【技术实现步骤摘要】
一种多波长干涉测量中光强一致性的控制方法
本专利技术涉及多波长干涉测量
，尤其涉及一种多波长干涉测量中光强一致性的控制方法。
技术介绍
多波长干涉法是拓展微形貌测量范围的一种重要方法之一。多波长干涉法的实质是利用双波长或多波长测量结果的差异求出干涉级次，得到被测点的真实深度，从而达到扩展深度测量的目的。与单波长测量相比，多波长不仅能有效弥补单波长干涉测量范围小的缺点，而且能扩大被测物的测量深度范围，从而减少测量误差。多波长的获取方法主要有：利用不同单色光组合成多波长和从白光中滤出(或调制出)多波长。其中不同单色光组合成多波长的方法的缺陷在于多个独立光源射出的光强分布不一致，导致光源上每点对周围的强度影响不一致，从而使得干涉图样灰度值分布规律不确定，容易造成较大的计算误差。而利用白光作为测量光源，干涉后的复合分光束经过多种不同带宽的滤光片，得到波长不同的单色光干涉图样，这种方法存在以下问题：第一，白光光源中各波长的光强权重不一致，经过滤光片后的干涉图样光强不一致，影响测量精度；第二，利用多个PIN光电管只能接收某一截面处的深度信号，不能进行区域测量。因此用于表...
【技术保护点】
1.一种多波长干涉测量中光强一致性的控制方法，其特征在于，包括：光强一致性的初步控制、光强一致性的精细控制；所述光强一致性的初步控制包括：获得多组滤光片的测量电压值，根据所述测量电压值反馈控制光源驱动电流；所述光强一致性的精细控制包括：根据CCD采集的干涉灰度图像获得信息容量值，根据所述信息容量值反馈控制所述光源驱动电流。
【技术特征摘要】
1.一种多波长干涉测量中光强一致性的控制方法，其特征在于，包括：光强一致性的初步控制、光强一致性的精细控制；所述光强一致性的初步控制包括：获得多组滤光片的测量电压值，根据所述测量电压值反馈控制光源驱动电流；所述光强一致性的精细控制包括：根据CCD采集的干涉灰度图像获得信息容量值，根据所述信息容量值反馈控制所述光源驱动电流。2.根据权利要求1所述的多波长干涉测量中光强一致性的控制方法，其特征在于，所述光强一致性的初步控制的具体实施方法为：选取一组滤光片作为基准滤光片，剩下的滤光片作为待调滤光片；获得所述基准滤光片的测量电压值，并作为基准电压值；将每个所述待调滤光片的测量电压值分别与所述基准电压值进行比较，通过调节反向偏置电路，使得调节后的每个待调滤光片的测量电压值均等于所述基准电压值。3.根据权利要求2所述的多波长干涉测量中光强一致性的控制方法，其特征在于，所述选取一组滤光片作为基准滤光片的具体实施方法为：切换多组滤光片，获得不同滤光片下CCD相机采集的干涉灰度图像的亮度信息；选取干涉灰度图像的亮度信息为中间值的一组滤光片作为基准滤光片。4.根据权利要求2所述的多波长干涉测量中光强一致性的控制方法，其特征在于，所述选取一组滤光片作为基准滤光片的具体实施方法为：根据多组滤光片的中心波长，在白光光源的光谱图中找到多个中心波长对应...
【专利技术属性】
技术研发人员：翟中生，黄娇洁，王选择，吕清花，聂磊，冯胜，刘梦然，李劲松，
申请(专利权)人：湖北工业大学，
类型：发明
国别省市：湖北,42
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