【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种带悬挂Ｔ字形阀膜微阀的单片型单向液体微泵，由主衬底硅片、粘合介质、辅助衬底构成，所述的辅助衬底通过所述的粘合介质设置在所述主衬底硅片上方，其特征在于：在所述的主衬底硅片中设置有单一浅腔体，在所述的单一浅腔体两侧相对位置分别设置有入口微阀和出口微阀，所述的入口微阀与所述的出口微阀都为悬挂Ｔ字形阀膜的微阀，所述的入口微阀一侧与所述的单一浅腔体联通，在所述的入口微阀另一侧设置有入口微沟道，所述的入口微沟道制作在所述主衬底硅片中，所述的出口微阀一侧与所述的单一浅腔体连通，在所述的出口微阀的另一侧设置有出口微沟道，所述的出口微沟道制作在所述主衬底硅片中，在所述的主衬底硅片和所述辅助衬底之间设置有驱动结构，所述的驱动结构由腔体形变膜，上电极，下电极构成，所述的腔体形变膜设置在所述微阀上方，所述的下电极设置在所述腔体形变膜上方，所述的上电极设置在所述辅助衬底的下方。
【技术特征摘要】
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