微型电磁泵制造技术

一种微型电磁泵，其特征在于它包括：分别开有两个电极和两个管道进出口的第一块基体材料（Ａ），刻蚀有微型管道、并在整条微型管道两侧壁溅射有电极（２、３）的第二块基体材料（Ｂ），永久磁铁（６）；第二块基体材料（Ｂ）上表面管道两端的储液槽（７、８）和两个电极引出点（４、５）分别与第一块基体材料（Ａ）上的两个电极和两个管道进出口对准后相键合，在整个第二块基体材料（Ｂ）下表面装有永久磁铁（６）。（*该技术在2013年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：傅新，刘玲，谢海波，杨华勇，
申请(专利权)人：浙江大学，
类型：实用新型
国别省市：