一种专用于12寸金属提篮运送的推车制造技术

本实用新型专利技术公开了一种专用于12寸金属提篮运送的推车，它涉及半导体晶圆运输技术领域。该专用于12寸金属提篮运送的推车，包括推车本体，所述推车本体包括车架，所述车架底部四角处安装有减震万向轮，所述车架的一侧安装有把手，所述车架内至少设有两层以上的置物台面，所述置物台面上设置有用于安放12寸金属提篮的固定卡位装置。本实用新型专利技术通过固定卡位装置对12寸金属提篮进行有效地固定，避免在推运过程中12寸金属提篮产生巨大晃动；另外，利用支撑垫板与挡板使得12寸金属提篮两端形成高度差，产生5°斜角，使得晶圆硅片在提篮内向一边靠拢，防止其左右晃动；本实用新型专利技术可以保持金属提篮平稳搬运，有效避免了晶圆硅片品质产生异常风险。

【技术实现步骤摘要】
一种专用于12寸金属提篮运送的推车
本技术涉及半导体晶圆运输
，具体涉及一种专用于12寸金属提篮运送的推车。
技术介绍
半导体行业中的金属提篮(MetalCassette)主要用于晶圆硅片的周转存储用；其中12寸金属提篮属于尺寸较大的一类。现有技术中12寸金属提篮的单元格存放晶圆硅片并放置在推车上在不同工序之间运送；但是，在推运过程中12寸金属提篮会产生巨大晃动，这样就会对晶圆硅片产品造成伤害。因此，为保持金属提篮可以平稳搬运，避免晶圆硅片品质产生异常风险，急需对运送12寸金属提篮的推车进行改进。
技术实现思路
针对现有技术上存在的不足，本技术提供一种专用于12寸金属提篮运送的推车。为了实现上述目的，本技术是通过如下的技术方案来实现：一种专用于12寸金属提篮运送的推车，包括推车本体，所述推车本体包括车架，所述车架底部四角处安装有减震万向轮，所述车架的一侧安装有把手，所述车架内至少设有两层以上的置物台面，所述置物台面上设置有用于安放12寸金属提篮的固定卡位装置。进一步地，所述固定卡位装置包括支撑垫板、挡板组件、第一夹板、第二夹板和顶紧组件，所述挡板组件包括挡板和第一凸舌，所述挡板与支撑垫本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种专用于12寸金属提篮运送的推车，包括推车本体，其特征在于：所述推车本体包括车架，所述车架底部四角处安装有减震万向轮，所述车架的一侧安装有把手，所述车架内至少设有两层以上的置物台面，所述置物台面上设置有用于安放12寸金属提篮的固定卡位装置。

【技术特征摘要】
1.一种专用于12寸金属提篮运送的推车，包括推车本体，其特征在于：所述推车本体包括车架，所述车架底部四角处安装有减震万向轮，所述车架的一侧安装有把手，所述车架内至少设有两层以上的置物台面，所述置物台面上设置有用于安放12寸金属提篮的固定卡位装置。2.根据权利要求1所述的专用于12寸金属提篮运送的推车，其特征在于：所述固定卡位装置包括支撑垫板、挡板组件、第一夹板、第二夹板和顶紧组件，所述挡板组件包括挡板和第一凸舌，所述挡板与支撑垫板相互平行间隔固定安装在置物台面上，所述支撑垫板高度大于所述挡板高度，所述12寸金属提篮一端抵住所述挡板，另一端靠在所述支撑垫板上，所述12寸金属提篮与所述置物台面形成倾斜夹角α，夹角α为5°，所述挡板朝向支撑垫板方向的侧面的一端部水平垂直固定粘接第一凸舌，所述第一凸舌不与置物台面接触，所述挡板朝向支撑垫板方向的侧面的另一端部水平垂直对接第一夹板，所述第一夹板固定安装在置物台面上；所述第二夹板包括定板、动板和第二凸舌，所述定板固定安装在置物台面上且与所述第一夹板间隔平行，所述定板与第一夹板之间的水平距离与所述12寸金属提篮宽度相同，所述12寸金属提篮在倾斜放置时不与所述定板接触，所述定板朝向挡板方向的端面水平垂直固定粘接第二凸舌，第二凸舌为长方体结构，第二凸舌的长边与所述定板的端面相互平行且水平尺寸一致，所述第一凸舌与第二凸舌相对间隔设置且两者...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱军，屈军亮，龚胜利，
申请(专利权)人：合肥新汇成微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽,34