一种泵，其包含：一致动器，该致动器使一例如活塞或隔膜的可移动壁移动；一泵腔，该泵腔容积由该可移动壁的位移来改变；一入口流道，工作流体通过该入口流道流入到该泵腔中；以及一出口流道，该工作流体通过该出口流道流出该泵腔，其中，即使当泵在运行时该出口流道也与该泵腔恒定地相连通，该入口流道的组合惯性量值小于该出口流道的组合惯性量值，该入口流道设置有使得当工作流体流入到该泵腔时的流体阻力小于当工作流体流出时的流体阻力的一流体阻力件，并且安装有一回流入口，其中该出口流道的横截面面积至少是导出该泵的泵腔的流道的最窄部分横截面面积的两倍。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）
【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：濑户毅，高城邦彦，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：
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