超声波指纹识别面板及显示装置制造方法及图纸

本申请公开了一种超声波指纹识别面板及显示装置。超声波指纹识别面板，包括依次设置的栅极绝缘层、栅极、平坦层、源漏极、源漏极绝缘层、有机绝缘层、接收电极、接收电极绝缘层、压电薄膜层、驱动电极，还包括：第一引出电极，第一引出电极设置于有机绝缘层，通过第一过孔与源漏极相连；第二引出电极，第二引出电极设置于接收电极绝缘层，通过第二过孔与驱动电极相连。

Ultrasound Fingerprint Identification Panel and Display Device

【技术实现步骤摘要】
超声波指纹识别面板及显示装置
本公开一般涉及指纹识别传感器领域，尤其涉及超声波指纹识别面板及显示装置。
技术介绍
现有的超声波指纹识别器件有两种产品形态，一种是以硅晶圆为衬底的半导体工艺制备的超声波指纹识别器件，一种是以玻璃为衬底的低温多晶硅工艺制备的超声波指纹识别器件，两者存在的共同问题是：1、衬底厚，即使玻璃衬底通过减薄工艺厚度在0.1mm左右，而且衬底减薄工艺损失了良率。衬底厚导致超声波指纹识别器件与显示屏盖板玻璃贴合时占用的空间大，使得产品厚度变大。2、衬底厚且是刚性衬底，不适合与超薄柔性的显示屏进行贴合。3、当前产品不适用于生成大尺寸面板。
技术实现思路
鉴于现有技术中的上述缺陷或不足，期望提供一种薄型且大尺寸的超声波指纹识别面板及显示装置。第一方面，一种超声波指纹识别面板，包括依次设置的栅极绝缘层、栅极、平坦层、源漏极、源漏极绝缘层、有机绝缘层、接收电极、接收电极绝缘层、压电薄膜层、驱动电极，还包括：第一引出电极，第一引出电极设置于有机绝缘层，通过第一过孔与源漏极相连；第二引出电极，第二引出电极设置于接收电极绝缘层，通过第二过孔与驱动电极相连。在本申请的一个或多个实施例中，驱动电极背离压电薄膜层的一侧设置有高密度金属层。在本申请的一个或多个实施例中，接收电极与第二引出电极相互间隔开，上述两者并同层设置于接收电极绝缘层。在本申请的一个或多个实施例中，还包括基板，基板为柔性基板。在本申请的一个或多个实施例中，有机绝缘层与接收电极绝缘层之间设置有无机绝缘层。在本申请的一个或多个实施例中，还包括有源层，有源层设置于栅极绝缘层背离栅极的一侧，有源层与源漏极之间设置有第三过孔，第三过孔、第一过孔在一条线上与基板垂直。在本申请的一个或多个实施例中，第一引出电极以第一过孔为中心对称设置。在本申请的一个或多个实施例中，有机绝缘层的厚度大于源漏极绝缘层的厚度。第二方面、提供一种显示装置，包括权利要求本申请各实施例所提供的的超声波指纹识别面板和与其贴合的显示面板。在本申请的一个或多个实施例中，显示面板具有柔性衬底基板。根据本申请实施例提供的技术方案，通过在不同层分别设置多个引出电极，能够降低大尺寸引起的周边电路的走线密集度。进一步的，根据本申请的某些实施例，通过采用柔性基板，还能减少整个指纹识别面板的厚度，获得超薄和可弯曲的效果。附图说明通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述，本申请的其它特征、目的和优点将会变得更明显：图1示出了根据本申请实施例的基于NMOS的超声波指纹识别面板的示例性结构框图；图2示出了根据本申请另一实施例的基于PMOS的超声波指纹识别面板的示例性结构框图；图3示出了根据本申请实施例的基于NMOS的超声波指纹识别面板制造方法的示例性流程图；图4示出了根据本申请另一实施例的基于PMOS的超声波指纹识别面板制造方法的示例性流程图。具体实施方式下面结合附图和实施例对本申请作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释相关专利技术，而非对该专利技术的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与专利技术相关的部分。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请。如图1所示，一种超声波指纹识别面板，包括依次设置的栅极绝缘层4、栅极5、平坦层8、源漏极9、源漏极绝缘层10、有机绝缘层12、接收电极14、接收电极绝缘层16、压电薄膜层17、驱动电极18，还包括：第一引出电极11，第一引出电极11设置于有机绝缘层12，通过第一过孔21与源漏极9相连；第二引出电极15，第二引出电极15设置于接收电极绝缘层16，通过第二过孔22与驱动电极18相连。通过给源漏极9和驱动电极18分别设置第一引出电极和第二引出电极，且源漏极9和第一引出电极分别在不同的层即源漏极绝缘层10和有机绝缘层12，驱动电极18和第二引出电极15设置在不同的层，第二引出电极15设置于接收电极绝缘层16。