压电微型泵制造技术

公开了一种压电微型泵（１０），用于以一低体积和在可控制的流速下将流体从一容器（１４）泵送到一传送点。泵送动作是通过两个或三个隔膜（４０，４２，４４）的运动产生的。每个隔膜的运动是通过一连接的压电致动器（４６，４８，５０）的膨胀和收缩引起的。隔膜（４０，４２，４４）的运动的协调产生了单方向的流体流动。压电致动器（４６，４８，５０）悬在泵体（２２）和隔膜（４０，４２，４４）之间，从而隔膜（４０，４２，４４）能够较大地弯曲。压电致动器（４６，４８，５０）最好是双压电晶片，使隔膜（４０、４２、４４）完成密封件和泵的双重功能。（*该技术在2019年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种将流体从一流体容器泵送到一个传送点的微型泵，包括： 一个泵体，所述泵体具有一个贯穿其中并从所述流体容器通向所述传送点的通道，所述泵体具有与所述通道交叉的第一、第二和第三空腔； 一覆盖所述第一空腔的第一隔膜，当所述第一隔膜升高和降低时，所述第一隔膜打开和关闭所述通道； 一第一隔膜夹头，用于将所述第一隔膜固定到所述泵体上； 一第一悬臂压电致动器，用于升高和降低所述第一隔膜，所述第一悬臂压电致动器具有一第一端和一第二端，所述第一端可操作地联接到所述第一隔膜上； 一第一致动器夹头，用于将所述第一悬臂压电致动器的所述第二端固定到所述泵体上； 一覆盖所述第二空腔的第二隔膜，当第二隔膜升高和降低时，所述第二隔膜打开和关闭所述通道； 一第二隔膜夹头，用于将所述第二隔膜固定到所述泵体上； 一第二悬臂压电致动器，用于升高和降低所述第二隔膜，所述第二悬臂压电致动器具有一第一端和一第二端，所述第一端可操作地联接到所述第二隔膜上； 一第二致动器夹头，用于将所述第二悬臂压电致动器的所述第二端固定到所述泵体上； 一覆盖所述第三空腔的第三隔膜，当所述第三隔膜升高和降低时，所述第三隔膜打开和关闭所述通道，所述第三隔膜通过所述第一隔膜夹头夹到所述泵体上； 一第三悬臂压电致动器，用于升高和降低所述第三隔膜，所述第三悬臂压电致动器具有一第一端和一第二端，所述第一端可操作地联接到所述第三隔膜上。所述第三悬臂压电致动器的所述第二端通过所述第一致动器夹头固定到所述泵体上；及 一电子控制电路，用于向所述第一、第二和第三悬臂压电致动器施加电压，用于升高和降低所述第一、第二和第三隔膜，从而促使所述流体流过所述通道。...

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：理查德D彼得斯，查德E布顿，小威廉C齐姆里奇，
申请(专利权)人：巴特勒纪念研究院，
类型：发明
国别省市：US[美国]