隔膜型真空泵制造技术

本发明专利技术提供一种隔膜型真空泵，其可以防止运转时发生轴承振动、蠕变，能够降低运转噪音。在电机轴（５）的轴承（６ａ、６ｂ）的外圈与嵌合该轴承（６ａ、６ｂ）的外壳（７ａ、７ｂ）之间、连杆（１３ａ、１３ｂ）的轴承（１１ａ、１１ｂ）与连杆（１３ａ、１３ｂ）之间、电机轴（５）的轴承（６ａ、６ｂ）的内圈与电机轴（５）之间、以及连杆（１３ａ、１３ｂ）的轴承（１１ａ、１１ｂ）的内圈与偏芯轴（９ａ、９ｂ）之间分别涂布有粘结剂，进行接合。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种隔膜型真空泵，使经由第１轴承旋转支撑于电动机的单侧或者两侧上的电机轴伸长，在上述电机轴上经由偏心轴和第２轴承配置有连杆，在上述连杆的前端侧上安装有隔膜，通过由上述电机轴的旋转引起的上述连杆的往复运动，使上述隔膜运动、进行真空排气，其特征在于，在上述第１轴承的外圈与嵌合该第１轴承的外壳之间、上述第２轴承的外圈与上述连杆之间、上述第１轴承的内圈与上述电机轴之间、以及上述第２轴承的内圈与上述偏心轴之间，分别涂布有粘结剂进行接合。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：相川纯一，大坂常男，大坂泰介，山中秋广，
申请(专利权)人：ULVAC机工株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]