一种落尘检测设备制造技术

本发明专利技术实施例公开了一种落尘检测设备，该落尘检测设备包括：检测模块，用于放置和检测待检测透明基板；检测模块包括壳体以及设置在壳体中的光源、图像采集单元和控制单元，控制单元分别与光源和图像采集单元电连接；光源用于投射光线至待检测透明基板上，图像采集单元用于扫描待检测透明基板并采集图片，控制单元用于控制光源发光并在发光阶段控制图像采集单元采集待检测透明基板的图像以对待检测透明基板进行落尘检测。本发明专利技术实施例，检测过程简单，采用简单的图像采集技术实现了对落尘检测设备所处环境的洁净检测，还实现了对待检测透明基板的洁净检测。

A Falling Dust Detection Equipment

【技术实现步骤摘要】
一种落尘检测设备
本专利技术实施例涉及检测技术，尤其涉及一种用于检测落尘的落尘检测设备。
技术介绍
无尘室(CleanRoom)，亦称为无尘室或清净室。它是污染控制的基础，通过控制室内空气悬浮微粒浓度，从而使室内达到适当的微粒洁净度级别。无尘室是指将一定空间范围内空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物排除，多应用于半导体器件的制作或医疗行业中。目前，无尘室的检测技术是藉由内部真空源将空气样本吸入至样本腔室内,空气样本穿过雷射光束，当空气样本中的微粒通过光束时，光束光线与微粒反应而产生散射与反射，光传感器接收这些散射与反射光线并计算以得到空气样本中的落尘量。显然，该检测技术复杂。
技术实现思路
本专利技术实施例提供一种落尘检测设备，以解决现有无尘室检测技术复杂的问题。本专利技术实施例提供了一种落尘检测设备，该落尘检测设备包括：检测模块，用于放置和检测待检测透明基板；所述检测模块包括壳体以及设置在所述壳体中的光源、图像采集单元和控制单元，所述控制单元分别与所述光源和所述图像采集单元电连接；所述光源用于投射光线至所述待检测透明基板上，所述图像采集单元用于扫描所述待检测透明基板并采集图片，所述控本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种落尘检测设备，其特征在于，包括：检测模块，用于放置和检测待检测透明基板；所述检测模块包括壳体以及设置在所述壳体中的光源、图像采集单元和控制单元，所述控制单元分别与所述光源和所述图像采集单元电连接；所述光源用于投射光线至所述待检测透明基板上，所述图像采集单元用于扫描所述待检测透明基板并采集图片，所述控制单元用于控制所述光源发光并在发光阶段控制所述图像采集单元采集所述待检测透明基板的图像以对所述待检测透明基板进行落尘检测。

【技术特征摘要】
1.一种落尘检测设备，其特征在于，包括：检测模块，用于放置和检测待检测透明基板；所述检测模块包括壳体以及设置在所述壳体中的光源、图像采集单元和控制单元，所述控制单元分别与所述光源和所述图像采集单元电连接；所述光源用于投射光线至所述待检测透明基板上，所述图像采集单元用于扫描所述待检测透明基板并采集图片，所述控制单元用于控制所述光源发光并在发光阶段控制所述图像采集单元采集所述待检测透明基板的图像以对所述待检测透明基板进行落尘检测。2.根据权利要求1所述的落尘检测设备，其特征在于，所述光源为环形光源，所述图像采集单元的轴线穿过所述环形光源的内环。3.根据权利要求1所述的落尘检测设备，其特征在于，所述光源包括相对设置的至少两个发光器件，所述图像采集单元的轴线穿过所述至少两个发光器件之间。4.根据权利要求1所述的落尘检测设备，其特征在于，所述光源包括相对设置的至少两行发光器件，所述图像采集单元的轴线穿过所述至少两行发光器件之间。5.根据权利要求1所述的落尘检测设备，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：万来威，
申请(专利权)人：苏州精濑光电有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32