【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】玻璃基板的制造装置及制造方法
本专利技术涉及玻璃基板的制造装置及制造方法，尤其是涉及对成为玻璃基板的板状玻璃的一个主表面实施基于处理气体的表面处理的装置及方法。
技术介绍
众所周知，关于近年来的图像显示装置，液晶显示器(LCD)、等离子显示器(PDP)、场发射显示器(FED)、有机EL显示器(OLED)等所代表的平板显示器(以下仅称为FPD。)成为主流。针对这些FPD推进了轻质化，因此，针对用于FPD的玻璃基板，对薄板化的要求也变高。上述的玻璃基板通过如下方式等而得到：将例如通过各种下拉法所代表的板状玻璃的成形方法而成形为带状的板状玻璃(带状板玻璃)切断成规定的尺寸，将切断后的板状玻璃的宽度方向(是指与带状板玻璃的表背面平行且与长边方向正交的朝向。以下相同。)两端部分进一步切断，之后，根据需要，对各切断面实施研磨加工。然而，在制造这种玻璃基板时，该制造过程中的静电的带电有时成为问题。即，作为绝缘体的玻璃具有非常容易带电的性质，在玻璃基板的制造工序中，例如在载置台上载置玻璃基板并实施规定的加工时，有时由于玻璃基板与载置台的接触剥离而使玻璃基板带电(有时将这种情况称为...
【技术保护点】
1.一种玻璃基板的制造装置，其具备：输送装置，其将成为玻璃基板的板状玻璃沿规定的方向输送；以及表面处理装置，其向由所述输送装置输送的所述板状玻璃的一个主表面供给处理气体而实施规定的表面处理，所述玻璃基板的制造装置的特征在于，所述表面处理装置具备：箱体；开口部，其在所述箱体中的所述一个主表面侧开口；以及一个或多个供气单元，一个或多个所述供气单元以相对于所述开口部能够拆卸的方式安装，且具有用于向所述一个主表面供给所述处理气体的供气口，所述供气单元能够安装在所述开口部中的沿着所述板状玻璃的输送方向的多个位置。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.11.16 JP 2016-2232481.一种玻璃基板的制造装置，其具备：输送装置，其将成为玻璃基板的板状玻璃沿规定的方向输送；以及表面处理装置，其向由所述输送装置输送的所述板状玻璃的一个主表面供给处理气体而实施规定的表面处理，所述玻璃基板的制造装置的特征在于，所述表面处理装置具备：箱体；开口部，其在所述箱体中的所述一个主表面侧开口；以及一个或多个供气单元，一个或多个所述供气单元以相对于所述开口部能够拆卸的方式安装，且具有用于向所述一个主表面供给所述处理气体的供气口，所述供气单元能够安装在所述开口部中的沿着所述板状玻璃的输送方向的多个位置。2.根据权利要求1所述的玻璃基板的制造装置，其特征在于，所述玻璃基板的制造装置还具备排气单元，该排气单元以相对于所述开口部能够拆卸的方式安装，用于进行所述处理气体的排气，所述排气单元能够安装在所述开口部中的沿着所述输送方向的多个位置。3.根据权利要求2所述的玻璃基板的制造装置，其特征在于，在所述排气单元设置有第一排气口，该第一排气口将所述一个主表面和所述排气单元之间的空间与所述箱体的内部空间相连，所述箱体的内部空间与所述处理气体用的洗涤器相连。4.根据权利要求1至3中任一项所述的玻璃基板的制造装置，其特征在于，所述玻璃基板的制造装置还具备虚设单元，该虚设单元以相对于所述开口部能够拆卸的方式安装，用于封堵所述开口部，所述虚设单元能够安装在所述开口部中的沿着所述输送方向的多个位置。5.根据权利要求1至4中任一项所述的玻璃基板的制造装置，其特征在于，所述供气单元具有间隙形成面，在所述供气单元安装于所述开口部的状态下...
【专利技术属性】
技术研发人员：山本好晴，中塚弘树，大野和宏，
申请(专利权)人：日本电气硝子株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP
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