这样的设置能够实现在周边电路上形成多层布设的数据走线，有利于形成大尺寸的指纹识别面板。可以理解的是，根据实际应用场景，给每个源漏极和驱动电极都可以设置其引出电极，或者给部分源漏极和驱动电极设置引出电极。在一些实施例中，驱动电极18背离压电薄膜层的一侧设置有高密度金属层19。在声波领域，两种介质的声阻差越大，其介质的质量差越大，同时声速变化越大。声阻抗差越大，声子的惯性越大，惯性越大给超声波反射创造了能量条件，所以，两种介质的声阻抗差越大，超声波反射能力越大。其中，声阻抗为：声阻抗＝密度×介质中的声速显然，声阻抗与密度成正比，因此在驱动电极背离压电薄膜层的一侧设置有高密度金属层，使得振动中的压电薄膜产生的超声波能够经高密度金属层大部分反射至朝向平坦层的方向，提高了指纹识别的精度。在一些实施例中，接收电极14与第二引出电极1相互间隔开，两者并同层设置于接收电极绝缘层。这样的设置方式，相对接收电极与第二引出电极分别设置于不同层的方式而言，能够节省空间和指纹识别面板的厚度。需要说明的是，该接收电极14与第一电极11之间通过第四过孔24连接，用于采集接收电极的电压信号，以形成指纹图像。在一些实施例中，有机绝缘层与接收电极绝缘层之间设置有无机绝缘层。这样，防止了接收电极14与有机绝缘层12紧邻设置时，有机绝缘层自身吸附杂质或吸水性所带来的对金属电极的不良影响。在一些实施例中，还包括基板1，基板为柔性基板。柔性基板相对传统的玻璃基板而言较薄，因此在不增加工艺例如玻璃基板的减薄工艺的基础上实现了超薄。另外，为了增加缓冲效果，在基板与有源层之间设置有缓冲层2。又在高密度金属层背离驱动电极的一侧设置保护层20。还包括有源层29，有源层29设置于栅极绝缘层背离栅极的一侧，有源层与源漏极之间设置有第三过孔23，第三过孔23、第一过孔21在一条线上并与基板垂直。使得易于实现开关管的紧密设置，在相同的空间能够设置更多的开关管。在一些实施例中，第一引出电极11以第一过孔21为中心对称设置。对称设置的方式能够简化图案化引出电极的定位工序。在一些实施例中，有机绝缘层的厚度大于源漏极绝缘层的厚度。增加有机绝缘层厚度，能够增加接收电极与源漏极之间的距离，减少了接收电极与源漏极之间形成的平行板电容的电容值。具体地，平行板电容的电容值与介电常数成正比，与距离成反比。因此，采用介电常数较小的有机绝缘层，并增加其厚度，将减小该平行板电容的电容值。如图2所示，基于PMOS的超声波指纹识别面板与基于NMOS的超声波指纹识别面板区别在于有源层30。NMOS的超声波指纹识别面板的有源层29在平行于基板的方向上依次设置有N型重掺杂区6、N型轻掺杂区7、多晶硅区3、N型轻掺杂区7、N型重掺杂区6；PMOS的超声波指纹识别面板的有源层30在平行于基板方向上依次设置有P型重掺杂区、多晶硅区、P型重掺杂区。本申请还公开一种显示装置，该显示装置包括本申请各实施例所提供的的超声波指纹识别面板和与其贴合的显示面板。在一些实施例中，显示面板具有柔性衬底基板。当显示面板和贴合的超声波指纹识别面板均采用柔性基板时，能够获得超薄可弯曲的效果。本申请还公开了一种超声波指纹识别面板的制造方法。如图3所示，基本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种超声波指纹识别面板，包括依次设置的栅极绝缘层、栅极、平坦层、源漏极、源漏极绝缘层、有机绝缘层、接收电极、接收电极绝缘层、压电薄膜层、驱动电极，其特征在于，还包括：第一引出电极，所述第一引出电极设置于所述有机绝缘层，通过第一过孔与所述源漏极相连；第二引出电极，所述第二引出电极设置于所述接收电极绝缘层，通过第二过孔与所述驱动电极相连。

【技术特征摘要】
1.一种超声波指纹识别面板，包括依次设置的栅极绝缘层、栅极、平坦层、源漏极、源漏极绝缘层、有机绝缘层、接收电极、接收电极绝缘层、压电薄膜层、驱动电极，其特征在于，还包括：第一引出电极，所述第一引出电极设置于所述有机绝缘层，通过第一过孔与所述源漏极相连；第二引出电极，所述第二引出电极设置于所述接收电极绝缘层，通过第二过孔与所述驱动电极相连。2.根据权利要求1所述的超声波指纹识别面板，其特征在于，所述驱动电极背离所述压电薄膜层的一侧设置有高密度金属层。3.根据权利要求1所述的超声波指纹识别面板，其特征在于，所述接收电极与所述第二引出电极相互间隔开，上述两者并同层设置于所述接收电极绝缘层。4.根据权利要求1所述的超声波指纹识别面板，其特征在于，还包括基板，所述基板为柔性基板。5.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：邸云萍，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11