图案描绘装置及基板处理装置制造方法及图纸

本发明专利技术是一种图案描绘装置(EX)，其是一面将来自光源(LS)的射束(LB)根据图案信息进行强度调变，一面将射束(LB)投射至基板(P)上而于主扫描方向进行扫描，藉此于基板(P)上形成图案者，且具备：扫描装置(14)，其是为了使射束(LB)于主扫描方向上扫描，而将包含使来自光源(LS)的射束(LB)偏向的偏向构件(PM)的多个扫描单元(Un)，以投射至基板(P)上的射束(LB)的扫描轨迹相互错开的方式配置；及电光偏向装置(BDU)，其是为了将来自光源(LS)的射束(LB)分时供给至多个扫描单元(Un)的各者，而将来自光源(LS)的射束(LB)切换为偏向状态或非偏向状态，并且为了使射束(LB)的扫描轨迹于与主扫描方向交叉的副扫描方向移位，而可调整射束(LB)的偏向角。

Patterns Describing Device and Base Board Processing Device

【技术实现步骤摘要】
图案描绘装置及基板处理装置本申请是申请日为2016年9月27日，申请号为201680056753.1，专利技术名称为“图案描绘装置及图案描绘方法”的专利申请的分案申请。
本专利技术是关于一种扫描照射至被照射体上的聚焦光而描绘图案的图案描绘装置及图案描绘方法。
技术介绍
作为使用旋转多角镜的描绘装置，例如已知电子照片方式的图像形成装置，其是如日本特开2009-20489号公报揭示般，利用多角镜使来自激光二极体(LD)的射束反复偏向，并使偏向后的射束经由fθ透镜于感光体上扫描。日本特开2009-20489号公报所揭示的图像形成装置中，根据激光二极体(LD)的驱动电流的变化而预测包含激光二极体(LD)、旋转多角镜、及fθ透镜等的写入单元内的温度变化。而且，为了修正因温度变化而产生的fθ透镜的倍率误差(射束的主扫描方向的倍率误差)，而变更响应图像信号对激光二极体(LD)进行点亮控制时成为基准的写入用的时脉信号的频率。然而，于应描绘的图像的图案为用于电子元件的图案的情形时，即便如日本特开2009-20489号公报般，仅藉由时脉信号的频率变更来修正倍率误差，亦无法细致地应对高精度的倍率修正。
技术实现思路
本专利技术的第1态样是一种图案描绘装置，其是一面将来自光源的射束根据图案信息进行强度调变，一面将上述射束投射至基板上而于主扫描方向进行扫描，藉此于上述基板上形成图案者，且具备：扫描装置，其为了上述射束于上述主扫描方向上的扫描，将包含使来自上述光源的上述射束偏向的偏向构件的多个扫描单元以投射至上述基板上的上述射束的扫描轨迹相互错开的方式配置；及电光偏向装置，其能够为了将来自上述光源的上述射束分时供给至上述多个扫描单元的各者，而将来自上述光源的上述射束切换为偏向状态或非偏向状态，并且为了使上述射束的扫描轨迹于与上述主扫描方向交叉的副扫描方向移位，而调整上述射束的偏向角。本专利技术的第2态样是一种图案描绘方法，其是一面将来自光源的射束根据图案信息进行强度调变，一面将上述射束投射至基板上而于主扫描方向进行扫描，藉此于上述基板上形成图案者，且包括如下步骤：以投射至上述基板上的上述射束的扫描轨迹相互错开的方式配置的多个扫描单元的各者使用偏向构件将来自上述光源的上述射束于上述主扫描方向进行扫描；及为了将来自上述光源的上述射束分时供给至上述多个扫描单元的各者，而将来自上述光源的上述射束切换为偏向状态或非偏向状态，并且使藉由上述多个扫描单元的各者而扫描的上述射束的扫描轨迹于与上述主扫描方向交叉的副扫描方向移位。本专利技术的第3态样是一种图案描绘装置，其是将根据图案信息而调变的描绘射束投射至基板而于主扫描方向进行扫描，并且使上述基板与上述描绘射束于与上述主扫描方向交叉的副扫描方向相对移动，藉此于上述基板上形成图案者，且具备：扫描装置，其将包含扫描上述描绘射束的扫描构件的多个扫描单元以上述描绘射束所形成的扫描轨迹相互错开的方式配置；射束切换装置，其包含多个第1电子光学构件，该等第1电子光学构件用以将来自生成上述描绘射束的光源装置的射束选择性地供给至上述多个扫描单元的各者；及射束偏向装置，其包含第2电子光学构件，该第2电子光学构件以于上述主扫描方向扫描的上述描绘射束的扫描位置向上述副扫描方向位移的方式，使入射至上述多个扫描单元的各者的来自上述光源装置的上述射束向对应于上述副扫描方向的朝向偏向。附图说明图1是表示第1实施形态的包含对基板实施曝光处理的曝光装置的元件制造系统的概略构成的图。图2是表示曝光装置的构成的构成图。图3是表示图2所示的于旋转筒卷绕有基板的状态的详细图。图4是表示于基板上扫描的聚焦光的描绘线及形成于基板上的对准标记的图。图5是表示图2所示的扫描单元的光学性构成的图。图6是表示图2所示的射束切换部的构成图。图7是表示图2所示的光源装置的构成的图。