【技术实现步骤摘要】
滤材卡匣及用以承载滤材卡匣的滤材箱
本专利技术涉及一种滤材卡匣及滤材箱，尤指一种用以过滤挥发性有机物、酸及碱的滤材卡匣及承载滤材卡匣的滤材箱。
技术介绍
在半导体制程中，常需要使用特殊的气体或液体协助进行半导体组件的制作，然而，特殊气体或液体的使用容易产生一些挥发性有机物(VolatileOrganicCornpounds,VOCs)、酸及碱性的气体。若无法提供有效的空气净化，这些气体将会因内部循环而回到半导体的无尘室内，将影响到制程的合格率。为了避免挥发性有机物、酸及碱性的气体散布于无尘室中，于无尘室的气流循环系统中常会设置一风机滤网机组(FFU)，风机滤网机组中具有空气过滤效果的滤材箱将设置在风车上。滤材箱将作为气流循环系统的进气的过滤，以将挥发性有机物、酸及碱性的气体进行滤除，而提供干净的空气。以往滤材欲组装至可承载的滤材箱时，滤材件不易对位组装在滤材箱上，且滤材必须采用黏胶方式固定在滤材箱上，再者，为了避免欲过滤的气体从滤材与滤材箱的内部板体间的空隙旁通，通常会使用黏胶填缝，于是滤材通过多道黏胶程序固定在滤材箱中。当滤材箱中的滤材其使用寿命已达需更换的时刻...
【技术保护点】
1.一种滤材卡匣，其特征在于，包括：一框架，包括有多个边框，所述框架的边框内部设置有复数个导槽，每一所述导槽的内壁分别设置有复数个第一凸部；及，复数个滤材件，包括有一框体及一设置在所述框体中的滤材，所述框体的外表面设置有复数个第二凸部，其中所述滤材件的所述框体外围分别环设一密封层；所述滤材件插设在所述框架中的所述导槽中，所述密封层被挤压在所述第一凸部及所述第二凸部间。
【技术特征摘要】
2018.06.05 CN 20182087118231.一种滤材卡匣，其特征在于，包括：一框架，包括有多个边框，所述框架的边框内部设置有复数个导槽，每一所述导槽的内壁分别设置有复数个第一凸部；及，复数个滤材件，包括有一框体及一设置在所述框体中的滤材，所述框体的外表面设置有复数个第二凸部，其中所述滤材件的所述框体外围分别环设一密封层；所述滤材件插设在所述框架中的所述导槽中，所述密封层被挤压在所述第一凸部及所述第二凸部间。2.根据权利要求1所述的滤材卡匣，其特征在于，所述滤材件插设在所述框架中的所述导槽中，所述密封层被所述至少两第一凸部紧迫地挤压在所述至少两第二凸部间，或者所述密封层被所述至少两第二凸部紧迫地挤压在所述至少两第一凸部间。3.根据权利要求1所述的滤材卡匣，其特征在于，所述框架还包括有一开口框，所述开口框连接在所述框架的两侧边框之间，每一所述滤材件经由所述开口框进入对应的所述导槽中。4.根据权利要求1所述的滤材卡匣，其特征在于，每一所述滤材件分别插设在对应的所述导槽中，每一所述滤材件与相邻的另一所述滤材件间间隔有一空隙。5.根据权利要求1所述的滤材卡匣，其特征在于，所述滤材件分别具有相同气体的过滤效果。6.根据权利要求1所述的滤材卡匣，其特征在于，所述滤材件分别具有不同气体的过滤效果。7.根据权利要求1所述的滤材卡匣，其特征在于，所述密封层为一具有弹性的发泡层、一具有弹性的胶体层或一具有弹性的塑料层。8.一种用以承载如权利要求1所述的滤材卡匣的滤材箱，其特征在于，包括：一底板，包括有至少一第一风口；复数个侧板，设置于所述底板的周围，所述侧板与所述底板形成有一容置空间，所述容置空间的上端为一顶部开口而下端为所述底板；两侧向固定板，分别设置在两相互对称的侧板的内表面上，其中所述两侧向固定板的内表面上形成有多个定位凸条，每两个相邻且平行的所述定位凸条间隔出一定位通道，每一所述滤材卡匣的两侧端分别被所述两侧向固定板上的所述定位通道所定位；及，至少一盖板，盖住部分的所述顶部开口，所述顶部开口形成有至少一第二风口。9.根据权利要求8所述的滤材箱，其特征在于，各所述滤材卡匣相对于所述底板的平面倾斜设置在所述滤材箱中。10.根据权利要求9所述的滤材箱，其特征在于，设置在所述滤材箱中的滤材卡匣组合成“Λ”形、N形或M形的外观态样。11.根据权利要求8所述的滤材箱，其特征在于，所述盖...
【专利技术属性】
技术研发人员：金丽芬，
申请(专利权)人：咏铨洁能科技有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾,71
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