微机械或纳米机械颗粒检测设备制造技术

公开了微机械或纳米机械颗粒检测设备。颗粒检测设备包括：支撑件；用于接收颗粒的平台(4)；四个梁(12.1，12.2，12.3，12.4)，所述四个梁将平台(4)悬挂在支撑件(2)上，使得平台(4)能够振动；用于使所述平台(4)以共振频率振动的装置(8)；用于检测平台(4)在位移方向上的位移的检测装置(10)。每个梁(12.1，12.2，12.3，12.4)具有长度l、宽度L和厚度e，并且平台(4)具有在平台的位移方向上的尺寸，并且其中，在设备具有平面外模式时l≥10×L，并且，每个梁在平台(4)的位移方向上的尺寸比平台(4)在位移方向上的尺寸小至少10倍。

Micromechanical or nanomechanical particle testing equipment

【技术实现步骤摘要】
微机械或纳米机械颗粒检测设备
本专利技术涉及一种实现共振微机械和/或纳米机械结构的机械检测设备。
技术介绍
检测设备可用于进行重量检测，并且更具体地，用于进行气体检测的化学传感器、生物传感器以及基于共振微机械和/或纳米机械结构的质谱仪。质谱仪是质量检测器，其可以确定单个颗粒的质量。例如，它用于生物学中以确定生物细胞的质量。共振微机械和/或纳米机械系统可以用在质谱仪中。该系统包括能够接收例如生物细胞的梁或结构，该梁或结构在其共振频率下被激发。生物细胞的沉积改变了梁或结构的质量，从而改变了其共振频率。通过测量和处理对应于每个生物细胞的沉积的共振频率的变化，可以从中推断出生物细胞的质量。A.Rahafrooz和S.Pourkamali的文献“用于空气传播颗粒质量感测的热驱动微机械谐振器的制造和表征：I.谐振器设计和建模(Fabricationandcharacterizationofthermallyactuatedmicromechanicalresonatorsforairbomeparticlemasssensing：I.Resonatordesignandmodeling)”Mic本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.颗粒检测设备，包括支撑件和能相对于所述支撑件(2)移动的至少一个可移动结构，所述可移动结构包括：平台(4)，所述平台的一个面至少用于接收待检测的颗粒；悬挂装置(6)，所述悬挂装置用于悬挂所述平台(4)，使得所述平台(4)能够相对于所述支撑件(2)振动；致动装置(8)，所述致动装置用于使所述平台(4)以所述平台的共振频率中的至少一个共振频率振动；检测装置(10)，所述检测装置用于检测所述平台(4)在给定方向上的位移；所述悬挂装置(6)包括至少两个梁(12.1，12.2，12.3，12.4)，所述至少两个梁构造成在所述平台(4)振动时变形，其中，每个梁(12.1，12.2，12.3，12.4)...

【技术特征摘要】
2018.01.03 FR 18500251.颗粒检测设备，包括支撑件和能相对于所述支撑件(2)移动的至少一个可移动结构，所述可移动结构包括：平台(4)，所述平台的一个面至少用于接收待检测的颗粒；悬挂装置(6)，所述悬挂装置用于悬挂所述平台(4)，使得所述平台(4)能够相对于所述支撑件(2)振动；致动装置(8)，所述致动装置用于使所述平台(4)以所述平台的共振频率中的至少一个共振频率振动；检测装置(10)，所述检测装置用于检测所述平台(4)在给定方向上的位移；所述悬挂装置(6)包括至少两个梁(12.1，12.2，12.3，12.4)，所述至少两个梁构造成在所述平台(4)振动时变形，其中，每个梁(12.1，12.2，12.3，12.4)具有长度l、宽度L和厚度e，所述平台(4)具有在所述平台的位移方向上的尺寸，其中：-每个梁在所述平台(4)的给定的位移方向上的尺寸比所述平台(4)在所述给定的位移方向上的尺寸小至少10倍，以及-在所述检测设备具有平面内模式的情况下，l≥10×L，并且在所述检测设备具有平面外模式的情况下，l≥10×e，使得在所述平台(44)振动时，所述平台不会由于所述梁的作用而变形或变形很小。2.根据权利要求1所述的检测设备，其中，所述悬挂装置(6)包括至少一个第一梁和一个第二梁，所述第一梁和第二梁相对于所述位移方向对称布置。3.根据权利要求1或2所述的颗粒检测设备，其中，所述致动装置(8)位于所述可移动结构的外部。4.根据权利要求1或2所述的颗粒检测设备，其中，所述致动装置(8)直接作用在所述平台上。5.根据权利要求4所述的颗粒检测设备，其中，所述致动装置(8)是以所述共振频率将梯度力施加到所述平台的光学装置，或者是以所述共振频率将...

【专利技术属性】
技术研发人员：塞巴斯蒂安·海恩茨，马克·桑萨·佩纳，
申请(专利权)人：原子能和替代能源委员会，
类型：发明
国别省市：法国,FR