图8是表示图7所示的信号产生部所产生的时脉信号、描绘位元串数据、及自偏光分光器射出的射束的关系的时序图。图9是表示具有使修正像素伸缩的功能的图7所示的信号产生部的构成的图。图10是表示图9所示的预设部所输出的预设值的真值表的图。图11是表示图9所示的时脉产生部所产生的时脉信号的各时脉脉冲、第2分频计数器电路的计数值、像素移位脉冲的输出时序、输入至图7所示的驱动电路的串列数据的像素的逻辑信息的切换时序的时序图。图12是表示图2所示的曝光装置的电性构成的方块图。图13是表示自设置于各扫描单元的图5的原点感测器输出的原点信号及根据原点信号而由图12所示的选择元件驱动控制部生成的入射允许信号的时序图。图14是表示图12所示的描绘数据输出部的构成的图。图15是表示由图14所示的描绘允许信号生成部所生成的描绘允许信号及于描绘允许信号为高位准的期间中自图9的送出时序切换部输出的像素移位脉冲的时序图。图16是表示于最大扫描长度的范围内伸缩的描绘线的位置与延迟时间的关系的图。图17是表示第1实施形态的变形例中的光源装置的构成的图。图18是表示图17所示的时脉信号产生部的构成的图。图19是说明图18的时脉信号产生部的动作的时序图。图20是表示第2实施形态中的设置于光源装置的内部的信号产生部的构成的图。图21A是表示图20所示的延迟电路的构成的第1例的图，图21B是表示图20所示的延迟电路的构成的第2例的图。图22是表示自图20所示的信号产生部的各部输出的信号的时序图。图23A是说明未进行局部倍率修正的情形时所描绘的图案的图，图23B是说明按照图22所示的时序图进行局部倍率修正(缩小)的情形时所描绘的图案的图。图24是上述各实施形态的变形例1的说明图，且是代替根据上述各实施形态(亦包含变形例)中所说明的图案数据调变聚焦光的强度的电光元件而使用描绘用光学元件的情形时的描绘用光学元件的配置例的图。图25是上述各实施形态的变形例4的说明图，且是模式性地表示上述各实施形态(亦包含变形例)中所说明的射束切换部中的聚光透镜、选择用光学元件、准直透镜、及单元侧入射镜的配置、与扫描单元内的第2柱面透镜的配置的关系的图。图26是上述各实施形态(亦包含变形例)的变形例5的说明图，且是表示代替多角镜而使用检流计镜的扫描单元的主要部分构成的图。图27是上述各实施形态(亦包含变形例)的变形例6的说明图，且是藉由机械性旋转机构而呈圆弧状地扫描聚焦光的方式的扫描单元的立体图。图28是详细地表示第3实施形态中的光源装置的脉冲光产生部内的波长转换部的构成的图。图29是表示第3实施形态中的自光源装置至最初的选择用光学元件为止的射束的光路的图。图30是表示第3实施形态中的自选择用光学元件至下一段的选择用光学元件为止的光路与选择用光学元件的驱动器电路的构成的图。图31是说明选择用光学元件之后的选择用的单元侧入射镜处的射束选择与射束移位的情况的图。图32是说明自多角镜至基板为止的射束的行为的图。图33是表示第3实施形态的变形例中的串迭方式的描绘装置的概略构成的一部分的图。图34是表示第4实施形态中的射束切换部内的与1个扫描单元对应设置的的射束切换构件的构成的图。图35是表示将构成图6(或图24)所示的射束切换部的选择用光学元件与单元侧入射镜置换成图34的构成的构成的图。图36是表示图35所示的射束移位器部的构成的一例的图。图37A是表示使用于以特定的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种图案描绘装置，其藉由一面对应图案对来自脉冲光源部的脉冲射束的聚焦光进行强度调变，一面在基板上沿主扫描方向使上述聚焦光相对地扫描，在上述基板上描绘上述图案，且具备：描绘数据存储部，其藉由对应上述聚焦光的尺寸而设定的尺寸Pxy的像素将上述图案分割，并将多个上述像素的各个作为以与上述图案对应的逻辑信息表示的描绘数据而存储；时脉产生部，其具有在将上述聚焦光的扫描速度设为Vs、N设为2以上的整数时以Pxy/(N×Vs)决定的基准周期，并在上述聚焦光的扫描中对每个上述尺寸Pxy产生N个时脉脉冲；光源控制部，其以响应上述时脉脉冲产生上述脉冲射束的方式控制上述脉冲光源部，并根据自上述描绘数据存储部依序送出的上述描绘数据的每个上述像素的上述逻辑信息调变上述脉冲射束的上述聚焦光的强度；修正像素指定部，其在沿上述主扫描方向排列的多个上述像素之中，指定配置在特定的位置的至少1个上述像素作为修正像素；及送出时点切换部，其以在上述聚焦光扫描上述修正像素以外的非修正像素的时点，上述时脉脉冲的N个对应1像素，在上述聚焦光扫描上述修正像素的时点，上述时脉脉冲的N±m个(m为具有m＜N的关系的1以上的整数)对应1像素的方式，切换上述像素的上述逻辑信息的从上述描绘数据存储部的送出时点。...

