一种基于射频MEMS开关的可调滤波器制造技术

本实用新型专利技术属于电子元器件技术领域，具体涉及一种基于射频MEMS开关的可调滤波器，至少三个射频MEMS开关，所述射频MEMS开关包括衬底、微波传输线、驱动电极、固定锚点及上电极，所述衬底一侧面上设置所述微波传输线，并在所述微波传输线上通过固定锚点设置所述上电极，在所述上电极下方设置所述驱动电极；至少三个带通滤波器，所述上电极与所述微波传输线连接的一端上设置所述带通滤波器，并通过可调中心频率，限定所述射频MEMS开关的工作频率。本实用新型专利技术可实现三个可调中心频率点，具有结构简单、体积小、易集成、应用范围广的特点，可应用于多频带的通信设备中。

【技术实现步骤摘要】
一种基于射频MEMS开关的可调滤波器
本技术属于电子元器件
，具体涉及一种基于射频MEMS开关的可调滤波器。
技术介绍
在现代通信系统中，基于射频MEMS开关的可调滤波器是关键的射频器件之一，可以有效滤除各频段的噪声和各种无用信号、降低频道间干扰，保障通信设备正常工作，实现高质量通信。因此，基于射频MEMS开关的可调滤波器广泛应用于包括雷达、智能弹药、卫星、单兵作战系统、舰船及广播电视上的射频前端。在欧美、日本等国家，已经制造出了可以商用的一些可调滤波器产品，实现带通滤波器2中心频率在特定范围内可调。国内起步较晚但发展较快，基于射频MEMS开关的可调滤波器研究主要集中在清华大学、北京大学、北京邮电大学、东南大学、中北大学、中电13所、中科院微电子所等，许多设计理论、仿真方法、制造工艺技术和器件的测试方法等技术的研究和开发工作得到世界同行的承认。传统的可调滤波器一般用YIG(钇铁石榴石)振荡器或固态可调电抗元件作为调谐元件，但YIG振荡器的体积很大，功率消耗大，线性度不高，而固态可调电抗元件在微波、毫米波段虽然体积小，但损耗大，线性度也不够高。基于射频MEMS技术的可调带通滤波器本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于射频MEMS开关的可调滤波器，其特征在于，所述可调滤波器包括：至少三个射频MEMS开关，所述射频MEMS开关包括衬底、微波传输线、驱动电极、固定锚点及上电极，所述衬底一侧面上设置所述微波传输线，并在所述微波传输线上通过固定锚点设置所述上电极，在所述上电极下方设置所述驱动电极；至少三个带通滤波器，所述上电极与所述微波传输线连接的一端上设置所述带通滤波器，并通过可调中心频率，限定所述射频MEMS开关的工作频率。

【技术特征摘要】
1.一种基于射频MEMS开关的可调滤波器，其特征在于，所述可调滤波器包括：至少三个射频MEMS开关，所述射频MEMS开关包括衬底、微波传输线、驱动电极、固定锚点及上电极，所述衬底一侧面上设置所述微波传输线，并在所述微波传输线上通过固定锚点设置所述上电极，在所述上电极下方设置所述驱动电极；至少三个带通滤波器，所述上电极与所述微波传输线连接的一端上设置所述带通滤波器，并通过可调中心频率，限定所述射频MEMS开关的工作频率。2.根据权利要求1所述一种基于射频MEMS开关的可调滤波器，其特征在于，所述微波传输线包括至少一条信号线、至少两条共面波导地线，所述信号线两侧对称平行设置所述共面波导地线；所述上电极一端与所述共面波导地线连通，另一端横跨过所述信号线后，位于另一所述共面波导地线上方位置。3.根据权利要求2所述一种基于射频MEMS开关的可调滤波器，其特征在于，所述信号线上设有至少三处缺口，在所述三处缺...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴倩楠，李孟委，刘秋慧，郭欣榕，
申请(专利权)人：中北大学，
类型：新型
国别省市：山西,14