真空泵的运行控制设备及方法技术

本发明专利技术公开了真空泵的运行控制设备及方法，以便消除在引入真空传感器和／或逆变器控制的情况下的难度。本发明专利技术涉及多组真空泵的控制。为了遵照克服这些困难的主题，本发明专利技术提出运用电流检测方法代替直接的压力检测方法，同时显示了在运行泵时如何判断所获得的真空度以及介绍了关于控制泵数量的方法。还描述了电流检测装置、真空度判断装置、工作泵控制装置和相关方法如何相联以满足本主题。还揭示了本发明专利技术的用途。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种用于使至少一个柜和／或腔等内部的气体减压的多个真空泵的运行控制设备，包括：　　　　电流检测装置，其检测在驱动真空泵的电机中流动的电流；和　　　　控制装置，其基于由所述电流检测装置检测的电流值收敛于预定范围之内的情形，判断是否达到目标真空和／或大体上真空状态，以减少运行的真空泵的数量。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：中山贵光，佐藤和昭，
申请(专利权)人：阿耐思特岩田株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]