【技术特征摘要】
2015.09.28 JP 2015-1894961.一种图案描绘装置，其藉由一面对应图案对来自脉冲光源部的脉冲射束的聚焦光进行强度调变，一面在基板上沿主扫描方向使上述聚焦光相对地扫描，在上述基板上描绘上述图案，且具备：描绘数据存储部，其藉由对应上述聚焦光的尺寸而设定的尺寸Pxy的像素将上述图案分割，并将多个上述像素的各个作为以与上述图案对应的逻辑信息表示的描绘数据而存储；时脉产生部，其具有在将上述聚焦光的扫描速度设为Vs、N设为2以上的整数时以Pxy/(N×Vs)决定的基准周期，并在上述聚焦光的扫描中对每个上述尺寸Pxy产生N个时脉脉冲；光源控制部，其以响应上述时脉脉冲产生上述脉冲射束的方式控制上述脉冲光源部，并根据自上述描绘数据存储部依序送出的上述描绘数据的每个上述像素的上述逻辑信息调变上述脉冲射束的上述聚焦光的强度；修正像素指定部，其在沿上述主扫描方向排列的多个上述像素之中，指定配置在特定的位置的至少1个上述像素作为修正像素；及送出时点切换部，其以在上述聚焦光扫描上述修正像素以外的非修正像素的时点，上述时脉脉冲的N个对应1像素，在上述聚焦光扫描上述修正像素的时点，上述时脉脉冲的N±m个(m为具有m＜N的关系的1以上的整数)对应1像素的方式，切换上述像素的上述逻辑信息的从上述描绘数据存储部的送出时点。2.如权利要求1所述的图案描绘装置，其中具备多个扫描单元，该扫描单元具有为了上述聚焦光的往上述主扫描方向的扫描而使上述脉冲射束一维地偏向的多角镜、及供以上述多角镜偏向后的上述脉冲射束射入并作为上述聚焦光聚光在上述基板上的光学透镜构件；藉由从多个上述扫描单元的各个投射的上述聚焦光在上述基板上描绘上述图案。3.如权利要求2所述的图案描绘装置，其具备：多角镜驱动控制部，其以上述多个扫描单元的各个的上述多角镜的旋转角度位置成为既定的相位关系的方式使上述多角镜的各个同步旋转；及射束切换部，其将来自上述脉冲光源部的上述脉冲射束以对应上述多角镜的旋转角度位置而依序引导至上述多个扫描单元中的任一个的方式进行切换。4.如权利要求3所述的图案描绘装置，其具备修正信息存储部，其将用以指定位在沿上述主扫描方向上的多个上述像素之中，成为修正对象的上述修正像素的修正信息存储在上述多个扫描单元的每一个；上述修正像素指定部根据与藉由上述射束切换部而上述脉冲射束被引导的上述扫描单元对应的上述修正信息，指定位在上述脉冲射束被引导的上述扫描单元的描绘范围中的上述修正像素。5.如权利要求4所述的图案描绘装置，其中上述修正信息包含用以对应在上述描绘范围内描绘的图案的描绘倍率而对沿上述主扫描方向上的离散的多个位置的各个指定上述修正像素的修正位置信息；上述修正像素指定部根据上述修正位置信息指定离散分布的多个上述修正像素；上述送出时点切换部以N±m个上述...

【专利技术属性】
技术研发人员：加藤正纪，中山修一，
申请(专利权)人：株式会社尼康，
类型：发明
国别省市：日本,JP