，所述第一层包括第一金属，所述第二层包括处于第一组成比的所述第一金属和氧，所述第三层包括处于第二组成比的所述第一金属和氧，所述第一组成与所述第二组成比彼此不同，并且所述第三层的电导率比所述第二层的电导率高。

【技术特征摘要】
2017.12.05 KR 10-2017-01661581.一种显示面板，所述显示面板包括：第一导电层，包括顺序堆叠的第一层、第二层和第三层；以及第二导电层，设置在所述第一导电层上，并与所述第三层接触，其中，所述第一层包括第一金属，所述第二层包括处于第一组成比的所述第一金属和氧，所述第三层包括处于第二组成比的所述第一金属和氧，所述第一组成与所述第二组成比彼此不同，并且所述第三层的电导率比所述第二层的电导率高。2.根据权利要求1所述的显示面板，其中，所述第一组成比是所述第二层中的所述第一金属的原子百分比与氧的原子百分比的比值，所述第二组成比是所述第三层中的所述第一金属的原子百分比与氧的原子百分比的比值，并且所述第二组成比小于所述第一组成比。3.根据权利要求2所述的显示面板，其中，所述第一组成比大于1.0且小于或等于2.0，并且所述第二组成比等于或大于0.8且小于或等于1.0。4.根据权利要求2所述的显示面板，其中，所述第二层是非晶的，并且所述第三层是结晶的。5.根据权利要求2所述的显示面板，其中，包括在所述第一层中的氧的原子百分比低于包括在所述第二层中的氧的原子百分比。6.根据权利要求5所述的显示面板，所述显示面板还包括：基底，位于所述第一导电层下；以及下层，位于所述基底与所述第一导电层之间，所述第一导电层还包括位于所述第一层下的第四层和第五层，所述第五层位于所述第一层与所述第四层之间，所述第五层包括与所述第一金属不同的第二金属，所述第四层包括所述第一金属，并且所述第四层接触所述下层。7.根据权利要求6所述的显示面板，其中，包括在所述第一层中的氧的所述原子百分比介于包括在所述第二层中的氧的所述原子百分比与包括在所述第四层中的氧的原子百分比之间。8.根据权利要求6所述的显示面板，其中，所述第五层的厚度比所述第一层或所述第四层的厚度大。9.根据权利要求2所述的显示面板，其中，所述第一金属是钛。10.根据权利要求2所述的显示面板，所述显示面板还包括：绝缘层，位于所述第一导电层与所述第二导电层之间，其中，所述绝缘层包括位于所述第一导电层上的接触孔，所述第三层包括第一部分和第二部分，所述第一部分与所述接触孔对应地定位并且不与所述绝缘层叠置，所述第二部分连接到所述第一部分并位于所述绝缘层与所述第二层之间，并且所述第二部分的厚度等于或小于所述第一部分的厚度。11.根据权利要求10所述的显示面板，其中，所述第二部分的所述厚度相对于距所述第一部分的距离而逐渐地减小。12.根据权利要求2所述的显示面板，所述显示面板还包括：绝缘层，位于所述第一导电层与所述第二导电层之间，其中，所述绝缘层包括位于所述第一导电层上的接触孔，并且所述第...

【专利技术属性】
技术研发人员：金基铉，朴英吉，赵诚赞，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国,KR